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正文內(nèi)容

中芯國際集成電路制造天津有限公司驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告(編輯修改稿)

2024-09-25 13:59 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 √ ≤65dB。 潔凈實(shí)驗(yàn)室耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。 GB500732020 √ 二級(jí)。 潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體,且 不得采用有機(jī)復(fù)合材料。 GB500732020 √ 潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 GB500732020 √ 用防火墻和防火門分隔。 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟,并加閉門器。 GB500732020 √ 潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng),潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用 10~ 20 次 /h,事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證,事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點(diǎn),事故排風(fēng)應(yīng)與報(bào)警裝置聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng),常開;特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān),設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào) 警。 3 作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置 作業(yè)環(huán)境 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 車間內(nèi)人工運(yùn)輸通道寬度必須 ≥。 SJ3000292 √ 設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、 檢修空間、巡回檢查及安全通道。 SJ3000292 √ 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明,并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。 SJ3000292 √ 設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。 易燃易爆廠房的人員疏散,通道應(yīng)保持暢通,并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明,疏散指示標(biāo)志及排煙措施。 SJ3000292 √ 鋼梯、平臺(tái)所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計(jì)應(yīng)符合 有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。 ~393 第 條 廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。 電子、化學(xué)工藝安全 高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi),并應(yīng)有符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、 X 射線防護(hù)措施。 SJ3000292 √ 設(shè)置于人流最少的東側(cè),采 取隔離防護(hù)措施。 聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動(dòng)裝置或聯(lián)鎖裝置,危險(xiǎn)部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標(biāo)志;散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng);帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動(dòng)保護(hù)裝置。 SJ3000292 √ 設(shè)置緊急制動(dòng),設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng),帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。 使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng),使用有毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施;凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備,應(yīng)有良好的接地。 SJ3000292 √ 均設(shè)置。 生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng) 設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。 SJ3000292 √ 設(shè)置洗眼、淋浴器。 對(duì)于存在激光輻射設(shè)備,應(yīng)采取屏蔽等 防護(hù)措施。 SJ3000292 √ 屏蔽光源保護(hù)措施。 防火、防爆、防中毒 輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密,管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。 SJ3000292 √ 管道系統(tǒng)通過管架接地。 易燃工作間的設(shè)備、電氣線路,開關(guān)、燈具等,均應(yīng)采用相應(yīng)等級(jí)的防爆型產(chǎn)品。 SJ3000292 √ 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與 PE線可靠連接。 GB5016992 √ 氫氣、 CO 和天然氣管道不能通過煙道、通風(fēng)管、配電室和易燃易爆物倉庫。 GB5002893 √ 管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。 SJ3000292 √ 對(duì)有害氣體、易燃?xì)怏w的作業(yè)區(qū),應(yīng)采取切實(shí)有效的防護(hù)措施,提高自動(dòng)化,采取密閉、隔離生產(chǎn)。 SJ3000292 √ 隔離操作、密閉生產(chǎn)。 車間空氣中 有害物質(zhì)的濃度,必須符合《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測,數(shù)據(jù)暫 不能提供。 輸送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門,其材質(zhì)、連接方法,必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應(yīng)措施。 SJ3000292 √ 雙套管輸送,防腐內(nèi)涂層。 危險(xiǎn)相同的生產(chǎn),宜集中或相鄰布置 SJ3000292 √ 對(duì)于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房,廠房內(nèi)部應(yīng)采取便于清掃、刷洗以及防止毒物 附著和積蓄的措施。 SJ3000292 √ 防泄漏收集采用二次容器, 倍容積。 車間內(nèi)各種明溝,應(yīng)加設(shè)蓋板。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染,易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì),潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。 SJ3000292 √ 設(shè)洗衣房。 凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗 的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 有下列情況之一時(shí),排 風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)系統(tǒng): 混合后能引起燃燒或爆炸時(shí); ( 1)混合后能引起燃燒、爆炸時(shí); ( 2)易燃易爆工作間排風(fēng)與一般工作間排風(fēng)。 SJ3000292 √ 均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。 氫氣、煤氣管道,在末端、最高點(diǎn)等處應(yīng)設(shè)置放散管,放散管應(yīng)高出屋頂;放散管上應(yīng)設(shè)阻火器。 SJ3000292 √ 潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。 SJ3000292 √ 雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用 ATC 玻璃鋼涂層。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 4 危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理 危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險(xiǎn)品,嚴(yán)禁混放在一起。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。支援車間分功能區(qū) 。 輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等,應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì),采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強(qiáng)的液體管道,不應(yīng)敷設(shè)在其它管道的上方,并不宜連接埋地敷設(shè)。 SJ3000292 √ 雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。 儲(chǔ)存有較強(qiáng)腐蝕性液體的設(shè)備應(yīng)設(shè)置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。 SJ3000292 √ 全封閉輸送機(jī)組,多種報(bào)警聯(lián)鎖裝置;周圍設(shè)置圍堰。 對(duì)于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處,應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。 SJ3000292 √ 全封閉 PLC 程控泵組無泄漏。泵為全封閉型 輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí),應(yīng) 加以收 集或處理,不得任意排放。 SJ3000292 √ 收集并加以洗滌。 易燃、易爆的車間,應(yīng)采用易于清洗、 撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。 SJ3000292 √ 硅烷室、易 燃室符合要 求。 有爆炸危險(xiǎn)的房間(如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等),應(yīng)設(shè)置泄壓措施,安全出口不應(yīng)少于 2 個(gè)。其中一個(gè)直接對(duì)外,不超過 100m2 的房間可設(shè)一個(gè)出口。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設(shè)泄壓其余無,安全出口均不少于 2 個(gè)。 危險(xiǎn)化學(xué)品使用場所應(yīng)設(shè)置通訊、報(bào)警裝置, 并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。 危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例 第 18 條 √ 設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手動(dòng)報(bào)警裝置。 應(yīng)在危險(xiǎn)化學(xué)品作業(yè)場所設(shè)置急救設(shè)施,并提供應(yīng)急處理的方法。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 17 條 √ 設(shè)置應(yīng)急用品柜,提供處理方法。 使用單位應(yīng)對(duì)盛裝、貯存危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備,采用顏色、標(biāo)牌、標(biāo)簽等形式,標(biāo)明其危險(xiǎn)性。 工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 19 條 √ 儲(chǔ)存柜上均有標(biāo)識(shí)。 丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位 附近混合貯存,氧化劑應(yīng)單獨(dú)存放。 GB156031995 √ 單獨(dú)存放。 廢棄、過期的化學(xué)危險(xiǎn)品及使用過的包 關(guān)于加強(qiáng)化學(xué) √ 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 裝容器必須妥善保管,不得隨意拋棄,依據(jù)危險(xiǎn)廢棄物的處置標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處置。 危險(xiǎn)物品管理的通知 使用危險(xiǎn)化學(xué)品,在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù),并取得使用許可證。 市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求 ∽ 正申辦。 有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn),經(jīng)考核合格,方可上崗作業(yè)。 《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》 第四條 ∽ 已組織,尚未培訓(xùn)。 5 有毒氣體控制裝置 砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜,離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點(diǎn),應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。 SJ3000292 √ 使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間,宜設(shè)報(bào)警裝置及事故排風(fēng)。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。 SJ3000292 √ 設(shè)置報(bào)警聯(lián)鎖裝置及事故排風(fēng)。 6 電氣 電氣裝置采用接地故障保護(hù)時(shí),應(yīng)做總 等電位聯(lián)接。 SJ3000292 √ 等電位連接。 檢測和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí),必須有備用電、氣源。備用時(shí)應(yīng)根據(jù)工藝、動(dòng)力要求確定,一般不小于1530 分鐘。 SJ3000292 √ 設(shè)發(fā)電機(jī) 3 臺(tái),壓縮空氣備用氣源≥30min。 停電或停氣時(shí),調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于安 全位置。 SJ3000292 √ 消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備,應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路,并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí),應(yīng)仍保證消防用電。 其配電設(shè)備應(yīng)有明顯標(biāo)志。 SJ3000292 √ 單獨(dú)設(shè)置供電回路, UPS、 EPS、SP 電源, 在有爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管,在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞,應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。 SJ3000292 √ 防火水泥堵塞。 電氣設(shè)備線路必須安全可靠 ,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。 SJ3000292 √ 線路穿管敷設(shè),燈 具有防護(hù)罩。 在火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi),可能產(chǎn)生靜 SJ3000292 √ 設(shè)備、管道均采取序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施 。 靜電接地措施。 在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置;并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。 HG2057195 √ 設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。 7 消防、報(bào)警設(shè)施 建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配 置設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 GBJ1687 √ 潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測 系統(tǒng)。 SJ3000292 GB1280191 √ 儲(chǔ)存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃?xì)怏w室等應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w監(jiān)測報(bào)警裝置、事故排風(fēng)及防爆設(shè)施。 GBJ1687 SJ3000292 √ 設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報(bào)警系統(tǒng)。 潔凈廠房、有毒、易燃?xì)馄块g等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場所應(yīng)設(shè)置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報(bào)警裝置。 SJ3000292 √ 設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。 8 氣瓶安全使用 使用氣瓶應(yīng): 采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品,不使用超期未檢的氣瓶。 必須到已辦理充裝注冊(cè)的單位或經(jīng)銷注冊(cè)的單位購氣。 氣瓶使用前應(yīng)進(jìn)行安全狀況檢查,對(duì)盛裝氣體進(jìn)行確認(rèn)。 氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火,應(yīng)保證氣瓶干燥。 氣瓶立放時(shí),應(yīng)采取防止傾倒的措施; 夏季應(yīng)防止爆曬; 嚴(yán)禁敲擊、碰撞; 嚴(yán)禁在氣瓶上進(jìn)行電焊引?。? 瓶內(nèi)氣體不得用盡,必須留有剩余壓力或重量,氫氣瓶剩余壓力應(yīng)不小于。 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 第 79 條 √ 各項(xiàng)措施齊備,剩余 壓 力 小 于 自 動(dòng) 切換。 磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼 SJ3000292 √ 長期通風(fēng)。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 瓶,必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時(shí),應(yīng)有自動(dòng)定時(shí)排風(fēng)系統(tǒng)。 9 安全標(biāo)志 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志,必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。 SJ3000292 √ 機(jī)臺(tái)、氣柜等均設(shè)
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