微電子工藝課程設(shè)計(已修改)
2025-07-11 12:49 本頁面
【正文】 微電子工藝課程設(shè)計 一、 摘要 仿真（simulation）這一術(shù)語已不僅廣泛出現(xiàn)在各種科技書書刊上，甚至已頻繁出現(xiàn)于各種新聞媒體上。不同的書刊和字典對仿真這一術(shù)語的定義性簡釋大同小異，以下3種最有代表性，仿真是一個系統(tǒng)或過程的功能用另一系統(tǒng)或過程的功能的仿真表示； 用能適用于計算機(jī)的數(shù)學(xué)模型表示實際物理過程或系統(tǒng)；不同實驗對問題的檢驗。 仿真（也即模擬）的可信度和精度很大程度上基于建模（modeling）的可信度和精度。建模和仿真（modeling and simulation）是研究自然科學(xué)、工程科學(xué)、人文科學(xué)和社會科學(xué)的重要方法，是開發(fā)產(chǎn)品、制定決策的重要手段。據(jù)不完全統(tǒng)計，目前，有關(guān)建模和仿真方面的研究論文已占各類國際、國內(nèi)專業(yè)學(xué)術(shù)會議總數(shù)的10%以上，占了很可觀的份額。集成電路仿真通過集成電路仿真器（simulator）執(zhí)行。集成電路仿真器由計算機(jī)主機(jī)及輸入、輸出等外圍設(shè)備（硬件）和有關(guān)仿真程序（軟件）組成。按仿真內(nèi)容不同，集成電路仿真一般可分為：系統(tǒng)功能仿真、邏輯仿真、電路仿真、器件仿真及工藝仿真等不同層次（level）的仿真。其中工藝和器件的仿真，國際上也常稱作“集成電路工藝和器件的計算機(jī)輔助設(shè)計”（Technology CAD of IC），簡稱“IC TCAD”。二、 綜述這次課程設(shè)計要求是：設(shè)計一個均勻摻雜的pnp型雙極晶體管，使T=346K時，β=173。VCEO=18V，VCBO=90V，晶體管工作于小注入條件下，最大集電極電流為IC=15mA。設(shè)計時應(yīng)盡量減小基區(qū)寬度調(diào)制效應(yīng)的影響。要求我們先進(jìn)行相關(guān)的計算，為工藝過程中的量進(jìn)行計算。然后通過SilvacoTCAD進(jìn)行模擬。TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半導(dǎo)體工藝模擬以及器件模擬工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已經(jīng)被Synopsys公司收購）的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。這次課程設(shè)計運(yùn)用S
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