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正文內(nèi)容

半導(dǎo)體工藝流程(已修改)

2025-07-08 08:02 本頁(yè)面
 

【正文】 清洗集成電路芯片生產(chǎn)的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)污染要求非常嚴(yán)格,清洗工藝需要消耗大量的高純水;且為進(jìn)行特殊過(guò)濾和純化廣泛使用化學(xué)試劑和有機(jī)溶劑。在硅片的加工工藝中,硅片先按各自的要求放入各種藥液槽進(jìn)行表面化學(xué)處理,再送入清洗槽,將其表面粘附的藥液清洗干凈后進(jìn)入下一道工序。常用的清洗方式是將硅片沉浸在液體槽內(nèi)或使用液體噴霧清洗,同時(shí)為有更好的清洗效果,通常使用超聲波激勵(lì)和擦片措施,一般在有機(jī)溶劑清洗后立即采用無(wú)機(jī)酸將其氧化去除,最后用超純水進(jìn)行清洗,如圖1-6所示。藥液槽 清洗槽藥液 超純水超純水超純水廢藥液 清洗排水1清洗排水2清洗排水3廢液收集系統(tǒng)清洗水回收系統(tǒng)廢水處理系統(tǒng)圖
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