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odf段工藝設(shè)備培訓(xùn)資料(已修改)

2025-01-22 13:02 本頁(yè)面
 

【正文】 Shanghai Tianma Microelectronics 1 Cell段 ODF工裝 設(shè)備 2022年 2月 7日星期一 Shanghai Tianma Microelectronics 2 目 錄 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 二、 ODF段輔助設(shè)備 三、主要工裝設(shè)備工藝參數(shù) 四、高效空氣微粒子過(guò)濾器 Shanghai Tianma Microelectronics 3 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 廠家可按需求提供模塊化的設(shè)備配置,方便選擇 主要工裝設(shè)備: 框膠涂布、液晶滴下機(jī)、導(dǎo)電膠涂布、真空貼合、 UV固化 ODF產(chǎn)線簡(jiǎn)圖 真空貼合 ~邊框膠熱固化,檢查設(shè)備 襯墊球散布 ~導(dǎo)電膠涂布 邊框膠涂布 ~液晶滴下 ODF 生產(chǎn)線 Shanghai Tianma Microelectronics 4 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 CF基板 TFT基板 ODF產(chǎn)線工序圖 Shanghai Tianma Microelectronics 5 襯 墊球散布 [目的 ]:保證 TFT基板和 CF基板間均一的液晶盒厚,在 TFT基板上均勻地散布 Spacer [原理 ]: 將 Spacer填充至 Feeder內(nèi) 在一定壓力的 N2 Purge下 向散布部供給 Spacer。 Spacer在高速的 N2作用下沿 SUS配管中移動(dòng)。在此過(guò)程中 與配管內(nèi)壁碰撞摩擦帶電, 同時(shí)分散開(kāi)來(lái)。 Nozzle通過(guò) 4次散布動(dòng)作均勻地 噴灑出的 Spacer,通過(guò)靜電力 的作用附著在放置在接地 (GND) 基臺(tái)上的基板上。 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Spacer材 Feeder內(nèi) N2 Purge Spacer 圧送 Spacer 投入口 高速氣流 【SUS配管斷面 】 散布1 散布2 散布4 散布3 散布 nozzle ● ● ● ● 散布用( 4箇所) 圧送用( 1箇所) 固定Nozzle Shanghai Tianma Microelectronics 6 Spacer固著原理及裝置概要 Spacer本 體 表面 處理層 Glass 表面 處 理 層 溶解固著 Glass 原理 加熱 裝置構(gòu)造 OVEN(1臺(tái)) Transfer Robot Transfer Unit Transfer Unit Buffer & Cooling Unit Return 無(wú)塵 恒溫槽 HEPA HEATER FAN Side+Center Air Blow ? Center Blow:防止基板破裂 Center Blow Side Blow 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 7 未開(kāi)封襯墊球 剛開(kāi)封襯墊球 開(kāi)封時(shí)間過(guò)長(zhǎng)襯墊球 供給部 裝置簡(jiǎn)圖 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 8 Seal涂布 [目的 ]: TFT 基板和 CF 基板緊密粘合,為構(gòu)成均一盒厚,在 Seal中添加 Slica。為導(dǎo)通 TFT 基板和 CF基板的 COM,在 Transfer Pad上打銀點(diǎn)。同時(shí)有利于后工程的切斷 Gap Sensor Glass基板 Seal材 Syringe nozzle Nozzle高度由 Gap Sensor 實(shí)時(shí) Feedback校正 N2壓力 基臺(tái)移動(dòng)方向 Gap [原理 ]: 1將 Seal與 Spacer充分調(diào)合好后填充 入 Syringe,并進(jìn)行真空離心脫泡。 2Seal在設(shè)定的 N
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