決策分析研究培訓(xùn)課件-在線瀏覽
2025-02-25 03:17本頁面
【正文】 IT Specialist Integrated special software Usually none Yes EIS package or Tool Statistical software, Data Mining algorithm EDA versus MIS/DSS/EIS 決策分析研究室 SPC/Monitor Correlation Test Statistic.(ANOVA/KW/ Decision Tree) Cluster/PCA SOM/Feature Extraction (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) 晶圓製造流程 vs Data Flow Analysis Flow （彭誠湧、簡禎富， 2023） 決策分析研究室 SPC/ Monitor Equipment Matching Cluster/PCA SOM/Feature Extraction Process Tools WAT parameters (Associate) Pattern Extraction(Neural Network) by Bin , Bin Value , Die Position Process (Major) Lot History by Route + Operation Tool + Process Date Time + Recipe + Operator Metrology Data (Lot/Wf/Site) Defect Count + Defect Type Comment Tool History by Tool Id + Date Time PM monitor data Tool Status WAT By Lot/Wf/Site Parameter Name Test Value Spec Limit Valid Limit SORT By Lot/Wf/Die Bin Name Bin Value Die Position Correlation( by Lot/Wf/Site) Metro. . WAT Metro. . SORT WAT . SORT … Test Statistic. TTest ANOVA KruskallWallis Decision Tree Data Flow Analysis Flow （彭誠湧、簡禎富， 2023） 決策分析研究室 此期間某參數(shù)異常 ，欲找出原因 分析 WAT參數(shù)對該參數(shù)的影響 找出異常量測參數(shù) 找出與異常參數(shù)相關(guān)的製程 例：某一期間生產(chǎn)之 lots Bin map周圍 failure較多 從相關(guān)製程中找出問題機臺 FMEA 半導(dǎo)體製程資料挖礦研究架構(gòu) （簡禎富、蔡承勳， 2023） 晶圓圖分析 決策分析研究室 研究問題 ： 晶圓圖分類 （簡禎富、林鼎浩、劉巧雯、彭誠湧、徐紹鐘、黃佳琪， 2023） ? 背景與動機 ? 晶圓 CP測試階段產(chǎn)生晶圓圖（ Wafer Bin Map） ? 晶圓圖出現(xiàn)特殊的樣型（ Pattern） ? 目前半導(dǎo)體廠對於晶圓圖檢測的方法 ? 目的 ? 發(fā)展晶圓圖分類的方法和運算法則 ? 紀(jì)錄其共同故障表徵（ Common Fail Pattern）， 以建立系統(tǒng)化分類的晶圓圖庫 ? 縮短工程師故障排除（ Trouble Shooting） 的範(fàn)圍與決策分析所需的時間 決策分析研究室 目前的分析方法 必須 有經(jīng)驗的 工程師用目測及主觀判斷來進行分類 甲群 乙群 還有一大堆 人工分群 目測法 A群 C群 甲工程師 乙工程師 B 群 決策分析研究室 結(jié)合空間統(tǒng)計方法、類神經(jīng)路網(wǎng)路，進行晶圓圖分群、比對、再分類（ Chien and Liu, 2023）。 晶圓圖資料 挖礦分類架構(gòu) Degree of defectData Pr epar ati onTest Spa ti al I ndependen ce by LogOdds R ati oAR T1 clust eri ng gene rat e te m plat es(1)Evoluat ion Degenera ti onHigh LowEvoluat ion Degenera ti on TestW BMclus ter databasecla ssi f y by te m plat esm erg e int osim il ar clus terHighLowDegree ofdefectART1 Cluste ringLow HighRandom Clust eri ng rep ulsi veTem plat es ( 2)Low YieldAnalysi s決策分析研究室 決策分析研究室 例：資料取得與準(zhǔn)備 ? DATASET： 透過 EDAS取得 LPST1發(fā)生異常時期的 lot， 在某一 WAT量測 program的所有參數(shù)與對應(yīng)的 LPST1_P95 去除只有單一值與空白值的欄位後 共有 277個欄位 1419個 LOTS ? DATA PARTITON TRAINING 60% VALIDATION 30% TEST 10% 決策分析研究室 資料取得與準(zhǔn)備 （簡禎富、蔡承勳， 2023） 決策分析研究室 _67_Y_M_PWBP_YIELD 決策分析研究室 研究問題 ： 製程資料特徵萃取與分析 CPWA Tp r o c e s sS O M n e tc
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