鑄錠車(chē)間sop培訓(xùn)教材-在線瀏覽
2025-02-16 19:31本頁(yè)面
【正文】 是 沒(méi)有 警告 鑄錠出爐 ? 出錠 ? 打開(kāi)下?tīng)t體前應(yīng)該戴上高溫手套，然后操動(dòng)叉車(chē)至 DSS爐正前方，提升“ U”形支架， ? 使其高出已打開(kāi)的下?tīng)t體的表面 5～ 8cm,緩慢地把叉車(chē)開(kāi)進(jìn)爐體內(nèi)，當(dāng)叉車(chē)“ U”形支架處于 ? 下?tīng)t體之上，調(diào)節(jié) “ U”形支架的支承面至石墨板底面以下 1～ 2cm處，再次開(kāi)入叉車(chē)，至 ? 爐體內(nèi)部極限位置，操作人員應(yīng)檢查“ U”形支架提升時(shí)是否有可能使臺(tái)階面與石墨底板發(fā)生 ? 撞擊，如果有可能發(fā)生碰撞應(yīng)重新調(diào)整叉車(chē)，直到檢查發(fā)現(xiàn)石墨底部全部在“ U”形支架支承 ? 面范圍以?xún)?nèi)，提升“ U”形支架托起硅錠，駛出叉車(chē)，將準(zhǔn)備好的小車(chē)放入“ U”形支架大約 ? 正中下方位置。 兩人協(xié)作 帶好高 溫手套 石墨條放置 于 DDS塊下 鑄錠拆錠 ? 從爐體取出的硅錠由于溫度過(guò)高，必須在空氣中等待 2個(gè)小時(shí)以上散熱后，戴上絕熱手套， ? 依次把螺帽和石墨板拆開(kāi)，但不需要拆螺栓，當(dāng)還剩相鄰兩塊石墨板時(shí)需兩面名操作人員相 ? 互配合拆出石墨板，然后再把硅錠四周坩堝碎塊清除。一人負(fù)責(zé)按吊錠開(kāi)關(guān)，一人負(fù)責(zé)復(fù)稱(chēng)，另一人拉錠。 鑄錠裝料 ? 檢查 ? 把四根依次放好，檢查溢流棉和溢流線是否有硅料和雜物，檢查螺母，往回?cái)Q松半圈。相應(yīng)在“ Chamber Lift”界面窗口更換下?tīng)t體運(yùn)動(dòng)方向的箭頭使其向上，其它。 檢查螺母 打開(kāi)爐子 Chamber Lift 檢查夾子 裝好石墨條 安全篇 1. 對(duì)坩堝操作時(shí)必需時(shí)時(shí)配帶橡膠手套，以降低操作過(guò)程中對(duì)坩堝的造成的污染； ，必需配帶專(zhuān)用高級(jí)防塵口罩。 3： 灼傷危險(xiǎn)，某些表面溫度很高。 ，必需確保排風(fēng)罩暢通。 ！當(dāng)機(jī)器在運(yùn)轉(zhuǎn)中時(shí)請(qǐng)保持手遠(yuǎn)離機(jī)器運(yùn)動(dòng)部件。 噴涂完后及時(shí)清理風(fēng)口出灰塵。千萬(wàn)不能用手直接拿硅料，但也不能用觸摸過(guò)它物的手套來(lái)搬拿硅料，否則觸及過(guò)它物的手套會(huì)二次污染硅料，引入新的雜質(zhì)。 ，因?yàn)橹修D(zhuǎn)箱會(huì)嚴(yán)重污染硅料。 緊急停爐開(kāi)關(guān)，禁止觸摸 剛出爐，注意高溫 戴好高溫手套 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 操作及制程原理 經(jīng)過(guò) Si3N4涂層處理的坩堝里裝滿多晶硅，并放臵在一個(gè)大的導(dǎo)熱石墨塊 (定向凝固塊或 DSBlock)上。石墨加熱器包圍在坩堝的四個(gè)垂直面上，一隔熱籠包圍住加熱器、 DSBlock及坩堝。 DSBlock的溫度下降會(huì)傳至坩堝底部，使坩堝內(nèi)的硅溶液有垂直的溫度梯度，此溫度梯度會(huì)使硅在坩堝的底部凝固，然后硅晶從底部向頂部生長(zhǎng)。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 系統(tǒng)硬件 系統(tǒng)是由雙層且有冷卻水通過(guò)的不銹鋼爐體、電源供應(yīng)系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)、控制柜及操作面板所組成。此平臺(tái)亦可放臵變壓器及將電纜設(shè)施等水管、線整齊地布臵于平臺(tái)的夾板下。下?tīng)t體則是通過(guò)三個(gè)重型絲桿螺母副（ Jackscrews）安裝于上爐體。使得坩堝 /硅料裝填能裝入熱場(chǎng)及取出長(zhǎng)成的硅錠。三個(gè)可移動(dòng)的部件在上爐體頂部，同樣是由可彎曲的驅(qū)動(dòng)纜線連接至伺服馬達(dá)以控制隔熱籠的上下移動(dòng)，從而控制硅錠的生長(zhǎng)。兩個(gè)壓力指示器讀取從大氣壓力至1x103mbar的壓力，一個(gè)質(zhì)流控制器（ MFC）及相關(guān)的閥門(mén)控制在成長(zhǎng)的過(guò)程中控制適當(dāng)?shù)臍鍤饧昂獾妮斎搿? DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 熱場(chǎng) 熱場(chǎng)是由四組彎曲的石墨平板組成一個(gè)四方型的加熱器，每一片角落下部亦有連接板作連接，圍繞在坩堝的四周，籍此可用平板式隔熱元件包覆在它周?chē)８綦x籠的石墨板使用平板狀，降低部件花費(fèi)且容易更換。在下?tīng)t區(qū)有一塊大的用三支石墨桿支撐的石墨 DSBlock，可提供能調(diào)整的控制和散熱的平面，使晶成長(zhǎng)過(guò)程為可控制的。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 真空泵系統(tǒng) 真空泵系統(tǒng)由 Root blower及 Mechanical backing pump組成，讓爐內(nèi)的壓力可以迅速降至 。 Ar氣是制程中壓力的一部分，進(jìn)入的量由質(zhì)流控制器 (MFC)控制，抽氣是由連接真空泵的比例調(diào)節(jié)閥（ V3）調(diào)整。另設(shè)一個(gè)獨(dú)立的閥（ V7）控制 He氣在冷卻過(guò)程中可以通入。另一個(gè)電源供應(yīng)柜位于夾層后方，內(nèi)含有控制提供電源至主變壓器初級(jí)線圈的 SCR控制器，此柜還含有控制電源的降壓變壓器、加熱器接觸器、真空泵接觸器、下?tīng)t體驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、各種電路斷路器和保險(xiǎn)絲。 SCR控制器的循環(huán)時(shí)間為 4秒，所以上例中 SCR的工打開(kāi)時(shí)間為 ，關(guān)閉時(shí)間為 ，然后重復(fù)循環(huán)。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 控制柜 控制柜內(nèi)有 Input/Output模塊 (I/O)、 Opto process controller(LCM4)、 power supplies、 insulation motor drive及 UPS。來(lái)自此控制柜的電纜連接到電源控制柜和機(jī)器上的儀器及傳感器。緊急停止鈕位于面板右上方，讓操作者緊急關(guān)閉所有通至機(jī)臺(tái)輸出儀器的電源，這會(huì)讓機(jī)臺(tái)處于安全的狀況。 操作窗口 接下來(lái)的部分會(huì)介紹操作者在控制 DSS時(shí)最常用到的窗口及功能。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Alarms Button Alarms Screen 當(dāng)有聲音的警告出現(xiàn)而需要操作者注意時(shí)，會(huì)彈出這個(gè)警告窗口。在任何時(shí)間若想進(jìn)入此窗口亦可壓下 Alarms screen鍵。當(dāng)按下 Silence Alarm鍵時(shí)，若是 Alarm持續(xù)存在則狀況仍為紅色；否則會(huì)變成綠色。 如果偵測(cè)到 Critical Alarm（危急警告），電源關(guān)閉的倒數(shù)計(jì)時(shí)會(huì)激活，秒數(shù)歸零后 Power Supply Contactor會(huì)關(guān)閉。 有些報(bào)警會(huì)在當(dāng)前屏幕的上方跳出一個(gè)新的窗口，這些跳出的窗口告訴操作者警告的一些額外的信息或要求操作者協(xié)助。例如： CONTROL TC1警告出現(xiàn)紅色，因此， TC1細(xì)節(jié)按鈕被激活。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Power /phase loss screen 主電源丟失及相的損失其回復(fù)是自動(dòng)執(zhí)行的，會(huì)自動(dòng)地將功率增加到損失時(shí)功率值之上一點(diǎn)點(diǎn)，如果損失時(shí)是溫度控制模式，會(huì)自動(dòng)地轉(zhuǎn)換成溫度控制模式。電源丟失后若 TC1溫度下降超出設(shè)定范圍外，而電力還未回復(fù)時(shí)，依照電力丟失時(shí)程序在哪個(gè)模式而決定程序會(huì)跳至冷卻程序或緊急冷卻步驟。 ? 接觸器失效窗口 當(dāng)發(fā)生一個(gè) critical alarm且時(shí)間超過(guò)設(shè)定值，加熱器電源連接器會(huì)關(guān)閉，右方的窗口會(huì)彈出。關(guān)閉 Contactor Failure窗口，允許操作者去檢查跳閘的原因。 DSS爐系統(tǒng)概貌 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 連接器失效按鈕 操作者關(guān)閉連接器失效窗口并查明連接器關(guān)閉原因。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 模式窗口 這可使連接器重新激活并回復(fù)功率至連接器關(guān)閉時(shí)之?dāng)?shù)值。接下來(lái)
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