【正文】 如果剎車激活，則隔熱籠不能移動。 如果 Drive有錯誤， Motor Fault會從綠色變?yōu)榧t色， Drive重臵按鈕會出現，按下此鈕會嘗試重臵此錯誤。如果錯誤沒有清除，找出控制柜中隔熱籠 MDC錯誤代碼并與廠商（ Pacific Scientific）聯絡以獲得更多信息。通常試著去關閉再開啟 MDC的電源可清除錯誤。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Manual Insulation Screen With “ Homing” Routine DSS爐系統(tǒng)概貌 Drive Comm Fault紀錄從 Motor Drive傳送或接收的速度及位臵的通訊錯誤總次數。出現 58次錯誤記錄問題不大，但如果錯誤記錄迅速增加，特別連續(xù)錯誤記錄上升超過 50時，就存在問題了。如果發(fā)生這種狀況，先按下 Stop Motor鈕，檢查通訊崩潰的原因。當馬達停止時 Drive Comm Fault會重臵為 0。 如果隔熱籠達到低點限制位臵，“ Homing Routine”會激活而且 Run Home Routine鈕及 Reset Home Timer數值會出現且時間會開始倒數。這會使隔熱籠以 Home Timer會跑 60sec.。當隔熱籠向上跑離限制開關后馬達會停止。程序會在此位臵調整補償值強制讓位臵歸零，即是所有位臵移動的參考零點。如果低點限制開關還是紅色，可以按 Run Home Routine鈕執(zhí)行 Routine程序。 如果有速度偏差或 Drive Comm Fault的次數大于 9，隔熱籠移動的警示按鈕會變紅而且馬達會停止。按此 Insulation Lift Alarm鈕去重臵錯誤。在此窗口下面也會顯示一些錯誤排解信息。 ? 繪圖資料（以圖表的形式顯示在屏幕的右下角）。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Plot Data Button 可按窗口右下方的圖標標志進入此窗口 ? Plot Data Screen （Heat） 這個趨勢窗口顯示 5個小時的 8條實時曲線，可以觀察功率、 3個熱電偶溫度、爐內壓力、隔熱區(qū)位臵、硅溶化 pyrometer的值及紅色警示燈。每個曲線都可以在某個特別或干擾處放大倍率或出出現異常情況的分析。Historical Function也可觀察之前 5小時所記錄的資料，以分析之前過程。 記得在選擇其它窗口前要執(zhí)行實時的擷取資料。 ? Plot Data Screen (Melt End) 下面的窗口顯示了典型的溶化結束曲線。 Melt Pyrometer的位臵顯示在窗口中 — 綠色表示 Melt Pyrometer正在觀察硅溶化。 DSS爐系統(tǒng)概貌 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Melt and Growth End Trend Screen 下面的窗口可得到第二個趨勢圖。 這里顯示了更多的功率和 DSBlock溫度細節(jié)，使確定溶化結束或角部晶生長結束更容易，等等。這些曲線的斜率和它們當前的數值也顯示出來，可以和主參數表的 trigger值相比較。為了幫助確定結束點，趨勢圖的比例可擴大或縮小。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Power Profiles Screen 通過 Power Profiles鈕出現一窗口。正常運行時，模式號碼、步驟號碼、功率設定值和絕熱區(qū)的位臵每五分鐘在表中存儲一次。當熱電偶失效時，這些表創(chuàng)建的功率設定的和絕熱區(qū)的位臵數據文件能夠用來硅錠的生長。 功率對比曲線繪出了當前的模式、步驟、功率設定和絕熱籠的位臵。它同時顯示最后一次保存的功率及隔熱籠曲線和已載入表中的曲線的數值。最后的數值用與 recipe的步驟和 /或未改變的時間同樣長的且與當前同步的最后的模式和步驟繪成曲線。考慮到每一次運行中溶化和成長結束時都幾會乎有所不同，因此要作適當的補償。當前的數據和最后的數據重疊使得決定當前的數據是否為保存為將來的“ profile”變得相對容易。操作者在每次運行后需作此決定。趨勢圖讓歷史數據顯示出來，以決定是否應該為將來而保留老的“ profile”。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Power Profiles Mode/Step Screen 按下 Mode/Step Screen鈕彈出此窗口。這個窗口顯示了過去常保存當前和上次數據的一系列表格的細節(jié)。在上一次的表中有兩種數據的指標，即日志和載入。因為它們想使得 recipe中的模式和步驟號碼值與上一次保存的相一致，所以當前和上次數據可能會不同。載入的指標也想使模式和步驟值與當前的一致。因此，如果熱電偶失效，預存文件將繼續(xù)完成晶生長循環(huán)。剩余步驟時間的秒數在下一個 recipe模式 /步驟轉換前顯示，剩余載入時間顯示是剩余五分鐘 Log/Load “ recipe”循環(huán)的秒數。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Mode/Step Screen Mode/Step Invalid 有時候這個指標達到了表格尺寸的最大值 749, 表示不能進行精確的匹配。當從正常 recipe步驟改變到上次保存程序或操作者在 recipe模式或步驟往前或往后跳轉時這種情形會出現。唯一的問題是在 Power Profile Mode下的成長過程中伴隨熱電偶的失效。出現這種情況，警告會響起同時Mode/Step窗口會跳出。程序會進入暫停模式。出現的重臵鈕可使指標歸零，讓軟件重新找到匹配的模式 /步驟（只有 Load Time Remaining回零才能找到匹配的模式/步驟）。 必須非常小心！因為程序在正常的 RECIPE步驟一開始會尋找匹配的步驟，因此，時間和數值不一定很協調。 讓正常的recipe在選擇步驟之時就重新開始，強廹兩個“ recipes”一致。記住重新開始程序。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Disable Power Profile Button 如果爐子正在運行 Power Profile模式且熱電偶修理好了，用熱電偶安裝好后出現的 Disable Power Profile 按鈕返回正常的 recipe控制。 手動轉換到溫度控制或調整功率或RECIPE來轉換在小心！ 功率設定值將保留當前的數值到下一個 recipe步驟，這會引起長晶問題。 運行結束后， Power Profiles會自動彈出并詢問操作者是否接受當前記錄的文件。若選擇 Do Not Accept Profile（不接受），按鈕和文件會完全消失。若選擇 Accept Profile（接受），按鈕和文件會也會消失且“ TRANSFERRING DATA”字樣會顯示，直到數據完全存儲下來。此過程可能要用一分鐘。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Accept/Do Not Accept Power Profile 71 Thanks 演講完畢，謝謝觀看！