鑄錠車間sop培訓(xùn)教材-wenkub.com
2025-01-13 19:31 本頁面
【正文】 此過程可能要用一分鐘。 手動轉(zhuǎn)換到溫度控制或調(diào)整功率或RECIPE來轉(zhuǎn)換在小心！ 功率設(shè)定值將保留當(dāng)前的數(shù)值到下一個 recipe步驟，這會引起長晶問題。 必須非常小心！因?yàn)槌绦蛟谡５?RECIPE步驟一開始會尋找匹配的步驟，因此，時間和數(shù)值不一定很協(xié)調(diào)。唯一的問題是在 Power Profile Mode下的成長過程中伴隨熱電偶的失效。因此，如果熱電偶失效，預(yù)存文件將繼續(xù)完成晶生長循環(huán)。這個窗口顯示了過去常保存當(dāng)前和上次數(shù)據(jù)的一系列表格的細(xì)節(jié)。當(dāng)前的數(shù)據(jù)和最后的數(shù)據(jù)重疊使得決定當(dāng)前的數(shù)據(jù)是否為保存為將來的“ profile”變得相對容易。 功率對比曲線繪出了當(dāng)前的模式、步驟、功率設(shè)定和絕熱籠的位臵。為了幫助確定結(jié)束點(diǎn)，趨勢圖的比例可擴(kuò)大或縮小。 Melt Pyrometer的位臵顯示在窗口中 — 綠色表示 Melt Pyrometer正在觀察硅溶化。每個曲線都可以在某個特別或干擾處放大倍率或出出現(xiàn)異常情況的分析。按此 Insulation Lift Alarm鈕去重臵錯誤。當(dāng)隔熱籠向上跑離限制開關(guān)后馬達(dá)會停止。如果發(fā)生這種狀況，先按下 Stop Motor鈕，檢查通訊崩潰的原因。如果錯誤沒有清除，找出控制柜中隔熱籠 MDC錯誤代碼并與廠商（ Pacific Scientific）聯(lián)絡(luò)以獲得更多信息。 下方字段的信息及按鈕通常顯示 MDC的狀態(tài)，其它的按鈕及操作只有在 Drive有問題的時候才會出現(xiàn)。 Position Counts是顯示隔熱籠 MDC的總計(jì)算位臵，通常可以忽略不理。隔熱籠會以新的速度移動到新的位臵后再停止。在進(jìn)入手動窗口做任何改變閥、連接器參數(shù)等之前，必須輸入密碼。按下 Press Once to Backfill鈕，可使?fàn)t體也可回復(fù)到大氣壓力。這些步驟會按照指令執(zhí)行并自動跑完設(shè)定的時間。 直到當(dāng)前的步驟跑完，機(jī)器將不會有自動的行為對人為的變動做補(bǔ)救 。按下此鈕會出現(xiàn)另一個窗口詢問操作是否真的要手動進(jìn)行，且必須輸入密碼才能打開手動窗口。這些項(xiàng)目與 Recipe的值互相搭配以控制在自動過程中的各部份條件。 當(dāng)按下 Pause鈕時， Abort auto鈕會出現(xiàn)。如果需要跳至新的模式或是步驟，輸入新的時間及模式號碼 (在屏幕的下方有各模式及其相對應(yīng)的號碼 )，步驟號碼欄也會出現(xiàn)。 DSS爐系統(tǒng)概貌 儲存 recipe及讀取 recipe鈕是讓操作者可以從硬盤選擇 (讀取 )新的recipe或儲存 recipe到硬盤內(nèi)。正常時采用默認(rèn)選項(xiàng) ,當(dāng)按下鈕即開始自動成長。 氣閥在開啟狀態(tài)是顯示綠色，關(guān)閉狀態(tài)則是紅色。Gti方框顯示機(jī)器的 ID號和當(dāng)前的日期及時間，按 ID可改變名稱或爐子的標(biāo)識 — 這一特性只有在非自動運(yùn)行模式時有用，用 Windows Control Panel feature可改變 PC的日期及時間，然后按Change/Sync Time/ Date鈕可使時間及日期與 PC同步。接下來進(jìn)入 Real Values窗口去監(jiān)看程序以回復(fù)到正常狀況。 DSS爐系統(tǒng)概貌 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 連接器失效按鈕 操作者關(guān)閉連接器失效窗口并查明連接器關(guān)閉原因。 ? 接觸器失效窗口 當(dāng)發(fā)生一個 critical alarm且時間超過設(shè)定值，加熱器電源連接器會關(guān)閉，右方的窗口會彈出。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Power /phase loss screen 主電源丟失及相的損失其回復(fù)是自動執(zhí)行的，會自動地將功率增加到損失時功率值之上一點(diǎn)點(diǎn)，如果損失時是溫度控制模式，會自動地轉(zhuǎn)換成溫度控制模式。 有些報(bào)警會在當(dāng)前屏幕的上方跳出一個新的窗口，這些跳出的窗口告訴操作者警告的一些額外的信息或要求操作者協(xié)助。當(dāng)按下 Silence Alarm鍵時，若是 Alarm持續(xù)存在則狀況仍為紅色；否則會變成綠色。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? Alarms Button Alarms Screen 當(dāng)有聲音的警告出現(xiàn)而需要操作者注意時，會彈出這個警告窗口。緊急停止鈕位于面板右上方，讓操作者緊急關(guān)閉所有通至機(jī)臺輸出儀器的電源，這會讓機(jī)臺處于安全的狀況。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 控制柜 控制柜內(nèi)有 Input/Output模塊 (I/O)、 Opto process controller(LCM4)、 power supplies、 insulation motor drive及 UPS。另一個電源供應(yīng)柜位于夾層后方，內(nèi)含有控制提供電源至主變壓器初級線圈的 SCR控制器，此柜還含有控制電源的降壓變壓器、加熱器接觸器、真空泵接觸器、下爐體驅(qū)動馬達(dá)、各種電路斷路器和保險(xiǎn)絲。 Ar氣是制程中壓力的一部分，進(jìn)入的量由質(zhì)流控制器 (MFC)控制，抽氣是由連接真空泵的比例調(diào)節(jié)閥（ V3）調(diào)整。在下爐區(qū)有一塊大的用三支石墨桿支撐的石墨 DSBlock，可提供能調(diào)整的控制和散熱的平面，使晶成長過程為可控制的。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 熱場 熱場是由四組彎曲的石墨平板組成一個四方型的加熱器，每一片角落下部亦有連接板作連接，圍繞在坩堝的四周，籍此可用平板式隔熱元件包覆在它周圍。三個可移動的部件在上爐體頂部，同樣是由可彎曲的驅(qū)動纜線連接至伺服馬達(dá)以控制隔熱籠的上下移動，從而控制硅錠的生長。下爐體則是通過三個重型絲桿螺母副（ Jackscrews）安裝于上爐體。 DSS爐系統(tǒng)概貌 ? 系統(tǒng)硬件 系統(tǒng)是由雙層且有冷卻水通過的不銹鋼爐體、電源供應(yīng)系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)、控制柜及操作面板所組成。石墨加熱器包圍在坩堝的四個垂直面上，一隔熱籠包圍住加熱器、 DSBlock及坩堝。 ，因?yàn)橹修D(zhuǎn)箱會嚴(yán)重污染硅料。 噴涂完后及時清理風(fēng)口出灰塵。 ，必需確保排風(fēng)罩暢通。 檢查螺母 打開爐子 Chamber Lift 檢查夾子 裝好石墨條 安全篇 1. 對坩堝操作時必需時時配帶橡膠手套，以降低操作過程中對坩堝的造成的污染； ，必需配帶專用高級防塵口罩。 鑄錠裝料 ? 檢查 ? 把四根依次放好，檢查溢流棉和溢流線是否有硅料和雜物，檢查螺母，往回?cái)Q松半圈。 兩人協(xié)作 帶好高 溫手套 石墨條放置 于 DDS塊下 鑄錠拆錠 ? 從爐體取出的硅錠由于溫度過高，必須在空氣中等待 2個小時以上散熱后，戴上絕熱手套， ? 依次把螺帽和石墨板拆開，但不需要拆螺栓，當(dāng)還剩相鄰兩塊石墨板時需兩面名操作人員相 ? 互配合拆出石墨板，然后再把硅錠四周坩堝碎塊清除。 ? 2提升下面腔室的控制屏幕下面腔室的方向控制箭頭必須向下，否則單擊此箭頭使箭頭向上。 ? 擦洗后，在下爐體“ O”形圈上稀薄地抹上一層真空油脂，在抹的過程中間隔地涂上米粒大小的油脂在“ O
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