壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-在線瀏覽
2024-08-04 17:34本頁面
【正文】 料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行測量?！ ?2) 技術(shù)發(fā)展階段(1960 1970 年) :隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,技術(shù)人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片,稱為硅杯[3 ] ?！ ?3) 商業(yè)化集成加工階段(1970 1980 年) :在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)[4 ] ,主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機(jī)控制自動中止法?！ ?4) 微機(jī)械加工階段(1980 年 今) :上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù),使得微機(jī)械加工工藝成為可能。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段?！ ?. 1 光纖壓力傳感器[5 ] 這是一類研究成果較多的傳感器,但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多。這種敏感元件已被應(yīng)用與臨床醫(yī)學(xué),用來測擴(kuò)張冠狀動脈導(dǎo)管氣球內(nèi)的壓力。同時,在加工與健康保健方面,光纖傳感器也在快速發(fā)展。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補(bǔ)償,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度。遇到過載時,膜片貼在基片上不會被破壞,無負(fù)載時會立刻返回原位無任何滯后,過載量可以達(dá)到100 %,即使是破壞也不會泄漏任何污染介質(zhì)。 2. 3 耐高溫壓力傳感器 新型半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC) 的出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳
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