壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-預覽頁
【正文】 、便于集成化的優(yōu)點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。因此對于從事現(xiàn)代測量與自動控制專業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內(nèi)外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進行測量。 (3) 商業(yè)化集成加工階段(1970 1980 年) :在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)[4 ] ,主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進入了微米階段。這種敏感元件已被應用與臨床醫(yī)學,用來測擴張冠狀動脈導管氣球內(nèi)的壓力。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補償,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度?！ ?. 3 耐高溫壓力傳感器 新型半導體材料碳化硅(SiC) 的出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳感器的制作成為可能。Ziermann ,Rene 報導了使用單晶體n 型β SiC 材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達573K,耐輻射。Hachol ,Andrzej 。 2. 6 多維力傳感器 六維力傳感器的研究和應用是多維力傳感器研究的熱點,現(xiàn)在國際上只有美、日等少數(shù)國家可以生產(chǎn)?！ ?2) 集成化壓力傳感器已經(jīng)越來越多的與其它測量用傳感器集成以形成測量和控制系統(tǒng)。 (5) 標準化傳感器的設計與制造已經(jīng)形成了一定的行業(yè)標準。
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