壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-免費閱讀
【正文】 (5) 標準化傳感器的設計與制造已經(jīng)形成了一定的行業(yè)標準。 2. 6 多維力傳感器 六維力傳感器的研究和應用是多維力傳感器研究的熱點,現(xiàn)在國際上只有美、日等少數(shù)國家可以生產(chǎn)。Ziermann ,Rene 報導了使用單晶體n 型β SiC 材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達573K,耐輻射。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補償,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度。利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進入了微米階段。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號轉化為電信號進行測量。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。 1 壓力傳感器的發(fā)展歷程 現(xiàn)代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志,而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段[1 ] : (1) 發(fā)明階段(1945 1960 年) :這個階段主要是以1947 年雙極性晶體管的發(fā)明為標志。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn),實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低?？深A見這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會有良好的發(fā)展前景。Rober. S. Okojie報導了一種運行試驗達500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實驗結果表明,在輸入電壓為5V ,被測壓力為6. 9MPa 的條 件下,23500 ℃時的滿量程輸出為44. 66～20. 03mV ,滿量程
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