壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)-免費(fèi)閱讀
【正文】 (5) 標(biāo)準(zhǔn)化傳感器的設(shè)計(jì)與制造已經(jīng)形成了一定的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)?！ ?. 6 多維力傳感器 六維力傳感器的研究和應(yīng)用是多維力傳感器研究的熱點(diǎn),現(xiàn)在國(guó)際上只有美、日等少數(shù)國(guó)家可以生產(chǎn)。Ziermann ,Rene 報(bào)導(dǎo)了使用單晶體n 型β SiC 材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達(dá)573K,耐輻射。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補(bǔ)償,可以保持長(zhǎng)期測(cè)量的可靠性和持久的精度。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級(jí)的溝、條、膜,使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強(qiáng)的測(cè)量與控制。 1 壓力傳感器的發(fā)展歷程 現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志,而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段[1 ] : (1) 發(fā)明階段(1945 1960 年) :這個(gè)階段主要是以1947 年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進(jìn)一步降低?？深A(yù)見這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會(huì)有良好的發(fā)展前景。Rober. S. Okojie報(bào)導(dǎo)了一種運(yùn)行試驗(yàn)達(dá)500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在輸入電壓為5V ,被測(cè)壓力為6. 9MPa 的條 件下,23500 ℃時(shí)的滿量程輸出為44. 66～20. 03mV ,滿量程
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