壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-全文預(yù)覽
【正文】 蛋和鋼球,現(xiàn)已用于機(jī)器人分選物品[8 ] 。dziuban ,Jan Bochenek 報(bào)導(dǎo)了一種可以用于測量眼球的眼壓計(jì),其膜片直徑為1mm。在室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20. 2muV/ VKPa。Rober. S. Okojie報(bào)導(dǎo)了一種運(yùn)行試驗(yàn)達(dá)500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在輸入電壓為5V ,被測壓力為6. 9MPa 的條 件下,23500 ℃時(shí)的滿量程輸出為44. 66～20. 03mV ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。測量方法采用電容原理,基片上一電容CP 位于位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR 位于膜片的邊緣,由于邊緣很難產(chǎn)生位移,電容值不發(fā)生變化,CP 的變化則與施加的壓力變化有關(guān),膜片的位移和壓力之間的關(guān)系是線性的。可預(yù)見這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會(huì)有良好的發(fā)展前景。 2 壓力傳感器國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 從世界范圍看壓力傳感器的發(fā)展動(dòng)向主要有以下幾個(gè)方向。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進(jìn)一步降低。此階段最小尺寸大約為1cm?！ ? 壓力傳感器的發(fā)展歷程 現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志,而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段[1 ] : (1) 發(fā)明階段(1945 1960 年) :這個(gè)階段主要是以1947 年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。除此以外,還廣泛應(yīng)用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低
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