壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢-全文預覽
【正文】 蛋和鋼球,現(xiàn)已用于機器人分選物品[8 ] 。dziuban ,Jan Bochenek 報導了一種可以用于測量眼球的眼壓計,其膜片直徑為1mm。在室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20. 2muV/ VKPa。Rober. S. Okojie報導了一種運行試驗達500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實驗結果表明,在輸入電壓為5V ,被測壓力為6. 9MPa 的條 件下,23500 ℃時的滿量程輸出為44. 66～20. 03mV ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。測量方法采用電容原理,基片上一電容CP 位于位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR 位于膜片的邊緣,由于邊緣很難產(chǎn)生位移,電容值不發(fā)生變化,CP 的變化則與施加的壓力變化有關,膜片的位移和壓力之間的關系是線性的。可預見這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會有良好的發(fā)展前景?！ ? 壓力傳感器國內外研究現(xiàn)狀 從世界范圍看壓力傳感器的發(fā)展動向主要有以下幾個方向。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn),實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低。此階段最小尺寸大約為1cm。 1 壓力傳感器的發(fā)展歷程 現(xiàn)代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志,而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段[1 ] : (1) 發(fā)明階段(1945 1960 年) :這個階段主要是以1947 年雙極性晶體管的發(fā)明為標志。除此以外,還廣泛應用于水利、地質、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低
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