壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)(文件)
【正文】 器是由一塊基片和厚度為0. 8～2. 8mm的氧化鋁(Al2O3) 構(gòu)成,其間用一個(gè)自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。這種傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是PN 結(jié)泄漏電流很小,沒(méi)有熱匹配問(wèn)題以及升溫不產(chǎn)生塑性變型,可以批量加工。而隨著微機(jī)械傳感器的體積越來(lái)越小,線(xiàn)度可以達(dá)到1～2mm ,可以放置在人體的重要器官中進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集?！ ?. 5 具有自測(cè)試功能的壓力傳感器 為了降低調(diào)試與運(yùn)行成本,Dirk De Bruyker 等人報(bào)導(dǎo)了一種具有自測(cè)試功能的壓阻、電容雙元件傳感器,它的自測(cè)試功能是根據(jù)熱驅(qū)動(dòng)原理進(jìn)行的,該傳感器尺寸為1. 2mm 3mm 0. 5mm ,適用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域[7 ] 。如美國(guó)Entran 公司生產(chǎn)的量程為2～500PSI 的傳感器,直徑僅為1. 27mm ,可以放置在人體的血管中而不會(huì)對(duì)血液的流通產(chǎn)生大的影響?！ ?4) 廣泛化壓力傳感器的另一個(gè)發(fā)展趨勢(shì)是正從機(jī)械行業(yè)向其它領(lǐng)域擴(kuò)展,例如:汽車(chē)元件、醫(yī)療儀器和能源環(huán)境控制系統(tǒng)。 4 結(jié)束語(yǔ) 隨著硅、微機(jī)械加工技術(shù)、超大集成電路技術(shù)和材料制備與特性研究工作的進(jìn)展,使得壓力傳感器在光纖傳感器的批量生產(chǎn)、高溫硅壓阻及壓電結(jié)傳感器的應(yīng)用成為可能,在生物醫(yī)學(xué)、微型機(jī)械等領(lǐng)域,壓力傳感器有著廣泛的應(yīng)用前景。如ISO 國(guó)際質(zhì)量體系。集成系統(tǒng)在過(guò)程控制和工廠自動(dòng)化中可提高操作速度和效率。在我國(guó)北京理工大學(xué)在跟蹤國(guó)外發(fā)展的基礎(chǔ)上,又開(kāi)創(chuàng)性的研制出組合有壓電層的柔軟光學(xué)陣列觸覺(jué),陣列密度為2438tactels/ cm2 ,力靈敏1g ,結(jié)構(gòu)柔性很好,能抓握和識(shí)別雞
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