無機(jī)材料第二章合成氣相固相-在線瀏覽
2025-06-19 08:23本頁面
【正文】 電纜料， 油漆涂料，油墨， 墨粉 食品，化妝品，日用品 Page 7 火焰燃燒法 ? 火焰正確地說是一種狀態(tài)或現(xiàn)象，是可燃物與助燃物發(fā)生氧化反應(yīng)時(shí)釋放光和熱量的現(xiàn)象 火焰燃燒法 Page 9 1. 焰心。中心的黑暗部分，由能燃燒而還未燃燒的氣體所組成。包圍焰心的最明亮部分，是氣體未完全燃燒的部分。 3. 外焰。含著過量而強(qiáng)熱的空氣，有氧化作用，也稱氧化焰。乙酰丙酮鐵和正硅酸乙酯首先在火焰焰芯形成固溶體，然后在內(nèi)焰進(jìn)一步形成復(fù)合納米顆粒，隨著相分離的發(fā)生，最終在外焰部分形成由 SiO2和 gFe2O3組成的雙面體型磁性納米顆粒。 ? SiH4 → Si + 2 H 2 ? SiH4 + O2 → SiO 2 + 2 H2 ? Si(OC2H5)4 → SiO 2 + byproducts ? 3 SiCl2H2 + 4 NH3 → Si 3N4 + 6 HCl + 6 H2 ? 3 SiH4 + 4 NH3 → Si 3N4 + 12 H2 ? WF6 + 3 H2 → W + 6 HF Page 12 化學(xué)氣相沉積的分類 ? 壓力 Atmospheric pressure CVD (APCVD) Lowpressure CVD (LPCVD) Ultrahigh vacuum CVD (UHVCVD) 10?6 Pa ? 前驅(qū)物狀態(tài) Aerosol assisted CVD (AACVD) Direct liquid injection CVD (DLICVD) Metalanic chemical vapor deposition (MOCVD) ? 輔助活化 PlasmaEnhanced CVD (PECVD) Remote plasmaenhanced CVD (RPECVD) Microwave plasmaassisted CVD (MPCVD) Combustion Chemical Vapor Deposition (CCVD) Hot wire CVD (HWCVD) / hot filament CVD (HFCVD) ? h Page 13 化學(xué)氣相沉積 設(shè)備 Page 14 化學(xué)氣相沉積 設(shè)備 管式 Page 15 化學(xué)氣相沉積 設(shè)備 箱式 Page 16 化學(xué)氣相沉積 Page 17 (a) 前驅(qū)物擴(kuò)散 (b) 前驅(qū)物分解 (c) 吸附 (d) 表面反應(yīng) (e) 表面擴(kuò)散 (f) 嵌入晶格 (g) 副產(chǎn)物脫附 (h) 副產(chǎn)物擴(kuò)散 化學(xué)氣相沉積 薄膜制備 ? 非晶態(tài) ? 多晶 ? 單晶 舉例：鈮酸鋰（ LiNbO3） 鋰的 β二酮化合物 +鈮的烷氧化物（ Nb2(OEt)10）作為起始反應(yīng)物，在含O2的 Ar氣流中分別將 Li和 Nb的化合物加熱到 520K、 470K，然后一起通過一個(gè)加熱到 720K的反應(yīng)管，得到 LiNbO3固體。 white LEDs with GaN semiconductors (epitaxial MOCVD on a sapphire substrate 1993)， the 1st bluelight semiconductor laser (1995) ￥￥￥ $$$ 1. Blue, green and white LED technology has continued its largescale mercial growth resulting in revenues exceeding $3 billion in 2022. 2. White LEDs are responsible for over 50% of the total GaN related LED market. 3. Sales for Blue laser diodes amp。 Nichia（日亞化學(xué)） 前身是生產(chǎn)熒光燈、顯示器所用的熒光粉，年收入僅 20億日元（約 2022萬美元），不到200人的小公司。另外，其它公司從日亞公司獲得專利使用許可之后，銷售額至少達(dá)到日亞的一半，日亞公司能從中得到 20% 的專利使用許可費(fèi)計(jì) 1,208 億日?qǐng)A ( 約合 億美元 )日亞化學(xué)僅僅支付給 Shuji Nakamura 2萬日元的獎(jiǎng)勵(lì)，中村還被調(diào)離研發(fā)一線，被同行成為“中村奴隸”。 磁鐵晶體的制備： Fe3O4 (s) + 8HCl (g) = FeCl2 (g) + 2FeCl3 (g) + 4H2O (g) 吸熱 傳輸兩種固體物質(zhì)： WO2 (s) + I2 (g) = WO2I2 (g) 吸熱 (1000oC, 800oC) W (s) + 2H2O (g) + 3I2 (g) = WO2I2 (g) + 4HI (g) 放熱 (800, 1000oC) 物理氣相沉積 – PVD Physical Vapor Deposition ?特點(diǎn)： 要使用固態(tài)的或者融化態(tài)的物質(zhì)作為沉積過程的源物質(zhì) 源物質(zhì)要經(jīng)過物理過程進(jìn)入氣相 。 在氣相中及襯底表面不發(fā)生化學(xué)反應(yīng) ?氣化分類 蒸發(fā)法 濺射法 離子束 Page 28 Page 29 物質(zhì)的熱蒸發(fā) (Thermal Evaporation) 物質(zhì)的蒸發(fā)速度 在一定的溫度下 ， 每種液體或固體物質(zhì)都具有特定的平衡蒸汽壓 。 單位源物質(zhì)表面的物質(zhì)的凈蒸發(fā)速率應(yīng)為 ∶ ?α 為 01之間的系數(shù)； ?Pe： 平衡蒸汽壓 ?Ph： 實(shí)際分壓 。C) 蒸發(fā)源狀態(tài)
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