培訓資料電鏡ppt課件(2)-在線瀏覽
2025-02-27 17:36本頁面
【正文】 狀掃描 。 ? 在試樣附近的探測器把激發(fā)出的電子信號接受下來，經(jīng)信號處理放大系統(tǒng)后，輸送到顯像管柵極以 調制顯像管的亮度 。因此，試樣各點狀態(tài)不同，顯像管各點相應的亮度也必不同，由此得到的像一定是試樣狀態(tài)的反映。 2）由于不需要穿過樣品， SEM的加速電壓遠比TEM低；在 SEM中加速電壓一般在 200V 到 50 kV范圍內。 5 二、構造與主要性能 電子光學系統(tǒng) (鏡筒 ) 偏轉系統(tǒng) 信號檢測放大系統(tǒng) 圖像顯示和記錄系統(tǒng) 電源系統(tǒng) 真空系統(tǒng) SEM的構造 6 電子光學系統(tǒng)示意圖 由電子搶、電磁聚光鏡、光欄、樣品室等部件組成。 7 幾種類型電子槍性能比較 電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑 8 2. 偏轉系統(tǒng) 作用 ：使電子束產(chǎn)生橫向偏轉。 可以采用 橫向靜電場 ，也可采用 橫向磁場 。 ? 不同的物理信號，要用不同類型的收集系統(tǒng)（探測器）。 ? 閃爍計數(shù)器是由閃爍體、光導管、光電倍增管組成?？梢姽庑盘柾ㄟ^光導管送入光電倍增器，光信號放大，即又轉化成電流信號輸出，電流信號經(jīng)視頻放大器放大后就成為調制信號。 如何測量：拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。 （ 3） 景深 SEM（二次電子像）的景深比光學顯微鏡的大，成像富有立體感。 如何測量 ： 拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。 14 掃描電子顯微鏡景深 15 日立 S4800 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 主要性能： 二次電子像分辨率： (15kv)； (1kv,減速模式 )； (1kV)普通模式 加速電壓： ~ 30kV 放大倍率： 20 ~ 800,000 束流強度： 1pA~2nA 物鏡光欄：加熱自清潔式、四孔、可移動物鏡光欄 樣品室和樣品臺：移動范圍： X： 0~50mm； Y：0~5mm； Z： ~30mm； T： 5~700旋轉 R：3600，最大樣品尺寸： 100mm 探測器 : 高位探頭可選擇接受二次電子像或背散射像，并混合 INCA Energy 350 X射線能譜儀技術指標： Xsight Si(Li) 探測器 (專利 )， SuperATW 窗口 30mm2 活區(qū)，分辨率優(yōu)于 133eV (MnKα處 ,計數(shù)率為 4000cps)，分析元素范圍： Be4U92 16 第二節(jié) 像襯原理與應用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 ：像的各部分 (即各像元 )強度相對于其平均強度的變化。 17 1．二次電子像襯度及特點 ? 二次電子信號主要來自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于 50eV)。 18 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： (1)形貌襯度 (2)成分襯度 (3)電壓襯度 (4)磁襯度 (第一類 ) 形貌襯度原理 樣品傾斜角 ? 入射電子束 表面法線 樣品傾斜角 ?越大 二次電子產(chǎn)額越大 圖像越明亮 19 二次電子像襯度的特點： （ 1）分辨率高 （ 2）景深大，立體感強 （ 3）主要反映形貌襯度。 20 2．背散射電子像襯度及特點 影響背散射電子產(chǎn)額的因素 ： (1) 原子序數(shù) Z (2) 入
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