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vacuum機(jī)臺(tái)專用名詞-在線瀏覽

2025-07-13 19:46本頁(yè)面
  

【正文】 小有邦浦本身氣體逆流的大小或所用抽氣媒體的 蒸汽壓大小來(lái)決定。 Electromigration resistance:抗電移能力 ESD:靜電放電 EDC:工程資料分析系統(tǒng) Effective pumping speed 有效抽氣速率 ELB Electric Breaker EMO Emergency Mechanical Off Switch Fab 晶圓廠 FTIR:Fourier Transform 紅外線光譜儀,測(cè)量鍵結(jié)強(qiáng)度 Facility Down:公用系統(tǒng)故障 Facility:公用系統(tǒng) FT:封裝后測(cè)試 Future Hold:預(yù)先扣留 FA:工廠自動(dòng)化系統(tǒng) Forepump 前級(jí)邦浦 Freeze drying 冷凍干燥 Filament 燈絲 Gate valve:閘閥 Gowning Room:更衣室 Gas flow 氣流 Gauge 真空計(jì) Hook Up: hardware連結(jié), gasamp。真空概念 amp。機(jī)臺(tái)專有名詞導(dǎo)讀 李海波 Air knife:長(zhǎng)片狀出氣孔的噴 氣除屑裝置 Ashing:光阻去除 Angstrom: Alignment:對(duì)準(zhǔn) ADI:顯影后檢查 EDI:蝕刻后檢查 aSi:非晶硅 Actone:丙酮 Air shower:空氣洗塵室 Assembly:晶粒封裝 Acceleration electrodes 加速電極 Aging 老化 Alloy 合金 Alumina 鋁土 Aluminum Flow 熱流鋁 Aluminum Plug 鋁插塞 Amorphous Silicon 非晶硅 Anneal 回火 Argon 氬氣 Argon instability 氬氣抽氣不穩(wěn)定性 Array 陣列 A 0 Backing Pump 輔抽泵 Barrier layer 阻障層 Base Pressure 基準(zhǔn)壓力 Binder 粘合劑 Buffer Agent 緩沖劑 Barrier layer:阻障層 Brass:黃銅管,用來(lái)提供設(shè)備的真空度, CDA,廠務(wù)氮?dú)獾姆侵瞥讨苯邮褂脷怏w的傳輸 BDG:保持劑,溶解 PR防止 PR再附著,因強(qiáng)堿性的 MEA有機(jī)溶劑較難將剝離的 PR溶解,因此需加入保持劑 Breakdown voltage:崩潰電壓 . :緩沖蝕刻液 Burn In:預(yù)燒試驗(yàn) BIN:針測(cè)結(jié)果類別 Backstreaming 回流,逆流 Capacitance manometer 電容式測(cè)壓計(jì) Cryo pump 冷凍邦浦 Check Valve 整流閥,防止氣體在管路中回流 Chemical Vapor Deposition:CVD,化學(xué)氣相沉積 Clean Room 潔凈室 Coating 涂布 Combustible Gas 易爆性氣體 Compressor 壓縮機(jī) Con
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