供輸半導(dǎo)體級(jí)一般氣體之配管工作程序文件-展示頁(yè)
2024-09-01 08:20本頁(yè)面
【正文】 定管線之處?b) 支架的擺設(shè)位置需依現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際狀況予以量測(cè)並架配之?c) 配管時(shí)需考慮管線工作處?氣體種類?維護(hù)及配設(shè)之美觀程度等?d) 管線之間的架設(shè)間距至少為20mm以上?e) 螺釘與螺帽基本為不銹鋼製品? 8) 管線架設(shè)工作a) 確定每一段製作的管子的編號(hào)符合它們要被擺放的位置無(wú)誤?b) 先予以擺放至要被架設(shè)的位置以確定其長(zhǎng)度適合原來(lái)的設(shè)計(jì)?c) 使用塑膠方塊在末端支撐住,並小心使其保持的潔淨(jìng)度避免被破壞。●226?！?26?！?26?！?26?！?26。 任何管子與零件在彎管?切割及焊接諸如此類工作之進(jìn)行前, 需確定其清潔度可維持的情形下始可拆封?b) 氬氣Purge :在裝配好個(gè)別的預(yù)作管線且擺放好後, 每一單位均需以氬氣Purge乾潔? 3) 純度提升的方法:用純氬氣來(lái)噴洗管線內(nèi)部?(氬氣純度:)4) 配管完成後的檢查:a) 外觀目檢:送樣本附表b) 焊接點(diǎn)目視檢查: 必須送樣本附表 c) 鎖入配件目檢?d) 壓力/偵漏檢驗(yàn)?e) 微塵測(cè)試?f) 純度測(cè)試? 5) 預(yù)先允諾管線行經(jīng)路線 : 為了避免由焊接工作的過(guò)程中因不斷修正而導(dǎo)致的損失,管線所經(jīng)的路線必須先經(jīng)由客 戶召集各承包商進(jìn)行套圖,一但經(jīng)業(yè)主確認(rèn)無(wú)誤施工後,路線若須變更,則一切因變更 而增加的費(fèi)用需由客戶自付? 6) 強(qiáng)制性穿戴手套 : 在進(jìn)行每一個(gè)操作時(shí)必須穿上乾淨(jìng)無(wú)塵膠質(zhì)手套,嚴(yán)禁使用裸手操作? : 為了維持完成後的潔淨(jìng)在所訂定之水準(zhǔn)內(nèi),氣體供輸?shù)墓芫€工作必須儘可能地小心去完 成?序號(hào)項(xiàng)目步驟備 註製造地點(diǎn)1材料檢查○226。 的彎頭,小於及等於1/2” 的管子則需使用彎管器?c) 自動(dòng)焊接機(jī)的狀況可藉由製作測(cè)試用樣品片來(lái)檢查 。帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司 氣體技術(shù)部一般氣體配管工作程序供輸半導(dǎo)體級(jí)一般氣體之配管工作程序1. 適用範(fàn)圍: 本程序乃適用於半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作?2. 氣體管路的種類:CDA, N2, O2, H2, He, Ar3. 工作範(fàn)圍: 在這裡所定義的管線涵蓋範(fàn)圍由各種不同氣體的起始點(diǎn)連接至各生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的USE?1) 分段點(diǎn)a) 主管路(Main)為由氣體的起始流出點(diǎn)(Gas yard)至無(wú)塵潔淨(jìng)室中的第一組分支閥 (Main Line)為止?b) B次主管(Submain)乃指由無(wú)塵潔淨(jìng)室中之第一組分支閥至第二組分支閥(Submain Line)止? c) 第二條管線由第二組分支閥開始至point of u
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