【正文】 免自動操作。 警告： 不要觸碰沒有保護(hù)圍欄的設(shè)備。 設(shè)備危險說明 注意： 設(shè)備危險包括多個壓力點，高壓和裝卸期間暴露在外很熱的接線端子。 ！警告 有燙傷眼睛的危險。 卸下硅錠過程中，迅速冷卻將造成坩堝裂碎。在冷卻循環(huán)期間不要觸摸硅錠。 ！警告 必須戴 安全手套 。 維修前必須斷開電源。 安全保護(hù)措施 按照本手冊里描述的斷開電源步驟操作。 注意 說明有危險，如果不注意避免會導(dǎo)致中等程度的傷害。 危險 說明危險，如果不注意避免會導(dǎo)致死亡或者嚴(yán)重的傷害。下面列出了本手冊涉及到的安全說明和安全符號清單。每一個符號右邊的概述說明了危險或者警告的嚴(yán)重性。 安全符號 這本手冊里的下列安全符號著重強(qiáng)調(diào)了特別的信息或者警告了潛在的危險。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 1 DSS 爐操作手冊 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 2 DSS 爐操作手冊 ............................................................. 1 1. 安全 .................................................................... 4 本 地代碼和標(biāo)準(zhǔn) ...................................................... 4 安全文件 ........................................................... 4 安全符號 ........................................................... 4 安全保護(hù)措施 ....................................................... 4 ................................................................. 8 外圍設(shè)施要求 ....................................................... 8 設(shè)備平面圖 ........................................................ 11 ................................................................ 12 介紹 .............................................................. 12 操作原理 .......................................................... 12 系統(tǒng)硬件 .......................................................... 12 4. 控制平臺 ............................................................... 14 操作顯示屏 ........................................................ 14 報警按鈕 .......................................................... 14 結(jié)束觸發(fā)報警按鈕 ................................................... 15 接觸器斷開界面 ..................................................... 16 瀏覽界面 .......................................................... 17 細(xì)節(jié)界面 .......................................................... 17 模式界面 .......................................................... 19 前進(jìn)到下個階段 ..................................................... 19 你確定想終止界面嗎？ ............................................... 20 主要參數(shù)界面 ..................................................... 20 PID值界面 ........................................................ 21 手動界面 ......................................................... 21 抽氣界面 ......................................................... 21 配方按鈕 ......................................................... 22 手動按鈕 ......................................................... 22 Real values 界面 .................................................. 23 隔熱籠手動操作界面 ................................................ 24 手動隔熱籠界面 .................................................... 25 圖表數(shù)據(jù)界面 ..................................................... 25 功率曲線對比圖 .................................................... 27 功率數(shù)據(jù)模式 /步驟界面 ............................................. 27 模式 /步驟界面 模式 /步驟失效界面 ................................... 28 “disable power profile ”按鈕 ..................................... 28 “l(fā)ast log table ”按鈕 ............................................ 29 同意 /不同意功率曲線 ............................................... 29 5. 爐子的操作 ............................................................. 30 概述 .............................................................. 30 打開爐腔 .......................................................... 30 取出長晶好的硅錠 ................................................... 32 DSS450 卸錠 ....................................................... 33 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 3 加入新硅料 ........................................................ 34 自動運行 .......................................................... 37 自動運行順序 ...................................................... 39 ................................................... 42 報警響應(yīng) .......................................................... 43 調(diào)節(jié)操作條件和跳步 ................................................ 44 終止自動運行 ..................................................... 45 熱電偶故障 ....................................................... 46 爐子超溫 ......................................................... 48 水溫 ............................................................. 48 硅料溢流 報警 ..................................................... 50 測量硅錠長晶 ..................................................... 50 6. 安裝 ................................................................... 52 必須設(shè)備 .......................................................... 52 安裝步驟 .......................................................... 52 7. 退役 ................................................................... 53 8. 先進(jìn)功能 ............................................................... 53 控制循環(huán) .......................................................... 54 DSS爐生長期間的操作順序 ........................................... 55 配方的開發(fā)和修改 ................................................... 57 主 參數(shù)的定義 ...................................................... 63 故障的解決 ........................................................ 69 下載新的軟件 ...................................................... 78 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 4 1. 安全 本地代碼和標(biāo)準(zhǔn) 每一個用戶都有責(zé)任 .保證設(shè)計，設(shè)施的布置 /連接和工藝流程狀況符 合本地代碼和標(biāo)準(zhǔn)。 安全文件 定向固化系統(tǒng)的安全文件都放在電柜門內(nèi)。用戶有責(zé)任將這些符號的含義告訴給操作工，維修工和安裝人員且讓他們充分理解。 用這些安全符號描述和代替符號右邊的所有語句信息或者一部分信息。所有的條款和說明都符合 (產(chǎn)品安全符號標(biāo)志 )， ISO3864（安全顏色和安全符號）和 IEC60417(關(guān)于設(shè)備使用的圖解符號 )指南，但文本已經(jīng)修改了以便解釋特殊的危險或者注意信息。 警告 說明有潛在的危險，如果不注意避免會導(dǎo)致嚴(yán)重的傷害。 聲明 保護(hù)人員或者財產(chǎn)的聲明。 ！危 險 危險的電壓 如果觸摸電壓，將被電擊或者燒焦。 Glory