【正文】 手動按鈕 如果爐子 沒有處于自動控制模式時，在手動屏幕底部顯示手動鈕。關于如何建立一個配方和如何修改配方的詳細說明，請看 “ 先進的功能 ”部分。從模式屏幕上裝載配方和保存配方，在每一個屏幕上利用列出的模式和階段建立配方和修改配方。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 22 配方按鈕 點擊任何一個屏幕底部的配方框都可以進入 4 個配方屏幕中的第一個屏幕。按照改后的工藝執(zhí)行當前的循環(huán)，等結束后才能重新更改。 警告： 只有合格人員才能更改這些值和打開 /關閉閥門，移動隔熱層或者接通 /斷開電源等。按下這個鈕，會打開第二個屏幕詢問操作工是否確實想繼續(xù)手動控制且需要輸入一個密碼才能打開此手動屏幕。 手動界面 只有正在運行自動循環(huán)期間才能看見這個手動屏幕。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 21 PID 值界面 PID 屏幕顯示溫度，進氣通道和排氣通道 PID 的控制環(huán)路。 主要參數(shù)界面 操作工可以在這個屏幕上修改自動循環(huán)過程中不會變化的變量。如果沒有正確地，快速地跳到緊急冷卻階段或者按下 “ 繼續(xù)運行 ” 鈕前沒有正確地跳到 緊急冷卻階段，程序可能會跳回到自動長晶過程中一個較早的階段。如果操作工選擇 OK，程序將進入緊急冷卻階段并執(zhí)行此程序。 你確定想終止界面嗎？ 按下暫停按鈕后，可以看見終止按鈕。 前進到下個階段 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 20 (程序的轉移詳情可看自動監(jiān)控部分 )?？梢暂?入新時間使程序在選定的階段開始運行。如果需要跳到一個新模式或新階段，可以輸入新時間和模式編號（參考更改模式 /相應編號屏幕底部的注解），就可以看見新階段的編號。 模式界面 一旦啟動一個自動生長程序，屏幕頂部的數(shù)據(jù)登陸信息將會閃亮并顯示當前的模式，階段和當前階段剩余的時間。操作者可以用安裝鈕和存儲 鈕從硬盤上的配方清單中選擇一個新配方（安裝一個配方）后存儲一個新配方。輸入日期和時間后按下時間 /日期旁的綠色按鈕。正常選項是缺省項，一旦按下自動模式按鈕，將啟動自動程序。 細節(jié)界面 這些屏幕顯示了工藝變量的當前測量值，設定值，輸出值和 PID 參數(shù)并附有一個趨勢圖。每一個功能信息組都有一個詳細按鈕，能顯示更詳細的測量結果和一個較短時間內的趨勢圖。峰值 KVA 框中顯示測量的最大功率。 可以利 用窗口控制盤更改 PC 機的時間和日期，然后單擊更改 /時間 /日期同步按鈕，使控制盤上的時間和日期與 PC 機上的時間和日期相同。 ID 框中顯示了設備標識和當前日期和時間。記住：設備將處于暫停模式下直到按下 “ 繼續(xù)運行 ” 按 鈕 。關閉這個窗口，回到當前值窗口，監(jiān)控返回到正常操作狀態(tài)的程序。 可以重新閉合加熱器電源的接觸器，使電源設定值重新返回到接觸器斷開時的電源值。 關閉接觸器斷開窗口，查看接觸器斷開的原因。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 16 接觸器斷開界面 當出現(xiàn)了一個臨界值報警且已到報警允許時間，加熱器電源接觸器會斷開且打開接觸器斷開屏幕。如果已經超過了 TC1 控制值或者 TC2 和 DS 塊溫度允許值（在主參數(shù)屏幕里）時還沒有恢復電源，根據(jù)掉電時程序正在運行的模式而執(zhí)行冷卻處理程序或突然中斷當前的工藝進入驟冷階段。 電源缺失 /缺相界面 掉電或者缺相后又恢復電源時，電源按一定的曲線自動恢復（比掉電前的電源值稍高）且自動轉換到溫度控制模式（如果掉電前就處于這個模式）。緊急報警有， 水流量緊急報警，最大溫度報警，最大壓力報警等。若報警 消除，報警狀態(tài)將顯示綠色?？梢噪S時按下報警按鈕調出報警界面。 報警 按鈕 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 15 如果有需要操作員注意的報警響起時，報警界面就會打開。電纜從 控制 柜里接到電源控制柜里，各種設備里和爐子的傳感器上。這種控制能顯著地提高功率的轉換系數(shù)和整個系統(tǒng)的有效功率。例如：設定功率比為 30%，在 30%的時間內完全接通 SCR 控制器，在剩下 70%的時間內斷開 SCR 控制器。柜內還有一個控制電源電壓的降壓變壓器，加熱器的電源接觸器，真空泵接觸器，下腔室驅動電機，各種電路的斷路器和保險。變壓器輸出端提供最大電壓 25VAC 和最大電流 3800Amps（每一相）。 電源 利用水冷電纜給加熱元件提供 165KVA 電源。用空氣閥斷開氬氣系統(tǒng)的氬氣，真空泵和腔室。大部分情況下，打開機械泵使腔室保持部分真空狀態(tài)（ 400600mbar）。 真空泵系統(tǒng) 真空泵系統(tǒng)包括一個羅茨泵和機械前級泵。 3 個提升桿能上下提升隔熱籠，露出 DSBlock 底部，從而冷卻下腔室的四壁。 DSBlock 為長晶循環(huán)提供了調制控制器和熱能輻射表面。隔熱元件相互交疊以免不期望的熱量損失。在不銹鋼籠里有兩層隔熱介質，由 3個隔熱層提升桿支撐不銹鋼籠。 熱區(qū) 加熱區(qū)有 4 個石墨板，板的下角與 6 個饋通器相連。后支架上的兩個水冷多岐管能將水分配給腔室，饋通器和真空泵。利用一個不銹鋼焊接的波紋管密封 3 個隔熱層支撐桿以免漏氣。上腔室頂部的 6 個絕緣銅質饋通器將 AC電流通至石 墨加熱器。撓性的驅動電纜使 3 個絲杠作同步運動。 爐腔 上腔室像一個倒扣的鐘固定在三個支架上。爐腔包括石墨熱區(qū)和隔熱層組件。當所有的硅料都凝固后，在程序的控制下，硅錠需要經過退火，冷卻處理以免破裂且能將（晶格）位移降到最小限度。水冷卻 DSBlock 后再返回來冷卻坩堝底部，從而使坩堝內的熔融硅周圍形成了一個豎直溫度梯度。坩堝的四個豎直邊都圍有石墨加熱器， DSBlock，坩堝四周圍有隔熱層。內涂 SiN 的坩堝裝入多晶硅料后放在導熱性很強的石墨塊上（即所謂的定向固化塊或者 DS 塊）。 在長晶期間，只有一個部件在運動，這樣的設計極大地簡化了操作，減小了操作的復雜性。 操作原理 DSS（定向固化系統(tǒng)）能生產較大尺寸的，優(yōu)質的多晶硅錠（用于光伏工業(yè)領域）。 NW16密封環(huán) 氦氣 連接： Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 10 建議用慢速排氣預防真空泵油回流進真空過濾器 超壓會通過平臺上的通風口泄壓 排氣和通風 熱損耗： GTDSS 240TM每塊錠 540KWh， GTDSS 450TM每塊錠 567KWh 平均熱損耗率： GTDSS ， GTDSS 最高熱損耗率： 30KW 平均聲音：最大 79dB，峰值 530℃，建議 24℃ 25%最大 65% 報警裝置 安裝在可以看到的平臺前方 報警聲： 126dB 安裝在可以看到的平臺前方 蜂鳴器： 105dB最大 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 11 設備平面圖 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 12 介紹 這本手冊介紹了如何操作 GT 公司的 DSS 爐。 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 8 外圍設施要求 樓層設計 1. 系統(tǒng)尺寸 W L H:3823mm 4774mm 5105mm 頂板高度： 6000mm 系統(tǒng) 后面區(qū)域 ： 1000mm 系統(tǒng)前面區(qū)域： 3000mm 爐腔： 5720kg，重量平均分布在 254mm 356mm的支座上 平臺： 3864kg， 40%的重量在 254mm 254mm 的支座上， 30%， 20%， 10%重量在三個 203mm 203mm支座上 真空泵： 635kg 填料： GTDSS 240TM 240kg,GTDSS 450TM 450kg 安裝結束后平臺和爐腔應該水平 操作區(qū)域地面應該水平預防坩堝裝卸過程中傾斜 電線和頂部電源柜相連 接好冷卻水，壓縮空氣，氬氣，氦氣，真空排氣裝置，和超壓通風裝置 電源 400/440/480VAC(380VAC合適 ) 50/60 Hz， 3相加接地線 259/235/215A400/440/480VAC 最大 272A380VAC最大 200kVA最大 每個錠 3600kWh 使用電力電纜，并聯(lián)導線能承受最大電流 80%減額 冷卻水 遵守 ASTMD5127(1999)規(guī)定的冷卻水 每個硅錠長晶循環(huán)需要能帶走 3600kWh的能量 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 9 120130 LPM(3235 GPM) (5065 PSI) 進水壓力和出水壓力之間最小 （ 37 PSI） 2130℃，建議使用 24℃177。 用戶必須提供一個斷開裝置（安在主斷路開關上）以便斷開 DSS的所有電源。 斷開電氣設備 主電源控制柜有一個主斷 路開關。 隔離狀況的核實 確信不會有人出來后檢查能源的斷開情況，啟動或者操作能源隔離裝置以保證設備沒有任何功能。例如用一個普通的鐵扣扣住一個正在使用中的按鈕。 你必須用自己的掛鎖鎖定能源隔離裝置才能保護自己。不能因為設備沒有起作用，就猜想它肯定處于斷開狀態(tài)。拔出保險也不能保證電路沒有電，即使電路沒有電，也不能保證有些人由于疏忽重新裝上了保險?？梢岳媒拥兀匦路峙?，阻擋，釋放等方式散失，斷開或者抑制儲存的能量（例如電容器里的能量，提升設備部件的能量，旋轉的輪子，液壓系統(tǒng)，空氣，天然氣，水蒸汽 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 7 或者水壓等）。只有掌握了設備操作的人員才能斷開或者重啟設備。 斷開機器或者設備： 如果設備正在操作狀態(tài)下，可以用正常的方法斷開。 員工應該掌握鎖定的所有知識且按照要求鎖定。 用 戶代表必須 精通 鎖定功能的所有知識且保證手下的所有職員都理解鎖定過程且能正確地執(zhí)行鎖定操作。如果沒有鎖定裝置，就必須 先 斷開設備或者機器以避免意外地接通電源或者釋放存儲的能量。 注意： 當維護，維修，操作定向固化系統(tǒng)和執(zhí)行其它相關動作時，用戶必須使用相應的鎖定裝置。 更換附屬裝置前 或者不用壓縮空氣時必須斷開壓縮空 氣系統(tǒng)。 以后將會介紹壓縮空氣的危險和壓縮空氣設備的危險。 壓縮空氣攜帶而出的飛濺顆粒能傷害操作人員或損害設備。 不要帶任何珠寶或者其它飾品以防意外地接觸電路和接通導體電流，或者卡進旋轉部件 Glory Silicon Energy (Zhen jiang) Co.,Ltd. 6 里。一塊橡膠墊是很好的絕緣體，但是一塊毯子無論多厚都不是很好的絕緣體。 穿上橡膠底的鞋子或者運動鞋。尤其需要強調的是，在急停情況下，不要單獨一個人工作，必須協(xié)同另外的操作工一起工作。當門和安全護 欄沒有位于正確位置時，這些內鎖裝置能避