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金屬互連技術(shù)ppt課件-展示頁

2025-05-16 03:45本頁面
  

【正文】 。 肖特基接觸: 接近理想的二極管 , 正偏時它們的電阻應(yīng)很低 , 而反偏時 , 電阻則為無窮大 。 金屬布線技術(shù) 金屬材料作用: Al Al Al P SUB 接觸線 互連線 焊盤 半導(dǎo)體與金屬線間的接觸 半導(dǎo)體與金屬線接觸 : 歐姆接觸 和 肖特基接觸 理想歐姆接觸: 電流隨外加電壓線性變化 。 為了將盡可能多的電流從器件傳輸給電路中的各種電容充電 , 接觸電阻占器件電阻的比例也必須小 。 在集成電路片上淀積金屬薄膜,并通過光刻技術(shù)形成布線,把互相隔離的元件按一定要求互連成所需電路的工藝。 常用的金屬化材料
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