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金屬互連技術(shù)ppt課件-wenkub.com

2025-05-04 03:45 本頁面
   

【正文】 器件制備 絕緣介質(zhì)層沉積 平坦化 接觸孔 金屬化 最后一層 生成鈍化層 結(jié)束 Y N 平坦化 —— 化學(xué)機械拋光: 是用化學(xué)和機械方法除去薄 膜平整表面的一種制造工藝 。 加載之前 加載 200 ℃ ,10000A/mm2 ? 鋁和硅間產(chǎn)生固 固擴散 ? 鋁不能承受高溫處理 ? 鋁存在電遷移現(xiàn)象 Al 克服鋁和硅間產(chǎn)生固 固擴散 : 在 Al中摻入 1%~ 2%的 Si, 可以防止熱處理時硅向鋁中的溶入 。 ? 鋁不能承受高溫處理
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