薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ)(2)-展示頁
2025-05-12 18:46本頁面
【正文】 紊流狀態(tài) 2200Re1200 紊流和層流態(tài) Re1200 層流狀態(tài) 氣體的流動狀態(tài)和真空抽速 氣體管路的流導(dǎo) 真空系統(tǒng)中總包括有真空管路，而真空管路中氣體的通過能力稱為它的 流導(dǎo) 。這時，氣流中不斷出現(xiàn)一些低氣壓的漩渦，這種氣體的流動狀態(tài)成為 紊流狀態(tài) 。 所謂 層流狀態(tài)， 相當(dāng)于氣體分子的宏觀運(yùn)動方向與一組相互平行的流線相一致。 當(dāng)氣體壓力較高時，氣體分子的平均自由程較短，氣體分子間的相互碰撞較為頻繁，這種氣體的流動狀態(tài)稱為氣體的 黏滯流狀態(tài) 。這種氣體的流動狀態(tài)被稱為氣體的 分子流狀態(tài)。氣體分子的平均自由程與氣體分子的密度 n成反比。 231P 41aa nm VnV ???M R TPN A?2?? 氣體分子運(yùn)動論的基本概念 （ 3） 將式（ 1）和（ 2）代入上式，可以求出氣體分子的通量： 21nd??? 氣體分子運(yùn)動論的基本概念 分子平均自由程 λ： 氣體分子在兩次碰撞的間隔時間里走過的平均距離。 真空的基本知識 大氣壓 (atm): 標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓力定義為 1 atm 帕 (Pa): N/m2 (常用單位： Pa) 巴 (Bar): Dy/cm2, (常用單位： mBar) 乇 (Torr):1/760 atm, (常用單位： Torr) M88??RTmkTVa ?? 氣體分子運(yùn)動論的基本概念 氣體分子的平均運(yùn)動速度 Va 溫度越高、氣體分子的相對原子質(zhì)量越小，則分子的平均運(yùn)動速度越大。真空度越高，即氣體壓力越?。环粗婵斩仍降?，即氣體壓力越大。第 1章 薄膜制備的 真空技術(shù)基礎(chǔ) 1. 真空的定義：真空泛指壓力低于一個 大氣壓的任何氣態(tài)空間。 真空的基本知識 2. 真空度的單位 真空度實質(zhì)上與氣體壓力是同一物理概念。真空度的上限就是一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，即 760毫米汞柱。 （ 1） 氣體的壓力 28aAAn M v n R TpNN??? （ 2） 碰撞頻率 Ф（氣體分子通量） ：在單位時間 , 單位面積表面受到氣體分子碰撞的次數(shù) 。 式中 d為氣體分子的有效截面直徑。
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