真空薄膜技術與薄膜材料的應用-展示頁
2025-07-29 04:29本頁面
【正文】 它方面的一些應用，并列舉部分應用比較廣泛的薄膜材料及現(xiàn)今前沿的薄膜材料和薄膜技術如光學薄膜中的太陽能薄膜，眼鏡鍍膜，抗反射膜及其他的一些耐腐蝕薄膜和電容薄膜，并闡述學習薄膜技術的意義。關鍵詞：薄膜； 應用； 發(fā)展； 意義Abstract： This article focuses on some basic characteristics of thin film material and the application of in the energy, military and some other aspects. Then it gives part of broader application of the thin film material and the edge of the film materials and thin film technologies such as optical thin films in solar thin film, optical coating, anti reflective film and other corrosion resistant film and film capacitors. At last it gives the significance of the thin film technology and expounds.Keywords：Thin Film； Application； Development； Meaning引 言： 真空薄膜技術發(fā)展至今已有200年的歷史。正文：真空薄膜技術發(fā)展至今已有200年的歷史。經過一代代探索者的艱辛研究，時至今日大量具有各種不同功能的薄膜得到了廣泛的應用，薄膜作為一種重要的材料在材料領域占據著越來越重要的地位，各種材料的薄膜化已經成為一種普遍趨勢。這些新型薄膜材料的出現(xiàn)，為探索材料在納米尺度內的新現(xiàn)象、新規(guī)律，開發(fā)材料的新特性、新功能，提高超大規(guī)模集成電路的集成度，提高信息存儲記錄密度，擴大半導體材料的應用范圍，提高電子元器件的可靠性，提高材料的耐磨抗蝕性等，提供了物質基礎。薄膜技術與薄膜材料之所以受到人們的關注，主要基于下面幾個理由：（1） 薄膜材料是典型的二維材料，即在兩個尺度上較大，而在第三個尺度上很小。 （3） 由于尺寸小，薄膜材料中表面和界面所占的相對比例較大，表面所表現(xiàn)的有關性質極為突出，存在一系列與表面界面有關的物理效應。 （5） 表面磁性原子的相鄰原子數(shù)減少，引起表面原子磁矩增大。 薄膜材料種類繁多,應用廣泛,目前常用的有：超導薄膜、導電薄膜、電阻薄膜、半導體薄膜、介質薄膜、絕緣薄膜、鈍化與保護薄膜、壓電薄膜、鐵電薄膜、光電薄膜、磁電薄膜、磁光薄膜等。薄膜及微細加工技術的應用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術產業(yè)的各個領域。薄膜技術與薄膜材料根據用途可以分為民用和軍用兩大類。可以是金屬膜、介質膜或這兩類膜的組合。減反射膜是應用最廣、產量最大的一種光學薄膜，因此，它至今仍是光學薄膜技術中重要的研究課題，研究的重點是尋找新材料，設計新膜系,改進淀積工藝,使之用最少的層數(shù)，最簡單、最穩(wěn)定的工藝，獲得盡可能高的成品率，達到最理想的效果。如果膜層的折射率低于基片的折射率，則在每個界面上的反射系數(shù)都為負值，這表明相位變化為180176。若該媒質的折射率
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