sputter基本原理培訓(xùn)-展示頁
2025-01-19 12:28本頁面
【正文】 — 中真空： 103~106mbar — 高真空： 106~109mbar — 超高真空： ＜ 109mbar 第一章 真空 7 22 氣體分子平均自由程 不同真空度下的平均自由程： 真空度 平均自由程 分子 數(shù) （ mbar） （ cm） （個(gè) /cm3） 1103 105 1019 1102 100 1014 1106 104 1010 11010 108 106 第一章 真空 8 第一章 真空 9 第一章 真空 10 ? 旋葉泵 旋葉泵的特點(diǎn)： ? 經(jīng)濟(jì)耐用 ? 工作范圍： 大氣壓 ~103mbar ? 極限真空： 103mbar ? 缺點(diǎn)：振動(dòng)、反油 第一章 真空 11 ? 羅茨泵 機(jī)械泵的特點(diǎn)： ? 啟動(dòng)快，抽速大 ? 工作范圍：低、中真空 ? 極限真空：取決于前級(jí)泵 ? 羅茨泵壓縮比較小，一般需要串聯(lián)使用； 第一章 真空 12 ? 渦輪分子泵 渦輪分子泵的特點(diǎn)： ? 抽速大、無油、啟動(dòng)快 ? 工作范圍： 102~106mbar ? 極限真空： 106mbar ? 缺點(diǎn)：振動(dòng)、成本高、易損 第一章 真空 13 ? 油擴(kuò)散泵 油擴(kuò)散泵的特點(diǎn)： ? 經(jīng)濟(jì)耐用、無振動(dòng) ? 工作范圍： 104 ~109mbar ? 極限真空： ~106mbar ~109mbar （液氮冷卻） ? 缺點(diǎn)：反油、需預(yù)熱 第一章 真空 14 真空泵 極限壓強(qiáng) （ mbar） 啟動(dòng)壓強(qiáng) （ mbar） 旋葉泵 1103 1103 水蒸氣噴射泵 1103 1103 羅茨泵 取決于前級(jí)泵 1101 渦輪分子泵 1106 1102 油擴(kuò)散泵 1109 1104 濺射離子泵 11011 1103 鈦升華泵 11011 1103 低溫吸附泵 11012 1103 幾種常用泵的極限壓強(qiáng)與啟動(dòng)壓強(qiáng)
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