【正文】 以給激光微加工透明介質(zhì)材料工藝帶來新發(fā)展 [4]。光柵主要是由激光進長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 2 行燒蝕而形成的，可以通過兩束同速，同步，重復(fù)頻率一樣 的飛秒激光在基板表面進行碰撞的方法，來制作表面缺陷型的光柵。由于光刻技術(shù)的發(fā)展，光柵的種類也逐漸豐富起來。這使人們可以精確地控制生產(chǎn)物的尺寸和形狀，并具有靈活性。利用多光束干涉光刻來制作三維微觀結(jié)構(gòu)，無需大量的蝕刻步驟。 在光刻技術(shù)方面，多光束干涉光刻則是一項具有發(fā)展前途的技術(shù)，它可以用來創(chuàng)建周期微結(jié)構(gòu)聚合物。這種多用途的系統(tǒng)也可以用于鎖定移動條 紋的相位。位于麻省理工學(xué)院的空間實驗中心，設(shè)計了一種數(shù)字外差干涉條紋控制系統(tǒng)。相對于雙光束干涉，多光束干涉的干涉條紋十分細(xì)銳，使其可以用于精密儀器的加工，測量等方面。 國內(nèi)外有關(guān)多光束干涉研究的現(xiàn)狀 多光束干涉即多于兩個光束的干涉，光的干涉表征了光的波動性，若干個光束相遇時產(chǎn)生的光強分布不等于由各個 成員波單獨造成的光強分布之和，而出現(xiàn)明暗相間的現(xiàn)象。 通過調(diào)整多光束干涉的入射角、偏振態(tài)等可獲得不同的干涉圖案，在光學(xué)、激光防偽、特定微納米尺度圖案制備方面均具有廣泛的應(yīng)用與開發(fā)前景。 Matlab。 multibeam interference。本文首先分別進行了雙光束干涉、三光束干涉和四光束干涉的模擬，并給出了相應(yīng)的干涉圖樣，對結(jié)果進行比較。 以上承諾的法律結(jié)果將完全由本人承擔(dān)！ 作 者 簽 名： 年 月 日長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 I 摘 要 多光束干涉即多于兩束光的干涉，相對于雙光束干涉，多光束干涉的干涉條紋十分細(xì)銳，且可獲得特定圖案，并可以用于精密儀器的加工，測量等方面。 3．在畢業(yè)設(shè)計（論文）中對侵犯任何方面知識產(chǎn)權(quán)的行為，由本人承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。 編號 本科生畢業(yè) 設(shè)計 微小入射角偏差對多光束干涉圖案的影響 Slight Deviation Angle of Incidence on The Impact of Multibeam Interference Pattern 學(xué) 生 姓 名 劉 通 專 業(yè) 電子信息工程 學(xué) 號 090411231 指 導(dǎo) 教 師 翁占坤 學(xué) 院 電子信息工程 二〇一三年六月長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 畢業(yè)設(shè)計（論文）原創(chuàng)承諾書 1．本人承諾：所呈交的畢業(yè)設(shè)計（ 論文）《微小入射角偏差對多光束干涉圖案的影響》，是認(rèn)真學(xué)習(xí)理解 學(xué)校的《長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計（論文）工作條例 》后，在教師的指導(dǎo)下，保質(zhì)保量獨立地完成了任務(wù)書中規(guī)定的內(nèi)容，不弄虛作假，不抄襲別人的工作內(nèi)容。 2．本人在畢業(yè)設(shè)計（論文）中引用他人的觀點和研究成果，均在文中加以注釋或以參考文獻(xiàn)形式列出，對本文的研究工作做出重要貢獻(xiàn)的個人和集體均已在文中注明。 4．本人完全了解學(xué)校關(guān)于保存、使用畢業(yè)設(shè)計（論文）的規(guī)定，即：按照學(xué)校要 求提交論文和相關(guān)材料的印刷本和電子版本；同意學(xué)校保留畢業(yè)設(shè)計（論文）的復(fù)印件和電子版本，允許被查閱和借閱；學(xué)?？梢圆捎糜坝　⒖s印或其他復(fù)制手段保存畢業(yè)設(shè)計（論文），可以公布其中的全部或部分內(nèi)容。本文利用 Matlab 軟件，通過計算機模擬實驗對多光束干涉現(xiàn)象進行研究，并分析微小入射角偏差對多光束干涉的影響。本文針對入射角微小偏差對干涉圖案的影響進行了分析，發(fā)現(xiàn)了三光束干涉時圖案從圓環(huán)狀與點狀轉(zhuǎn)變的臨界點；四光束的干涉圖案隨著入射角的增大，點陣的密集程度，最后進行了誤差分析 關(guān)鍵詞： 雙光束干涉 多 光束干涉 軟件模擬 Matlab 微小入射角 長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 II Abstract Multbeam interference means the interference of two member beam. Multiple beam interference fringes are very thin and sharp relative to two beam interference and can get particular pattern. For this reason it can be used for the processing and measurement of precision instruments. In this thesis the multibeam interference thesis was stimulated by using the Matlab software. and that the effect of the small angle of incidence deviation was analyzied for the pattern formed by multibeam interference. At first it conducts a simulation of two beam interference, and that three and four beam interference were researched on the base of previous experiment. In addition, it gets the corresponding interference patterns and make a parison of the result. Through the analysis of the influence of small angle of incidence deviation to interference patterns, I find the critical point of transition of patterns of three beam interference when circle transforms to point and fourbeam interference pattern amplifies with the increase of the angle of incidence. It also finds out the intensity of lattice. At last, an analysis of the error was carried out in the thesis.. Key words: two beam interference。 simulation。 small angle of incidence deviation 長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 III 目 錄 摘 要 ........................................................... I Abstract........................................................... II 第 1 章 前言 ......................................................... 1 目的 .................................................... 1 意義 .................................................... 1 國內(nèi)外有關(guān)多光束干涉研究的現(xiàn)狀 .......................... 1 干涉原理 ................................................ 3 雙光束干涉原理 .................................... 3 多光束干涉原理 .................................... 3 Matlab 簡介及特點 ....................................... 4 第 2 章 雙光束干涉仿真實驗 ........................................... 6 等傾干涉的仿真 .......................................... 6 仿真過程及結(jié)果 .................................... 7 雙光束干涉仿真及結(jié)果 .................................... 9 第 3 章 多光束干涉仿真 .............................................. 13 三光束干涉仿真 ......................................... 13 四光 束干涉仿真 ......................................... 18 第 4 章 實驗結(jié)果分析及誤差分析 ...................................... 21 實驗結(jié)果分析 ........................................... 21 偏振方向的影響 ................................... 21 相位差的影響 ..................................... 21 入射角的影響 ..................................... 21 誤差分析 ............................................... 22 第 5 章 總 結(jié) ...................................................... 25 參考文獻(xiàn) ........................................................... 27 致 謝 ............................................................. 28 長春理工大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計 1 第 1 章 前言 在多光束干涉實驗中入射光的微小變化將會對干涉圖樣產(chǎn)生重大影響， 通過對改變?nèi)肷浣茄芯科鋵馐缮鎴D案的影響，從而了解入射角偏差的影響機制，為可控制備多光束干涉圖案提供理論參考。然而，在實驗中入射角的