正文內(nèi)容

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料-展示頁

2025-05-27 01:45本頁面

　　

【正文】低溫加熱使氣體反應(yīng)，進(jìn)行成膜。 Ingector Belt Heater Metal Group Thin Film Section Manufacturing Engineering Dept. Page 7 APT5850設(shè)備介紹 ? APT5850設(shè)備是在大氣壓狀態(tài)下，由 5個 Deposition Header導(dǎo)入 TEOS， TMB， TMPO， O3和 N2等材料，加熱器進(jìn)行加熱 400度，在每個 D/H下成長 1/5膜厚。Metal Group Thin Film Section Manufacturing Engineering Dept. Page 1 CVD 設(shè)備基礎(chǔ)知識教育 2021/7/21 王俊海 Metal Group Thin Film Section Manufacturing Engineering Dept. Page 2 Agenda ? CVD 的基本概念 ? CVD 的設(shè)備種類 ? APCVD 的主要特征及設(shè)備 ? PECVD 的主要特征及設(shè)備 ? LPCVD 的主要特征及設(shè)備 ? MCVD 的主要特征及設(shè)備 ? CVD 設(shè)備的構(gòu)成總結(jié) ? 問題 Metal Group Thin Film Section Manufacturing Engineering Dept. Page 3 CVD 的基本概念 ? CVD (Chemical Vapor Deposition)即化學(xué)氣象淀積的英文縮寫，是將反應(yīng)材料導(dǎo)入到反應(yīng)室內(nèi)，利用加熱器，等離子，光等能量使氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面形成一層穩(wěn)定的固態(tài)膜的工藝。 Gas input Exhaust Thin Film Wafer Energy Source Gas (heater,plasma,ultraviolet light etc. ) Shower

點擊復(fù)制文檔內(nèi)容

畢業(yè)設(shè)計相關(guān)推薦

納米材料導(dǎo)論cvd法-展示頁

【摘要】CVD法制備高質(zhì)量ZnO納米線及生長機(jī)理作者唐斌,鄧宏,稅正偉,陳金菊,韋敏英文篇名PreparationandGrowthMechanismofWell-alignedZnONanowiresbyChemicalVaporDeposition單位電子科技大學(xué)微電子與固體電

2024-12-17 11:40

cvd法制備石墨烯ppt課件-展示頁

【摘要】石墨烯的CVD法制備???CVD（chemicalvapordeposition）：利用甲烷等含碳化合物作為碳源，高溫分解，在基體表面生長成石墨烯。滲碳析碳機(jī)制生長機(jī)理

2025-05-07 22:17

cvd的原理與工藝ppt課件-展示頁

【摘要】第七章化學(xué)氣相淀積桂林電子科技大學(xué)職業(yè)技術(shù)學(xué)院膜淀積集成電路制造過程中，常需要在襯底上生長固體材料層；若固體膜三維尺寸中，某一維尺寸（通常指厚度）遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸，稱為薄膜，通常描述薄膜厚度的單位是埃。薄膜淀積：任何在硅片襯底上物理沉淀聚積一層薄膜的工藝。薄膜特性硅片加工中可接受的膜必

2025-05-14 12:06

菱plc基礎(chǔ)教育資料-展示頁

【摘要】三菱PLC編程基礎(chǔ)及實訓(xùn)教程PM課內(nèi)部培訓(xùn)資料

2025-05-11 13:33

cvd熱力學(xué)ppt課件(2)-展示頁

【摘要】化學(xué)氣相淀積與薄膜工藝ChemicalVaporDeposition&ThinFilmTechnology孟廣耀Tel:3603234Fax:3607627中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)材料科學(xué)與工程系固體化學(xué)與無機(jī)膜研究所2.CVD淀積過程的熱力學(xué)化學(xué)氣相淀積過程的熱力學(xué):回答該CVD系統(tǒng)為什么能

2025-05-14 12:06

機(jī)械設(shè)備安全教育資料-展示頁

【摘要】機(jī)械設(shè)備安全1）.什么叫安全？安全生產(chǎn)名詞概念沒有安全,您還有什么?!安—上面是一個家，下面是一個女人全上面是一個人，下面是一個王安全從字體含義是：-2.a)安全泛指沒有危險，不出事故的狀態(tài)。無危則安，無缺則全。安全是一個相對的概念，任何事物中都包含不安全因素。沒有絕對的安全，只是危險性

2025-01-26 03:59

cvd化學(xué)氣相淀積ppt課件-展示頁

【摘要】2022/6/21化學(xué)氣相淀積定義：指使一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并淀積出所需固體薄膜的生長技術(shù)。其英文原名為“ChemicalVapourDeposition”，簡稱為“CVD”。本章主要內(nèi)容：CVD薄膜的動力學(xué)模型、常用系統(tǒng)及制備常用薄膜的工藝。第六章化學(xué)氣相淀積2022/

2025-05-14 12:06

設(shè)備基礎(chǔ)條件-展示頁

【摘要】annie設(shè)備基礎(chǔ)條件annie設(shè)備基礎(chǔ)條件圖（預(yù)埋螺栓）（配管）（設(shè)備）annie非定型設(shè)備基礎(chǔ)條件表annie設(shè)備數(shù)據(jù)表設(shè)備裝配圖annieannie設(shè)備立面安裝簡圖可以直接從P&ID

2024-08-20 16:56

設(shè)備基礎(chǔ)知識塔設(shè)備-展示頁

【摘要】設(shè)備基礎(chǔ)知識換熱器塔設(shè)備傳熱原理間壁式混合式蓄熱式列管式板式翅片式換熱器的類型套管式固定管板式浮頭式U型管式一、套管式換熱器套管式換熱器是由大小不同的直管制成的同心套管，并由U型彎頭連接而成。每一段套管稱為一程。

2025-03-02 13:58

技術(shù)基礎(chǔ)資料、設(shè)備管理-展示頁

【摘要】電力基礎(chǔ)資料、設(shè)備臺帳管理制度（試行）為加強(qiáng)各車間電力技術(shù)基礎(chǔ)資料的建設(shè)和管理，提高設(shè)備管理水平，完善設(shè)備臺帳管理工作，使電力設(shè)備技術(shù)基礎(chǔ)資料、臺帳管理實現(xiàn)制度化、規(guī)范化、科學(xué)化管理，特制定本辦法。第1條技術(shù)基礎(chǔ)資料和設(shè)備臺帳是展示我段電力運(yùn)營管理水平的基本依據(jù)，是總結(jié)經(jīng)驗、提高管理水平的有效手段，是實現(xiàn)設(shè)備基礎(chǔ)資料規(guī)范管理的重要體現(xiàn)。各供電車間及供電班組，必須高度重視電力設(shè)備基礎(chǔ)

2025-04-17 23:22

設(shè)備基礎(chǔ)計算書317資料-展示頁

【摘要】設(shè)備基礎(chǔ)計算書1.計算依據(jù)《動力機(jī)器基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》(GB50040-96)《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》(GB50007-2002)《混凝土結(jié)構(gòu)設(shè)計規(guī)范》(GB50010-2010)《重載地面、軌道及特殊樓地面》(06J305)《動力機(jī)器基礎(chǔ)設(shè)計手冊》(中國建筑工業(yè)出版社)2.工程概況設(shè)備靜載按G1=10t/m2=100KN/m2;地基承載力特征值fa=

2025-06-29 01:51

技術(shù)交底資料2基礎(chǔ)工程-設(shè)備基礎(chǔ)-展示頁

【摘要】[Amberdemo]?工程名稱?交底部位?工程編號?日期?交底內(nèi)容：設(shè)備基礎(chǔ)1范圍本工藝標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)與民用建筑中的一般中、小型混凝土設(shè)備基礎(chǔ)。2施工準(zhǔn)備材料及主要機(jī)具：水泥：宜325～425號礦渣硅酸

2025-07-03 20:55

設(shè)備基礎(chǔ)管理ppt課件-展示頁

【摘要】設(shè)備基礎(chǔ)管理（IS09000驗證的設(shè)備管理內(nèi)容）（一）設(shè)備基礎(chǔ)管理工作內(nèi)容(5個)?憑證管理?數(shù)據(jù)管理?定額管理?檔案資料管理?規(guī)章制度管理（二）設(shè)備憑證管理?1、含義：在設(shè)備的技術(shù)管理和經(jīng)濟(jì)管理中，用于記錄設(shè)備管理和技術(shù)活動，以及經(jīng)濟(jì)核算，并明確管理各方責(zé)任的書面證明，就是設(shè)備管理憑證。?2

2025-01-19 03:39

freepeople性欧美熟妇, 色戒完整版无删减158分钟hd, 无码精品国产vα在线观看DVD, 丰满少妇伦精品无码专区在线观看,艾栗栗与纹身男宾馆3p50分钟,国产AV片在线观看,黑人与美女高潮,18岁女RAPPERDISSSUBS,国产手机在机看影片

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料-展示頁

納米材料導(dǎo)論cvd法-展示頁

cvd法制備石墨烯ppt課件-展示頁

cvd的原理與工藝ppt課件-展示頁

菱plc基礎(chǔ)教育資料-展示頁

cvd熱力學(xué)ppt課件(2)-展示頁

機(jī)械設(shè)備安全教育資料-展示頁

cvd化學(xué)氣相淀積ppt課件-展示頁

設(shè)備基礎(chǔ)條件-展示頁

設(shè)備基礎(chǔ)知識塔設(shè)備-展示頁

技術(shù)基礎(chǔ)資料、設(shè)備管理-展示頁

設(shè)備基礎(chǔ)計算書317資料-展示頁

技術(shù)交底資料2基礎(chǔ)工程-設(shè)備基礎(chǔ)-展示頁

設(shè)備基礎(chǔ)管理ppt課件-展示頁

設(shè)備控制基礎(chǔ)ppt課件-展示頁

冶金設(shè)備基礎(chǔ)ppt課件-展示頁

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料-預(yù)覽頁

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料-免費(fèi)閱讀

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料(存儲版)

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料-文庫吧在線文庫

cvd設(shè)備基礎(chǔ)級教育資料(完整版)