精密加工中的測量技術(shù)(1)-展示頁
2025-05-22 14:54本頁面
【正文】 了使用上的需要常將各級精度的量塊進(jìn)行檢定 ， 得到量塊的實(shí)際長度 ， 將檢定量塊長度實(shí)際值的測量極限誤差作為誤差處理 。 按 JJG2056－ 1990《 長度計(jì)量器具 （ 量塊部分 ） 檢定系統(tǒng) 》 的規(guī)定 ， 量塊分為 00、 0、 K、 3六級 。 ? 新定義的內(nèi)容：米是光在真空中在 1/299792458 s的時間間隔內(nèi)所進(jìn)行的路程長度 。 ? 1960年 10月 14日在巴黎通過用氦 Kr86在真空中的波長作為長度基準(zhǔn)： 1m＝ Kr86的波長 。 一、精密測量的意義 2 ? 恒溫條件 ? 隔振條件 ? 氣壓、自重、運(yùn)動加速度和其他環(huán)境條件 ? 根據(jù)材料熱膨脹系數(shù)選擇 ? 根據(jù)材料的穩(wěn)定性和耐磨性選擇 ? 極高精度測量方法和測量儀器的發(fā)展： 、 ’’ ? 精密在線自動測量技術(shù)的發(fā)展 ? 測量數(shù)據(jù)的自動采集處理技術(shù)的發(fā)展 二、精密測量的新發(fā)展 三、精密測量的環(huán)境條件 四、量具和量儀材料的選擇 3 ? 米制是 18世紀(jì)法國最早提出的 ， “ 以經(jīng)過巴黎的地球子午線自北極至赤道這一段弧長的一千萬分之一為一米 ” 。 例如制造超大規(guī)模集成電路 ， 目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為 ， 正向 渡 ， 2021年的預(yù)測線寬是 。 目前在基礎(chǔ)工業(yè)的某些領(lǐng)域 ， 精密測量已成為不可分割的重要組成部分 。 由于有了千分尺類量具 ， 使加工精度達(dá)到了 ， 有了測微比較儀 ， 使加工精度達(dá)到了 1181。精密和超精密加工技術(shù) 華南理工大學(xué) 陳松茂 講師 1. 精密測量技術(shù)概述 2. 長度基準(zhǔn) 3. 測量平臺 4. 直線度、平面度和垂直度的測量 5. 角度和圓分度的測量 6. 圓度和回轉(zhuǎn)精度的測量 7. 激光測量 第五章 精密加工中的測量技術(shù) 本章主要提要 精密測量技術(shù)概述 精密測量技術(shù)是機(jī)械工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)和先決條件之一 。 測量精度一般應(yīng)比被測件的精度高一數(shù)量級 。m左右；有了圓度儀等精密測量一起 ， 使加工精度達(dá)到了 ；有了激光干涉儀 ， 使加工精度達(dá)到了 。 在電子工業(yè)部門 ， 精密測量技術(shù)也被提到從未有過的高度 。 此外 ， 在高純度單晶硅的晶格參數(shù)測量中 ， 以及對生物細(xì)胞 、 空氣污染微粒 、 石油纖維 、 納米材料等基礎(chǔ)研究中 ，無不需要精密測量技術(shù) 。 1880年國際計(jì)量局又制作了 30多根鉑銥合金的高精度米尺 —— 國際米原器 。 ? 1983年 11月第 17屆國際計(jì)量大會上 ， 批準(zhǔn)了米的最新定義 。 4 長度基準(zhǔn) 一、長度基準(zhǔn)和米定義 ? 量塊是由兩個平行的測量面之間的距離來確定其工作長度的高精度量具 ， 其長度為計(jì)量器具的長度標(biāo)準(zhǔn) 。 我國對各類量塊的檢定按 JJG1461994進(jìn)行 。 5 二、量塊的檢定 ? 矩形量塊作為長度基準(zhǔn)存在問題： 1） 兩端測量面不平行； 2） 兩端測量面和側(cè)面不垂直； 3） 測量面平面度不好 。 外圓柱面可磨到很高圓柱度 ， 水平放在 V形支架內(nèi) ， 可旋轉(zhuǎn)以校驗(yàn)端面和外圓柱面的垂直度 ， 容易達(dá)到兩端面的高度平行 。 全長步距的誤差不超過 。 ? ? 多數(shù)采用箱式結(jié)構(gòu) ， 扁平的箱中有加強(qiáng)筋支承 。 ? 花崗巖：耐磨性好 、 長期穩(wěn)定性好 、 受潮變形不生銹 ， 碰撞有小坑無毛刺 。 對高精度測量平臺用電子水平儀 、 自準(zhǔn)直光管或雙頻激光干涉儀 ， 測出平臺的水平傾角 ， 經(jīng)過數(shù)據(jù)處理 ， 可得到平臺各處不平面度誤差的具
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