精密加工中的測量技術(shù)(1)-在線瀏覽
2025-07-13 14:54本頁面
【正文】 體數(shù)值 。 1）干涉法 等厚干涉條紋 對于小尺寸精密表面的直線度誤差 。 條紋向外彎 ，表面是凸的 ， 反之 ， 則表面是凹的 。 若被測平尺長度為 200mm， 則可選用Φ 100mm的平晶 ， 將平尺分成 4段進行測量 ， 每次測量以兩端點連線為準 ， 測出中間的偏差 。 然后通過數(shù)據(jù)處理 ， 得出平尺的直線度誤差 。 測量前 ， 把此裝置放在高精度平尺或平板上 ， 將指示表的示值調(diào)整為零 ， 然后將測量裝置放置在被測面上進行測量 ， 每次移動一個 l距離 ， 讀取一個讀數(shù) 。 12 3）光軸法 測量步驟： 1）將被測線兩端點連線調(diào)整到與光軸測量基線大致平行； 2）若被測線為平面線，則 xi代表被測線長度方向的坐標值， yi為被測線相對于測量基線的偏差值。再經(jīng)數(shù)據(jù)處理求出直線度誤差值。 13 4）激光準直儀法 氦－氖激光器發(fā)出的激光的中心連線構(gòu)成激光準直測量的一條基準直線 。 測量時首先將儀器與靶子調(diào)整好 ， 然后將靶子沿被測表面測量方向移動 ， 便能得到直線度誤差的數(shù)值 。 當反射鏡 7的位置偏離光軸時 ， 則頻率為 f1的偏振光和頻率為 f2的偏振光的匯合光束的光程差不為零－測出 E值 ， 最后獲得被測表面相對激光光軸的偏差 。該法是以平晶表面為基準平面，使它與被測平面接觸，在單色平行光照射下，形成等厚干涉。當條紋數(shù)不足一條時，則根據(jù)條紋彎曲程度來評定平面度誤差。 17 1） 在第一位置圓柱 90度角尺和 L形90度角尺的頂端有光隙 δ 1， 將 L形90度角尺翻轉(zhuǎn) （ 第二位置 ） ， 如光隙 δ 1＝ δ 2， 則圓柱 90度角尺角度準確 ， 誤差全在 L形 90度角尺 。 3） 如果 δ 1≠ δ 2， 則圓柱 90度角尺和 L形 90度角尺都有誤差 。 不垂直誤差為 Δ ＝ [（ ＋ ） ]＝ μ m。 后測量誤差已很大 ， 角度在加大 ， 測量誤差將急劇加大 。在主軸錐孔中裝上帶有尾錐的小平臺 2。 測量時先轉(zhuǎn)動分度頭主軸 ， 放在小平臺上的被測件 1同時回轉(zhuǎn) ， 使被測件的一個邊對準自準直儀 ， 在分度頭上讀取度數(shù) ψ 1；繼續(xù)轉(zhuǎn)動分度頭主軸 ， 至被測件另一個邊與自準直儀對準 ， 在分度頭上讀取第二個度數(shù)ψ 2。 24 把圓周進行等分 (例如 n等分 )， 從而得到所需要的角度 ， 稱為圓分度 。 各種圓分度器件都具有圓周封閉的特點 ， 對它們進行圓分度時產(chǎn)生的不均勻性就是圓分度誤差 。 ”的分度精度 ，同時具有 自動定心 、 操作簡單 、 使用壽命長 等優(yōu)點 。齒數(shù)常用有 360、 7 1440幾種 ， 增量分別是 1176。 、 176。當上 、 下兩齒盤的齒被迫嚙合時 ， 便自動定心 。 ? 精密多齒分度盤 26 1440齒精密多齒分度盤 27 ? 精密多齒分度盤的小角度分度器 1440齒分度盤的小角度分度盤和 1440齒分度盤主軸同軸 ， 并和下齒盤連成一體 ， 小角度分度盤可使 1440齒分度盤的下齒盤旋轉(zhuǎn) ， 最大旋轉(zhuǎn)量為 1/4度 。 28 ? 多齒分度盤的標定 1） 使用精度更高的測角儀器對多齒分度盤進行標定 。 29 )s in()( 10 ii i iCr ???? ??? ???)s i n()(2inii iCr ??? ??? ??30 圓度和回轉(zhuǎn)精度的測量 圓形零件橫截面的實際
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