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2025-01-04 23:58本頁面
【正文】 023 Work in the last week The main performance figures …. 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last month 2. 學習 …. 仿 真 1. 查閱 文 獻 4. 進實驗 室 …. 3. … 工 藝 制作流程 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last month 實驗 相 關(guān) 曝光 顯 影 電鍍 甩膠 烘 膠 正膠 AZ P4903 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last month 用 … …. 大概 15um 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 電鍍 … … 項 目申 請 … 申 請 的準 備 3 …. 會議 投稿 1 2 4 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 稀釋 HF溶液 HF ， 腐蝕速率： 室溫 100nm/s， 32度時 200nm/s HF HNO3 32度時 300nm/s Ti濕 法腐 蝕 50:1:1 H2O:HF:HNO3 20:1:1 H2O:HF:H2O2 1:1:20 HF:H2O2:HNO3 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks I2 KI 腐蝕速率： 室溫 815nm/s Au濕 法腐 蝕 1:2:1 0 I2:KI:H2O 25g： 7g： 100ml Br2:KI:H2O 1:2:3 HF:HAc:HNO3 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 國家基金對項目的要求越來越高 基礎(chǔ)性 前瞻性 戰(zhàn)略性 強 調(diào) 原 創(chuàng) 性 提高 交叉項目的 強度和比例 強 調(diào)學 科交叉 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 研究實力 寫作技巧 創(chuàng)新思想 一新遮百丑 基金有多種 手段保護 創(chuàng)新思想 以往的 研究積累 和研究水平 準確、清晰、 具體、可行 的研究計劃 申請基金的三要素 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 申請書的核心問題 創(chuàng) 新性 重要性 實 用性 連續(xù) 性 可行性 科學選題 做什 么 （ What） 問題 的提出 為 什 么 （ Why） 意 義 分析 怎么 做（ How） 技 術(shù) 路 線 立項依據(jù) 工作 積 累 實驗條 件 人才梯 隊 支持條件 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 立項依據(jù) 闡述項目對社會或經(jīng)濟的意義 1 本 項目 國內(nèi)外進展情況 2 提出本項目解決的 目標 3 強調(diào)項目的 必要性 和重要性 4 微電子學研究院 微米納米加工技術(shù)國家級重點實驗室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2023 Work in the last two weeks 研究目標 1 研究內(nèi)容 2
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