俄歇電子aes能譜xxxx-文庫吧資料
2025-01-04 07:56本頁面
【正文】 以把某個元素在某一區(qū)域內(nèi)的分布以圖像的方式表示出來。 線掃描分析AgAu合金超薄膜在單晶硅 o對于膜層較厚的多層膜，也可以通過對截面的線掃描獲得各層間的擴散情況。俄歇電子能譜的線掃描分析常應用于表面擴散研究，界面分析研究等方面。點分析圖 19 Si3N4薄膜表面損傷點的俄歇深度分析 圖 18 Si3N4薄膜表面正常點的俄歇深度分析 線掃描分析 這結果說明在損傷區(qū)發(fā)生了 Si3N4薄膜的分解。 微區(qū)分析 (點分析 )在正常樣品區(qū)，表面主要有 Si, N,C和 O元素存在。掃描 Auger顯微探針 (SAM)? Measure Auger signal at many points on the surface.? Creates 3D elemental map of surface.? Requires a highly focused electron beam.? Spatial resolution is about μm? Generally use a concentric hemispherical analyzer (CHA) instead of CMA.? When used with an Ar+ sputter beam, position depth profiling may be done. 微區(qū)分析o可以分為選點分析，線掃描分析和面掃描分析三個方面。 (3)束斑漂移對束徑也有限制。因為： (1)束徑越細，使得信噪比下降。216。 掃描 Auger顯微探針 (SAM) 216。它是將很細的初級電子束在樣品表面掃描，同時選取某一元素Auger電子峰的能量，使該元素的 Auger電子成像。o基體效應對分析結果的影響。AES定量分析的主要困難o試樣的復雜性，即試樣的非均勻性、表面成分的未知性、試樣表面的粗糙度的影響，多晶樣品表面取向不同的影響。．半定量分析o基本上是 半定量 的水平 (常規(guī)情況下，相對精度僅為 30%左右 ) o常用的定量分析方法是 相對靈敏度因子法 。o注意 ：由于電子軌道之間可實現(xiàn)不同的俄歇躍遷過程，所以每種元素都有豐富的俄歇譜，由此導致不同元素俄歇峰的干擾。俄歇電子能譜 定性 分析總結o任務 ：根據(jù)實測的直接譜 (俄歇峰 )或 微分譜上的負峰的位置識別元素。o注意 ：化學環(huán)境對俄歇譜的影響造成定性分析的困難 (但又為研究樣品表面狀況提供了有益的信息 )，應注意識別。o4）未標識峰可能是能量損失峰。o2）標注所有此元素的峰。 由于微分譜具有比較好的信背比，利于元素的識別，因此， 在定性分析中，一般用微分譜 。 方法是將采集到的 Auger電子譜與標準譜圖進行對比 ，來識別分析區(qū)域內(nèi)的未知元素。 定性分析是進行 AES分析的首要內(nèi)容 ，是根據(jù)測得的 Auger電子譜峰的位置和形狀識別分析區(qū)域內(nèi)所存在的元素 。俄歇圖譜采用微分后曲線的負峰能量作為俄歇動能進行標定微分譜Fe經(jīng)輕微氧化的 d[EN(E)]/dE譜和 dN(E)/dE譜 5. AES分析方法 從而使 Auger電子能譜成為今天的重要表面分析技術之一。v在實際的工作中，應針對具體的問題，結合微分譜和直接譜而進行分析。 直接譜v 直接譜根據(jù)能量分辨率的不同設置方式，也有兩種形式，即 EN(E)~E和 N(E)~E。利用俄歇圖像和電子顯微圖像相比較，亦可得到元素分布與表面形貌的相關性。o 定量分析：以峰 峰值（正負峰高度差）代表俄歇峰強度，用于定量分析。能量的確定在積分譜中是指扣除背底后譜峰的最大值，在微分譜中通常規(guī)定負峰對應的能量值。微分譜的特點是靈敏，背底扣除問題自動得到解決，峰明銳且易辨識，特別是如圖中的碳和鈣峰。為此通常采用電子能量分布的一次微分譜，即 N’(E)=dN(E)/dE來顯示俄歇電子峰。一般情況下，俄歇電子能譜是迭加在緩慢變化的，非彈性散射電子形成的背底上。 因此， Auger電子的信號強度在整個電子信號中所占的比例是相當小的，即 AES中有強大的背底。v用于分析的 Auger電子的能量一般在0~2023eV，它所對應的平均自由程為 ~34. Auger電子能譜的測量 o 檢測極限 （靈敏度）。o 譜儀的 空間分辨率 與電子束的最小束斑直徑有關。 還可在樣品室上 安裝加熱、冷卻等功能 ，研究樣品在特殊環(huán)境下的狀態(tài)。 一般可完成清洗、斷裂、鍍膜、退火等一系列預處理工作。216。 離子槍和預處理室v離子槍是進行樣品表面剖離的裝置，主要用于樣品的清洗和樣品表層成分的深度剖層分析 。Auger電子譜儀都帶有 超高真空系統(tǒng) 。 電子能量分析器CMA的
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