【正文】 起的局面。之后，又研制成ＣＭＯＳ電路。１９６８年研究出ＰＭＯＳ電路，這是上海無線電十四廠首家搞成的。但這都是小規(guī)模集成電路。）隨后，中國科學(xué)院１０９廠研制了ＥＣＬ型(發(fā)射極藕合邏輯)電路，提供給中國科學(xué)院計算所，在１９７６年１１月研制成功１０００萬次大型電子計算機。最后質(zhì)量改進后的電路才使北大在１９７５年研制成中國第一臺真正達到１００萬次運算速度的大型電子計算機－１５０機。一時間采用群眾運動的方式“全民”大搞半導(dǎo)體．為了打破尖端迷信，報上宣傳說城市里了道老太太在弄堂里拉一臺擴散爐，也能做出半導(dǎo)體．批判８７８廠建廠時鋪了水磨石地板為“大，洋，全”。七十年代上半期，一個工廠的ＩＣ年產(chǎn)量，只有幾十萬塊，到七十年代末期，上無十九廠年產(chǎn)量才實破５００萬塊，位居全國第一。當時一塊Ｊ－Ｋ觸發(fā)器要想馬上拿到手，得要部長的親筆批條。在國外實行對華封鎖的年代里，集成電路屬于高新技術(shù)產(chǎn)品，是禁止向中國出口的。到１９７０年兩廠均已建成投產(chǎn)。為了加速發(fā)展半導(dǎo)體集成電路，四機部（后來改名為電子工業(yè)部）決定籌建第一個專門從事半導(dǎo)體集成電路的專業(yè)化工廠，由北京電子管廠抽一部分技術(shù)力量，在１９６８年建立了國營東光電工廠（代號：８７８廠），當時正處于動亂的十年“文革”初期，國家領(lǐng)導(dǎo)號召建設(shè)大三線，四機部新建工廠，采用“８”字頭的都是在內(nèi)地大三線，唯獨８７８廠，為了加快建成專業(yè)化集成電路生產(chǎn)廠，破例地建在首都北京。主要用途是用于電子計算機。北方為北京電子管廠，也采用介質(zhì)隔離研制成ＤＴＬ數(shù)字電路，南方為上海元件五廠，在華東計算機所的合作下，研制出采用Ｐ－Ｎ結(jié)隔離的ＴＴＬ型（晶體管晶體管邏輯）數(shù)字電路，并在１９６６年底，在工廠范圍內(nèi)首家召開了產(chǎn)品鑒定會鑒定了TTL電路。這是十室提交鑒定的，當時采用的還不是國外普遍使用的PN結(jié)隔離，而是僅在國外文獻中有所報導(dǎo)的Ｓｉｏ２介質(zhì)隔離，通過反外延方法制備基片。中國第一塊半導(dǎo)體集成電路究竟是由哪一個單位首先研制成功的？這一問題有過爭議。國際上是在１９５８年由美國的得克薩斯儀器公司（ＴＩ）和仙蘭公司各自分別發(fā)明了半導(dǎo)體集成電路。這一發(fā)展分立器件的階段歷時十年，與國外差距為十年?！　】傊蚩茖W(xué)進軍的號如下，中國的知識分子、技術(shù)人員在外界封鎖的環(huán)境下，在海外回國的一批半導(dǎo)體學(xué)者帶領(lǐng)下，憑藉知識和實驗室發(fā)展到實驗性工廠和生產(chǎn)性工廠，開始建立起自己的半導(dǎo)體行業(yè)。隨后在北京有線電廠等工廠批量生產(chǎn)了ＤＪＳ－１２１型鍺晶體管計算機，速度達到1萬次以上。中國科學(xué)院在半導(dǎo)體所之外建立了一所實驗工廠，取名１０９廠。（其他三大件為縫紉機、自行車和手表）另一方面，新品開發(fā)主要研究方向是硅高頻大功率管，目的是要把部隊所用的采用電子管的“八一”電臺換裝為采用晶體管的“小八一”電臺，它曾是河北半導(dǎo)體所和北京電子管廠當年的主攻任務(wù)。一般老百姓把晶體管收音機俗稱為“半導(dǎo)體”。后來單晶直徑拉大些后，就開始采用不規(guī)則的圓片，但直徑一般在３５－４０ｍｍ之間?！　‘敃r接制的單晶棒的直徑很小，也不規(guī)則。１９６２年研究成外延工藝，并開始研究采用照相制版、光刻工藝，河北半導(dǎo)體研究所在１９６３年搞出了硅平面型晶體管，１９６４年搞出了硅外延平面型晶體管。１９６２年又接制了砷化鎵（ＧａＡｓ）單晶，后來也研究開發(fā)了其他種化合物半導(dǎo)體?！　≡阪N之后，很快也研究出其他半導(dǎo)體材料。此時，國內(nèi)搞半導(dǎo)體器件的已有十幾個廠點。為了加強半導(dǎo)體的研究，中國科學(xué)院于１９６０年在北京建立了半導(dǎo)體研究所，同年在河北省石家莊建立了工業(yè)性專業(yè)研究所第十三研究所，即現(xiàn)在的河北半導(dǎo)體研究所。前者由王守武任半導(dǎo)體實驗室主任，后者由武爾楨負責。１９５７年北京電子管廠通過還原氧化鍺，拉出了鍺單晶?！　≈袊雽?dǎo)體材料從鍺（Ｇｅ）開始。１９５７年就有一批畢業(yè)生，其中有現(xiàn)在成為中國科學(xué)院院士的王陽元（北京大學(xué)）、工程院院士的許居衍（華晶集團公司）和電子工業(yè)部總工程師俞忠鈺等人。　　當時國家決定由五所大學(xué)北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、吉林大學(xué)、廈門大學(xué)和南京大學(xué)聯(lián)合在北京大學(xué)半導(dǎo)體物理專來，共同培養(yǎng)第一批半導(dǎo)體人才。請回國的半導(dǎo)體專家內(nèi)昆、吳錫九、黃敞、林蘭英、王守武、成眾志等講授半導(dǎo)體理論、晶體管制技術(shù)和半導(dǎo)體線路。從半導(dǎo)體材料開始，自力更生研究半導(dǎo)體器件?！　≈袊雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷史　　◎分立器件發(fā)展階段（１９５６１９６５）　　１９５６年中國提出“向科學(xué)進軍”，國家制訂了發(fā)展各門尖端科學(xué)的“十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠景規(guī)劃”，明確了目標?！　?999年2月23日，上海華虹NEC電子有限公司建成試投片，主導(dǎo)產(chǎn)品64M同步動態(tài)存儲器（S－DRAM）。　　1998年10月，華越集成電路引進的日本富士通設(shè)備和技術(shù)的生產(chǎn)線開始驗收試制投片，該生產(chǎn)線以雙極工藝為主、兼顧BiCMOS工藝、2微米技術(shù)水平、年投5英寸硅片15萬片、年產(chǎn)各類集成電路芯片1億只能力的前道工序生產(chǎn)線及動力配套系統(tǒng)?！　?998年6月，上海華虹NEC九0九二期工程啟動?！　?998年4月，集成電路“九0八”工程九個產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)中心項目驗收授牌，這九個設(shè)計中心為信息產(chǎn)業(yè)部電子第十五研究所、信息產(chǎn)業(yè)部電子第五下四研究所、上海集成電路設(shè)計公司、深圳先科設(shè)計中心、杭州東方設(shè)計中心、廣東專用電路設(shè)計中心、兵器第二一四研究所、北京機械工業(yè)自動化研究所和航天工業(yè)771研究所?！　?998年2月28日，我國第一條8英寸硅單晶拋光片生產(chǎn)線建成投產(chǎn)，這個項目是在北京有色金屬研究總院半導(dǎo)體材料國家工程研究中心進行的。　　1998年1月，中國華大集成電路設(shè)計中心向國內(nèi)外用戶推出了熊貓2000系統(tǒng)，這是我國自主開發(fā)的一套EDA系統(tǒng)，可以滿足亞微米和深亞微米工藝需要，可處理規(guī)模達百萬門級，支持高層次設(shè)計?！　?998年1月，華晶與上華合作生產(chǎn)MOS圓片合約簽定，有效期四年，華晶芯片生產(chǎn)線開始承接上華公司來料加工業(yè)務(wù)。11月，電子部向國務(wù)院做了專題匯報，確定實施九0九工程。　　1995年，電子部提出“九五”集成電路發(fā)展戰(zhàn)略：以市場為導(dǎo)向，以CAD為突破口，產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合，以我為主，開展國際合作，強化投資，加強重點工程和技術(shù)創(chuàng)新能力的建設(shè)，促進集成電路產(chǎn)業(yè)進入良性循環(huán)?！　?990年10月，國家計委和機電部在北京聯(lián)合召開了有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和專家參加的座談會，并向黨中央進行了匯報，決定實施九O八工程?！　?989年2月，機電部在無錫召開“八五”集成電路發(fā)展戰(zhàn)略研討會，