制絨原理及相應(yīng)問題的對策-文庫吧資料
2025-05-05 05:05本頁面
【正文】 如潤滑劑過稀則冷卻效果不好。添加劑有很多極性或非極性的功能團(tuán)來降低腐蝕液表面的張力。 各向異性的原因 圖 3 懸掛健對反應(yīng)的影響 {111} {100} Si+2NaOH+H2O==Na2SiO3+2H2 腐蝕速度的差別造成金字塔的形狀 較快的腐蝕速度 較慢的腐蝕速度 影響因素分析 1. NaOH濃度 2. 無水乙醇或異丙醇濃度 3. 制絨槽內(nèi)硅酸鈉的累計量 4. 制絨腐蝕的溫度 5. 制絨腐蝕時間的長短 6. 槽體密封程度、乙醇或異丙醇的揮發(fā)程度 硅的刻蝕速率與 表面原子密度、晶格方向、摻雜濃度、腐蝕液成分、濃度、溫度、攪拌 等參數(shù)有關(guān) 各個因素作用 擴(kuò)散控制過程 反應(yīng)控制過程 NaOH溶液濃度 反應(yīng)溫度 制絨的根本 IPA濃度 NaSiO3濃度 提高溶液濃稠度，控制反應(yīng)速度 硅片表面原始狀態(tài) 氫氣泡密度及大小以及在硅片表面停留的時間 決定金字塔形貌 攪拌 提高反應(yīng)物疏運(yùn)速度，提高氫氣泡脫附作用 圖 4 氫氣泡作用 圖 5 不同 IPA濃度下溫度和 NaOH溶液濃度對反應(yīng)速度的影響 對反應(yīng)速度的影響 圖 6 一定溫度下 NaOH溶液濃度和 IPA含量對反應(yīng)速率的影響 ? 溫度越高腐蝕速度越快 ? 腐蝕液濃度越高腐蝕速度越快 ? IPA濃度越高腐蝕速率越慢 ? Na2SiO3濃度越高腐蝕速率越慢 對反射率的影響 絨面的平均反射率隨 NaOH濃度的變化 圖 7 NaOH濃度對反射率的影響 圖 8 一定條件下 NaOH濃度和 IPA含量對反射率的影響 KOH only KOH ＋ IPA KOH ＋ Si solved KOH ＋ IPA＋ Si solved 對形貌的影響 反應(yīng) 15分鐘時反射率 反應(yīng) 45分鐘時 ? 反射率和金字塔尺寸和均勻性沒有密切關(guān)系，取決于金字塔有沒有布滿 關(guān)鍵因素的分析 —— NaOH的影響 % % % 關(guān)鍵因素的分析 —— 溫度的影響 80℃ 85℃ 90℃ 關(guān)鍵因素的分析 —— IPA濃度的影響 0％ 5％ 10％ 制絨方法歸納 有機(jī)溶劑腐蝕： TMAH等
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