zygo干涉儀使用說(shuō)明-文庫(kù)吧資料
2025-04-13 07:25本頁(yè)面
【正文】 主測(cè)試操作桌面。，系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話(huà)框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。，通過(guò)觀(guān)察監(jiān)視器調(diào)整晶體，使晶體垂直于測(cè)試光（監(jiān)視器中晶體邊緣清晰可見(jiàn)）。扭動(dòng)參考反射鏡上方的調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)整鏡面方向，使得反射鏡反射回的作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼6/8最亮光斑與十字分劃線(xiàn)交點(diǎn)重合。測(cè)試完畢后關(guān)閉測(cè)試操作界面，點(diǎn)擊左上角X符號(hào)，退回到ZYGO主測(cè)試操作桌面。，系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)算。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話(huà)框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。完成后，按監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵，使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼5/8 平面度測(cè)試 調(diào)整監(jiān)視器遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。當(dāng)監(jiān)視器中左下角出現(xiàn)Wedge sec（）時(shí)， 即為晶體的平行度。再點(diǎn)擊Ref，選擇Fill，添加最后標(biāo)定的參考區(qū)域，點(diǎn)擊Pick，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊待測(cè)晶體區(qū)域邊框，選擇Unfill，去除晶體待測(cè)區(qū)域，點(diǎn)擊Define，定義Ref（參考區(qū)域）。作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼4/8圖三然后，點(diǎn)擊下部選項(xiàng)中的BG Inc使該按鈕變?yōu)锽G EXC，鎖定選擇區(qū)，點(diǎn)擊Define，定義Acq。在動(dòng)態(tài)圖像中，使用鼠標(biāo)準(zhǔn)確標(biāo)定待測(cè)晶體，要求標(biāo)定范圍不能超出晶體。使用鼠標(biāo)標(biāo)記晶體通光面寬度，在彈出的對(duì)話(huà)框中，錄入晶體通光面寬度，按回車(chē)鍵確定。） Controls 對(duì)話(huà)框中的 Refractive index, 錄入待測(cè)晶體的折射率（，如圖二），按回車(chē)鍵確定。完成后,按遙控器上的顯示切換鍵（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于瀏覽狀態(tài)。 圖一作 業(yè) 文 件文件編號(hào)ZYGO干涉儀使用說(shuō)明版本/修訂頁(yè)碼3/8主要測(cè)試步驟如下：（ALIGN/VIEW），使監(jiān)視器處于排列狀態(tài)。進(jìn)入Windows 后， （如圖一）操作軟件，運(yùn)行程序，進(jìn)入ZYGO測(cè)試操作桌面。 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。 按照校準(zhǔn)計(jì)劃對(duì)設(shè)備定期檢定。5 職責(zé) 主要包括以下幾個(gè)方面： zygo干涉儀使用和維護(hù)部門(mén)為品管部。 掩膜（mask）表明干涉圖中有效區(qū)域的工具。 長(zhǎng)度基準(zhǔn)設(shè)定圖像的長(zhǎng)度基準(zhǔn)，因?yàn)榉糯舐什煌蛘咔舛炔?
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