電鏡第二期理論知識(shí)培訓(xùn)-文庫吧資料
2025-01-19 04:18本頁面
【正文】 雙面膠帶 2/10/2022 樣品制備 ? 一般 玻璃材料 ， 纖維材料 ， 高分子材料 以及 陶瓷材料 幾乎都是非導(dǎo)電性的物質(zhì)。 2/10/2022 ? 景深是指一個(gè)透鏡對(duì)高低不平的試樣各部位能同時(shí)聚焦成像的一個(gè)能力范圍。 二次電子像的分辨率約為 510nm，背反射電子像的分辨率約為 50200nm。 如何測量：拍攝圖象上，亮區(qū)間最小暗間隙寬度除以放大倍數(shù)。 2/10/2022 掃描線圈 Scanning coils ?掃描線圈作用 使電子束偏轉(zhuǎn)，并在樣品表面作有規(guī)則的掃動(dòng)。 2/10/2022 B S ES E I2/10/2022 二 、 掃描電鏡的構(gòu)造 ? 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 信號(hào)收集 ?圖象顯示記錄系統(tǒng) ? 真空系統(tǒng) 2/10/2022 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 電子槍 ? 電磁透鏡 ? 掃描線圈 ? 樣品室 2/10/2022 電子槍 Electron Gun ? Flament ?Wehnelt Cap ? Anode 2/10/2022 電磁透鏡 Electron Lenses 功能：把電子槍的束斑逐級(jí)聚焦縮小，使原來直徑約為 50 ?m束斑縮小成一個(gè)只有數(shù)納米的細(xì)小斑點(diǎn)。 2/10/2022 背散射電子像 如果 A區(qū)的 原子序數(shù)大于 B區(qū)的原子序數(shù) ，則 A區(qū)相對(duì)于圖象上是 亮區(qū) ， B區(qū)為 暗區(qū) 。這雖然并非由于操作引起地圖像缺陷，但可通過適當(dāng)?shù)夭僮鞅M量減少。 2/10/2022 ? Edge effect (secondary electron emission differing with surface condition). 樣品表面凹凸變化大的邊緣區(qū)域，二次電子散射區(qū)域與樣品表面接近的面積增大，結(jié)果使邊緣區(qū)域二次電子發(fā)射異常地增加。 2/10/2022 各種信號(hào)的深度和區(qū)域大小 2/10/2022 二次電子像 二次電子產(chǎn)額 δ與二次電子束與試樣表面法向夾角有關(guān)， δ∝ 1/cosθ。 ? 特征 X射線 ： 當(dāng)樣品原子的內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時(shí)，原子就會(huì)處于能量較高的激發(fā)狀態(tài)，此時(shí)外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補(bǔ)內(nèi)層電子的空缺，從而使具有特征能量的 X射線釋放出來。 2/10/2022 主要物理信號(hào) ↓ ↓ ↓ 高能 電 子束 二次 電 子 背散射 電 子 陰極 熒 光 樣 品 電 流 透射 電
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