sputter基本原理培訓(xùn)-文庫(kù)吧資料
2025-01-16 12:28本頁(yè)面
【正文】 電源的內(nèi)阻大約為50Ω，所以二者要進(jìn)行良好的匹配。 第三章 濺射原理 4（射頻濺射） 29 阻抗匹配： 阻抗匹配： 指負(fù)載阻抗與電源阻抗互相適配，得到最大功率輸出地一種工作狀態(tài)。 在電極上加上高電壓。 輝光放電： 第二章 等離子體 20 陰極輝光區(qū) 陰極暗區(qū) 負(fù)輝光區(qū) 法拉第暗區(qū) 正柱區(qū) 0 電壓 空間靜電荷 兩極區(qū)間 輝光放電示意圖 在真空室內(nèi)安置兩個(gè)電極。 21 輝光放電 第二章 等離子體 17 自然中的等離子體： 23 雷電 24 極光 第二章 等離子體 18 25 日光燈 24 真空鍍膜 輝光放電 等離子的應(yīng)用： 第二章 等離子體 19 輝光放電產(chǎn)生的條件： 1. 在放電開(kāi)始前，放電間隙間電場(chǎng)是均勻的； 2. 放電過(guò)程主要是靠陰極發(fā)射電子來(lái)維持的； 3. 放電氣壓一般維持在 10~103mbar； 4. 放電電流密度一般要維持在 101~102mA/cm2； 5. 電壓一般為 300~5000V； 濺射所需要的轟擊離子通常采用輝光放電獲得。演講人：王金萍 1 目錄 第一章 真空 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 2 目錄 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 3 第一章 真空 第一章 真空 4 11 生活中的真空 大氣壓、真空、真空度？ 第一章 真空 5 ?帕斯卡 Pa： 1Pa=1N/㎡ ?標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 atm： 1atm=101325Pa ?托 Torr： 1Torr= ?毫巴 mbar： 1mbar=100Pa 壓強(qiáng)單位 第一章 真空 6 — 大氣： 103mbar — 低真空： 103~103mbar
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