礦物材料現(xiàn)代測(cè)試技術(shù)(武漢理工大學(xué))4電子顯微鏡4-文庫吧資料
2024-10-22 19:48本頁面
【正文】 的 X射線強(qiáng)度。 常用的 X光子能量范圍在 ，如果總道址數(shù)為 1024，那么每個(gè)道址對(duì)應(yīng)的能量范圍是 20eV。 放大后的信號(hào)被送入多道脈沖高度分析器。 可見，鋰漂移硅固態(tài)檢測(cè)器的作用是將X射線轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，產(chǎn)生電脈沖。 知道了電子空穴對(duì)數(shù)就可以求出相應(yīng)的電荷量以及在固定電容（ 1μμF）上的 電壓脈沖 。 不同能量的 X光子將產(chǎn)生不同的電子空穴對(duì)數(shù)。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 21 1 波譜儀（ 6） 電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 22 2 能譜儀（ 1） 電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 來自樣品的 X光子通過鈹窗口進(jìn)入 鋰漂移硅固態(tài)檢測(cè)器 。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 20 1 波譜儀（ 5） 電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 由分光晶體所分散的單一波長(zhǎng) X射線被 X射線檢測(cè)器接受，常用的檢測(cè)器一般是正比計(jì)數(shù)器。只要令探測(cè)器連續(xù)進(jìn)行 2θ角的掃描，即可在整個(gè)元素范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 17 1 波譜儀（ 2） 電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 對(duì)于任意一個(gè)給定的入射角 θ，僅有一個(gè)確定的波長(zhǎng) λ滿足衍射條件。 利用特征波長(zhǎng)來確定元素的儀器叫做 波長(zhǎng)色散譜儀（ 波譜儀 ） ，利用特征能量的就稱為 能量色散譜儀（ 能譜儀 ） 。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 15 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 電子顯微分析 電子束轟擊樣品表面將產(chǎn)生特征 X射線，不同的元素有不同的 X射線特征波長(zhǎng)和能量。 對(duì)于 非導(dǎo)電樣品 ，如塑料、礦物等，在電子束作用下會(huì)產(chǎn)生電荷聚集，影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運(yùn)動(dòng)軌跡，使圖像質(zhì)量下降。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 14 5 樣品制備 電子顯微分析 第五章 電子顯微鏡的結(jié)構(gòu) 對(duì) 金屬和陶瓷等塊狀樣品 ，只需將它們切割成大小合適的尺寸，用導(dǎo)電膠將其粘接在樣品座上即可直接進(jìn)行觀察。但由于用于成像的物理信號(hào)不同，在樣品表面的發(fā)射范圍也不相同，從而影響其分辨率。 分辨率大小由入射電子束直徑和檢測(cè)信號(hào)類型共同決定。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 13 4 電子顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率 電子顯微分析 第五章 電子顯微鏡的結(jié)構(gòu) 2 分辨率 分辨率是電鏡的主要性能指標(biāo)。如果減少掃描線圈的電流，電子束在試樣上的掃描幅度為 Ac=，放大倍數(shù)可達(dá) 2021倍。 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 11 4 電子顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率 電子顯微分析 第五章 電子顯微鏡的結(jié)構(gòu) 1 放大倍數(shù) （ 1） 若入射電子束在樣品表面掃描的幅度為 As，在熒光屏陰極射線同步掃描的幅度為 Ac，則掃描電鏡的放大倍數(shù)為 : M=Ac/As 武漢理工大學(xué)資環(huán)學(xué)院 管俊芳 12 4 電子顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率 電子顯微分析 第五章 電子
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