【正文】
XJTU 微型制造技術(shù)精密加工微細(xì)超聲加工微細(xì)電解加工微細(xì)電火花加工立體光刻能束加工激光加工電子束加工離子束加工 硅微細(xì)加工光刻電鑄加工準(zhǔn)L I GA 加工L I GA 加工體硅加工硅表面微加工各向 異性 腐 蝕自停止 腐 蝕深層離子刻蝕電化學(xué)腐蝕等離子及反應(yīng)離子刻蝕淀積光刻犧牲層腐蝕擴(kuò)散微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 1 Basic of Photolithography 2 Mask Fabrication 3 Mask Aligner 4 Photolithography Process 5 Results Judgement 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU UV 曝光 顯影 后續(xù)加工 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 1 Basic of Photolithography 2 Mask Fabrication 3 Mask Aligner 4 Photolithography Process 5 Results Judgement 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電