【正文】
系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 1 Basic of Photolithography 2 Mask Fabrication 3 Mask Aligner 4 Photolithography Process 5 Results Judgement 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 基底清洗 勻膠 前烘 曝光 顯影 后烘 烘干 中烘 漂洗 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 Institute of Precision Engineering, XJTU 西安交通大學(xué)精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University 微型機(jī)電系統(tǒng)課程系列之三 0 10 20 30 40 50 60 0 500 1000 1500 2021 2500 Speed (rpm) Resist Thickness