groupmeeting北京大學(xué)微電子學(xué)研究院,方東明-文庫(kù)吧資料
2025-05-18 12:21本頁(yè)面
【正文】 April 18,2021 Work in the last week Tuning sensitivity The main performance figures …. 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last month 2. 學(xué)習(xí) …. 仿 真 1. 查閱 文 獻(xiàn) 4. 進(jìn)實(shí)驗(yàn) 室 …. 3. … 工 藝 制作流程 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last month 實(shí)驗(yàn) 相 關(guān) 曝光 顯 影 電鍍 甩膠 烘 膠 正膠 AZ P4903 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last month 用 … …. 大概 15um 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 電鍍 … …項(xiàng) 目申 請(qǐng) …申 請(qǐng) 的準(zhǔn) 備 3 ….會(huì)議 投稿 1 2 4 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 稀釋 HF溶液 HF ， 腐蝕速率： 室溫 100nm/s， 32度時(shí) 200nm/s HF HNO3 32度時(shí) 300nm/s Ti濕 法腐 蝕 50:1:1 H2O:HF:HNO3 20:1:1 H2O:HF:H2O2 1:1:20 HF:H2O2:HNO3 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks I2 KI 腐蝕速率： 室溫 815nm/s Au濕 法腐 蝕 1:2:1 0 I2:KI:H2O 25g： 7g： 100ml Br2:KI:H2O 1:2:3 HF:HAc:HNO3 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 國(guó)家基金對(duì)項(xiàng)目的要求越來(lái)越高 基礎(chǔ)性 前瞻性 戰(zhàn)略性 強(qiáng) 調(diào) 原 創(chuàng) 性 提高 交叉項(xiàng)目的 強(qiáng)度和比例 強(qiáng) 調(diào)學(xué) 科交叉 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 研究實(shí)力 寫(xiě)作技巧 創(chuàng)新思想 一新遮百丑 基金有多種 手段保護(hù) 創(chuàng)新思想 以往的 研究積累 和研究水平 準(zhǔn)確、清晰、 具體、可行 的研究計(jì)劃 申請(qǐng)基金的三要素 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 申請(qǐng)書(shū)的核心問(wèn)題 創(chuàng) 新性 重要性 實(shí) 用性 連續(xù) 性 可行性 科學(xué)選題 做什 么 （ What） 問(wèn)題 的提出 為 什 么 （ Why） 意 義 分析 怎么 做（ How） 技 術(shù) 路 線 立項(xiàng)依據(jù) 工作 積 累 實(shí)驗(yàn)條 件 人才梯 隊(duì) 支持條件 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang April 18,2021 Work in the last two weeks 立項(xiàng)依據(jù) 闡述項(xiàng)目對(duì)社會(huì)或經(jīng)濟(jì)的意義 1 本 項(xiàng)目 國(guó)內(nèi)外進(jìn)展情況 2 提出本項(xiàng)目解決的 目標(biāo) 3 強(qiáng)調(diào)項(xiàng)目的 必要性 和重要性 4 微電子學(xué)研究院 微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 Group Meeting DongMing Fang A
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