【正文】 十一 年平均銷(xiāo)售收入 萬(wàn)元 18900 十二 年均總成本費(fèi)用 萬(wàn)元 11375 十三 年均稅金及附加 萬(wàn)元 145 十四 年均利潤(rùn)總額 萬(wàn)元 7875 十五 財(cái)務(wù)評(píng)價(jià)指標(biāo) 投資利潤(rùn)率 % 投資利稅率 % 全部投資回收期 年 項(xiàng)目 用能概況 項(xiàng)目主要用能設(shè)備和供、用能系統(tǒng) 項(xiàng)目主 要 能耗系統(tǒng)包括 硅烷生產(chǎn)裝置、硅烷氣充裝系統(tǒng)、冷氫化處理裝置 、精餾 裝置 。原料取材方便，后處理容易，同時(shí)具備配套的公用工程及運(yùn)輸條件，生產(chǎn)十分便利。 汽化器 氫化爐 氫化爐尾氣過(guò)濾器 AEG 調(diào)控箱 氫化爐變壓器 110 變電站內(nèi)10KV 變電所 回收氫氣和 制氫站氫氣 N2 夾套 冷卻水 電極 冷卻水 整流器 冷卻水 尾氣回收 來(lái)自罐區(qū) 精制的 SiCl4 年產(chǎn) 500噸硅烷 項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估 報(bào)告書(shū) 27 硅烷 項(xiàng)目 總平面布置 滿足工藝流程要求，保證生產(chǎn)線短捷，盡量避免管道來(lái)往交叉迂回，并將公用工程消耗量大的裝置集中布置，盡量靠近供應(yīng)來(lái)源，合理布置場(chǎng)地內(nèi)用地，注意節(jié)約用地。 與冷氫化配套新建一條 3 萬(wàn)噸精餾裝置 本項(xiàng)目 精餾考慮和 3萬(wàn)噸的冷氫 化裝置配套，利用耦合技術(shù)，蒸汽消耗大幅降低，裝置處理能力大，操作彈性大。 精餾裝置。 硅粉 連續(xù) 加入，流化床反應(yīng) ，可以連續(xù)大規(guī)模生產(chǎn)（單條線可以做到 5 萬(wàn)噸以上 TCS 產(chǎn)能） ； 單位 電耗低 （ ） ； STC 轉(zhuǎn)化率高 （一般 25%左右、最高可達(dá) 30%） ； TCS 成本較低（ 2500 元 /噸 TCS）； Si、 Cl 消耗低，三廢處理量小，環(huán)保壓力低（ Si： ， Cl：）； 國(guó)內(nèi) 、外工藝已經(jīng)成熟， 運(yùn)行業(yè)績(jī) 較多 。 工藝流程圖 如圖 23。 氫化反應(yīng)產(chǎn)生的熱量由 90℃的高溫?zé)崴畮ё?，高溫?zé)崴謩e進(jìn)入反應(yīng)器鐘罩夾套、反應(yīng)器底盤(pán)、視鏡、頂部法蘭，對(duì)其進(jìn)行冷卻。 (3)熱氫化單元工藝流程簡(jiǎn)述 來(lái)自氯硅烷罐區(qū)的精制四氯化硅通過(guò)泵加壓進(jìn)入氫化爐汽化器，汽化器外設(shè)蒸汽夾套，內(nèi)設(shè)盤(pán)管，用 10bar(g)的蒸汽加熱，將四氯化硅汽化送至各氫化的氣體混合氣柜，與高純氫氣按一定比例在氣體混合氣柜均勻混合，經(jīng)氫化爐尾氣換熱器（力臂克管），由氫化爐反應(yīng)尾氣預(yù)熱后，通過(guò)氫化爐底盤(pán)噴嘴進(jìn)入爐內(nèi)，在 1250℃溫度下，氫氣與四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，生成二氯二氫硅、 三氯氫硅和氯化氫。 1 級(jí)粗餾塔釜得到含高沸點(diǎn)雜質(zhì)的粗四氯化硅， 送入 2級(jí)粗餾塔進(jìn)行進(jìn)一步提純。 （ 2）粗餾工序 來(lái)自冷氫化工序的粗氯硅烷液送入 1 級(jí)粗餾塔進(jìn)行預(yù)分離。其主要反應(yīng)方程式如下： 3SiCl4（氣） + 2H2（氣） +Si(固 )= 4SiHCl3(氣 ) Si（固） +2SiCl4 （氣） + H2（氣） +HCl（ 氣）＝ 3SiHCl3 反應(yīng)后的氯硅烷混合氣體經(jīng)過(guò)急冷除塵系統(tǒng)，以除去反應(yīng)氣體中夾帶的細(xì)微硅粉顆粒，同時(shí)降低反應(yīng)氣體溫度。 如采用氯化氫參與的冷氫化反應(yīng)，則氯化氫氣體也經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后按比例經(jīng)預(yù)熱器加熱后送至氫化反應(yīng)器中。 提純后的四氯化硅經(jīng)過(guò)加壓、預(yù)熱后送至四氯化硅汽化器，汽化后的四氯化硅氣體經(jīng)過(guò)加熱器進(jìn)一步加熱至 500550℃送至氫化反應(yīng)器中。 冷、熱氫化工藝選擇 （ 1）冷氫化工序 20 工業(yè)級(jí)硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中間倉(cāng)。淋洗后的氣體放大氣。氣體排放物在尾氣淋洗塔系統(tǒng)中處理。 尾氣回收及處理 ： 尾氣通過(guò)一系列冷凝器以冷凝氯硅烷。 ISO集裝箱（ 4000KG）將直接裝運(yùn)。 包括一個(gè)罐裝系統(tǒng)，槽罐尺寸通常為 47升（ 12KG）和 470 升（ 120KG）。使用兩臺(tái)球罐儲(chǔ)存硅烷，儲(chǔ)量約為二十天。當(dāng)不能達(dá)到建議距離時(shí)使用工程設(shè)計(jì)方案補(bǔ)足。 硅烷存儲(chǔ)和灌裝 ： 現(xiàn)場(chǎng)硅烷生產(chǎn)、存儲(chǔ)、包裝和運(yùn)輸設(shè)備 對(duì)人身、設(shè)備和建筑的危害降至最低。塔頂主要產(chǎn)物硅烷，塔底含有 DCS 及其他成分，循環(huán)回到第二臺(tái)反應(yīng)精餾塔。塔頂產(chǎn)物富含硅烷，送入精餾提純。該反應(yīng)精餾工藝將大部分 DCS留在塔中繼續(xù)反應(yīng)。將 DCS導(dǎo)入第二臺(tái)反應(yīng)精餾塔，該塔與第一臺(tái)結(jié)構(gòu)類(lèi)似，但操作條件不同。 TCS反歧化反應(yīng)器的主要產(chǎn)物為 DCS、 STC 及未反應(yīng)的 TCS（雖然在此過(guò)程中會(huì)形成部分硅烷），該反應(yīng)精餾工藝將大部分 TCS留在塔中繼續(xù)反應(yīng)。 STC 作為塔底產(chǎn)物分離出來(lái)，送至存儲(chǔ)以返回到買(mǎi)方 TCS生產(chǎn)，塔頂富含 DCS的產(chǎn)物加壓后送至第二胎反應(yīng)精餾 圖 21 硅烷氣生產(chǎn)工藝流程圖 硅烷生產(chǎn)線 由兩臺(tái)反應(yīng) 精餾塔，一臺(tái)提純精餾塔及其配套進(jìn)料槽、進(jìn)料泵、冷凝器、再沸器、回流罐、回流和塔底泵 。利用氯硅烷歧化反應(yīng)法生產(chǎn)硅烷氣同時(shí)也兼顧 了一期西門(mén)子生產(chǎn)工藝，與我公司一期裝置相互呼應(yīng)兼容，大大節(jié)約項(xiàng)目投資成本，生產(chǎn) 工藝流程 18 圖如下 （圖 21） ： 將 TCS導(dǎo)入第一臺(tái)反應(yīng)精餾塔，該塔在常規(guī)填料塔上部裝有一催化填料部分。美國(guó) REC(前身為 Asimi)采用該方法來(lái)制備硅烷氣體。該方法的主要反應(yīng)有 : Si+MgMg2Si Mg2Si + NH4Cl 一一一一〉 SiH4+MgCl2+6NH3 c 、氯硅烷歧化反應(yīng)法，此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反應(yīng)來(lái)獲得硅烷 : Si + 2H2 + 3SiC14=4SiHCl3 6SiHCl3=3SiH2Cl2 + 3SiC14 4SiH2Cl2=2SiH3Cl + 2SiHCl3 3SiH3Cl=SiH2Cl2 + SiH4 整個(gè)過(guò)程是閉路，一方投入硅與氫，另一方獲得硅烷，因此排出物少，對(duì) 保護(hù) 環(huán)境有利，同時(shí)材料的利用率高。硅鎂合金法制備硅烷的工藝流程非常簡(jiǎn)練。 項(xiàng)目 工藝方案 選擇 工藝 流程 比較 簡(jiǎn)述 硅烷氣生產(chǎn)工藝 選擇 a、金屬氫化物工藝該方法的典型代表是美國(guó)的 MEMC公司。 整 個(gè)生產(chǎn)過(guò)程完全 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)閉路循環(huán)，保護(hù)環(huán)境，綠色生產(chǎn) 。 16 項(xiàng)目 建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容 本工程利用 現(xiàn)有水 、 電、蒸汽 等 配套 公用設(shè)施， 整個(gè)項(xiàng)目按照500 t/a高純硅烷氣 規(guī)模實(shí)施，主體工藝流程 包括硅烷氣生產(chǎn)和 四氯化硅冷氫化。 （ 5） 從能源綜合利用來(lái)看， 工藝上采用國(guó)際上最先進(jìn)的四氯化硅冷氫化技術(shù)，四氯化硅可實(shí)現(xiàn)全部工廠內(nèi)部消化，且 95%以上可以轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，利用率高，降低了多晶硅生產(chǎn)的單位 電耗。塔頂冷凝器使用循環(huán)水即可換熱，節(jié)約了深冷能耗。做到少投入、多產(chǎn)出，這樣既充分利用了企業(yè)現(xiàn)有的資源，又可以得到良好的經(jīng)濟(jì)效益。 3臺(tái) 額定蒸發(fā)量 20T/h燃汽鍋爐完全可以 滿足本項(xiàng)目蒸汽的使用；現(xiàn)行 110KV和 10KV的變電站可分別滿足公司和項(xiàng)目的供電需求，供水能力為 4500t/h的水廠滿足擴(kuò)建裝置所需。 （ 3） 公司 充分利用現(xiàn)有公用工程配套優(yōu)勢(shì)。 硅烷 項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì)分析 （ 1） 項(xiàng)目 通過(guò)歧化反應(yīng)生產(chǎn)硅烷氣， 轉(zhuǎn)化效率高， 整個(gè)過(guò)程是閉路，一方投入硅與氫，另一方獲得硅烷，因此排出物少，對(duì) 保護(hù) 環(huán)境有利，同時(shí)材料的利用率高 ，節(jié)約成本。項(xiàng)目同時(shí) 為了解決 還原 車(chē)間 電耗 較高問(wèn)題，上冷氫化生產(chǎn)線與硅烷生產(chǎn)和多晶硅生產(chǎn)相配套，把一期的熱氫化改造成冷氫化，達(dá)到提高 STC 轉(zhuǎn)化效率，減少消耗，降低多晶硅生產(chǎn)成本的目的，實(shí)現(xiàn)零排放零污染，綠色生產(chǎn)。硅烷法多晶硅中產(chǎn)生的硅粉可以用于澆鑄法多晶硅片產(chǎn)品中，解決了硅粉的利用問(wèn)題。因?yàn)?硅烷 氣體沒(méi)有腐蝕性而三氯氫硅具有較強(qiáng)的腐蝕性，所以硅烷法工藝對(duì)工藝管道和設(shè)備的要求比三氯氫硅法低，生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的總投資比三氯氫硅法低 。硅烷法工藝的副產(chǎn)物對(duì)環(huán)境不會(huì)造成大的危害，屬于環(huán)境友好型多晶硅工藝 。硅烷氣制備多晶硅成本比西門(mén)子法制備多晶硅有大幅度的下降，通過(guò)硅烷生產(chǎn)，使得企業(yè)產(chǎn)品成本下降，提高企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 因此，考慮今后多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展趨勢(shì)，我司同步計(jì)劃把硅烷氣生產(chǎn)線進(jìn)行延伸，利用硅烷氣生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，參與高端市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。但是面對(duì)未來(lái)的光伏市場(chǎng)，企業(yè)要生存就必須發(fā)展，發(fā)展是硬道理，發(fā)展是企業(yè)生存的唯一法寶。歐洲是全球光伏產(chǎn)品的最大應(yīng)用市場(chǎng)，也是中國(guó)光伏產(chǎn)品出口的主要地區(qū)，對(duì)于中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)而言，這就好比剛剛遭到颶風(fēng)襲擊，又突然遇上龍卷風(fēng)。 9 月 6日，歐盟也不計(jì)后果地對(duì)中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)立案“雙反”，更使得這一行業(yè)雪上加霜。 但目前光伏行業(yè)市場(chǎng)十分低迷。一期設(shè)計(jì)建設(shè)由一批經(jīng)驗(yàn)豐富的中外專(zhuān)家組成，保證了產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和流程設(shè)計(jì)理念一流、技術(shù)領(lǐng)先。 同時(shí)，從公司個(gè)體角度看，年產(chǎn) 500噸硅烷項(xiàng)目是景新公司在一期項(xiàng)目基礎(chǔ)上的改造及擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。 這一技術(shù)的突破和應(yīng)用，不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)硅烷氣技術(shù)的空白，也為今后國(guó)家的電子工業(yè)，新能源材料提 供了高品質(zhì)、低成本、大規(guī)模原材料供應(yīng)基地。這種狀況嚴(yán)重地制約著我國(guó)電子技術(shù)的發(fā)展，成為我國(guó)發(fā)展電子產(chǎn)業(yè)的桎梏之一。目前有 12 能力生產(chǎn) 6N 級(jí)以上高 純電子氣體的只有少數(shù)國(guó)家，而高純氣體在電子產(chǎn)品、航空航天、高效太陽(yáng)能電池、軍事工業(yè)方面有著廣泛的應(yīng)用。超純、超凈、超前是電子氣體發(fā)展的方向。 硅烷 — 電子特種氣體，尤其是高純電子氣體作為電子化工材料，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。此后，硅烷被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件、液晶顯示器、硅材料太陽(yáng)能電池等生產(chǎn)中。其中硅烷尤其是高純度硅烷，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。 項(xiàng)目基本情況 項(xiàng)目由來(lái) 項(xiàng)目建設(shè) 背景和 必要性 硅烷是高科技領(lǐng)域必備的原材料。 公司采用世界先進(jìn)的第三代改良西門(mén)子技術(shù)，大流量、高沉積速度的還原爐技術(shù)，獨(dú)創(chuàng)高效循環(huán)生產(chǎn)工藝，利用西門(mén)子 DCS 控制系 11 統(tǒng)，引進(jìn)美國(guó) CDI 尾氣回收技術(shù)，基本實(shí)現(xiàn)零排放標(biāo)準(zhǔn)。公司總占地面積 637畝，目前產(chǎn)能為 1500噸 /年，遠(yuǎn)景目標(biāo)為建成 6000噸 /年多晶硅生產(chǎn)線。 10 2 項(xiàng)目概況 建設(shè)單位基本情況 項(xiàng)目名稱(chēng)及項(xiàng)目建設(shè)單位 項(xiàng)目名稱(chēng)： 年產(chǎn) 500 噸硅烷項(xiàng)目 企業(yè)名稱(chēng)： 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司 企業(yè)性質(zhì)： 民營(yíng)企業(yè) 法定代表人： 陸廷秀 項(xiàng)目地址： 江西省 景德鎮(zhèn)市高新區(qū)產(chǎn)業(yè)園內(nèi) 企業(yè)概況 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司是中電電氣集團(tuán)旗下的一家全資子公司。 （ 4）為節(jié)能監(jiān)察、監(jiān)督管理工作部門(mén)提供可靠的決策依據(jù)。 （ 2）評(píng)價(jià)項(xiàng)目主要工藝、技術(shù)、設(shè)備用能的合