【正文】 萬元 145 十四 年均利潤總額 萬元 7875 十五 財(cái)務(wù)評(píng)價(jià)指標(biāo) 投資利潤率 % 投資利稅率 % 全部 投資回收期 年 項(xiàng)目 用能概況 項(xiàng)目主要用能設(shè)備和供、用能系統(tǒng) 項(xiàng)目主 要 能耗系統(tǒng)包括 硅烷生產(chǎn)裝置、硅烷氣充裝系統(tǒng)、冷氫化處理裝置 、精餾 裝置 。原料取材方便，后處理容易，同時(shí)具備配套的公用工程及運(yùn)輸條件，生產(chǎn)十分便利。 汽化器 氫化爐 氫化爐尾氣過濾器 AEG 調(diào)控箱 氫化爐變壓器 110 變電站內(nèi)10KV 變電所 回收氫氣和 制氫站氫氣 N2 夾套 冷卻水 電極 冷卻水 整流器 冷卻水 尾氣回收 來自罐區(qū) 精制的 SiCl4 年產(chǎn) 500 噸硅烷 項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估 報(bào)告 書 2 硅烷 項(xiàng)目 總平面布置 滿足工藝流程要求，保證生產(chǎn)線短捷，盡量避免管道來往交叉迂回，并將公用工程消耗量大的裝置集中布置，盡量靠近供應(yīng)來源，合理布置場地內(nèi)用地，注意節(jié)約用地。 與冷氫化配套新建一條 3萬噸精餾裝置 本項(xiàng)目 精餾考慮和 3萬噸的冷氫化裝置配套，利用耦合技術(shù)，蒸汽消耗大幅降低，裝置處理能力大，操作彈性大。 精餾裝置。 硅粉 連續(xù) 加入，流化床反應(yīng) ，可以連續(xù)大規(guī)模生產(chǎn)（單條線可以做到 5 萬噸以上 TCS 產(chǎn)能） ； 單位 電耗低 （ ） ； STC 轉(zhuǎn)化率高 （一般 25%左右、最高可達(dá) 30%） ； TCS 成本較低（ 2500 元 /噸 TCS）； Si、 Cl 消耗低，三廢處理量小，環(huán)保壓力低（ Si： ， Cl：）； 國內(nèi) 、外工藝已經(jīng)成熟， 運(yùn)行業(yè)績 較多 。 工藝流程圖 如圖 3。 氫化反應(yīng)產(chǎn) 生的熱量由 90℃的高溫?zé)崴畮ё?，高溫?zé)崴謩e進(jìn)入反應(yīng)器鐘罩夾套、反應(yīng)器底盤、視鏡、頂部法蘭，對(duì)其進(jìn)行冷卻。 (3)熱氫化單元工藝流程簡述 來自氯硅烷罐區(qū)的精制四氯化硅通過泵加壓進(jìn)入氫化爐汽化器，汽化器外設(shè)蒸汽夾套，內(nèi)設(shè)盤管，用 10bar(g)的蒸汽加熱，將四氯化硅汽化送至各氫化的氣體混合氣柜，與高純氫氣按一定比例在氣體混合氣柜均勻混合，經(jīng)氫化爐尾氣換熱器（力臂克管），由氫化爐反應(yīng)尾氣預(yù)熱后，通過氫化爐底盤噴嘴進(jìn)入爐內(nèi)，在 1250℃溫度下，氫氣與四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，生成二氯二氫硅、三氯氫硅和氯化氫。 1級(jí)粗餾塔釜得到含高沸點(diǎn)雜質(zhì)的粗四氯化硅，送入 2級(jí)粗餾塔進(jìn)行進(jìn)一步提純。 （ 2）粗餾工序 來自冷氫化工序的粗氯硅烷液送入 1級(jí)粗餾塔進(jìn)行預(yù)分離。其主要反應(yīng)方程式如下： 3SiCl4（氣） + 2H2（氣） +Si(固 )= 4SiHCl3(氣 ) Si（固） +2SiCl4 （氣） + H2（氣） +HCl（氣）＝ 3SiHCl3 反應(yīng)后的氯硅烷混合氣體經(jīng)過急冷除塵系統(tǒng)，以除去反應(yīng)氣體中夾帶的細(xì)微硅粉顆粒，同時(shí)降低反應(yīng)氣體溫度 。 如采用氯化氫參與的冷氫化反應(yīng) ，則氯化氫氣體也經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后按比例經(jīng)預(yù)熱器加熱后送至氫化反應(yīng)器中。 提純后的四氯化硅經(jīng)過加壓、預(yù)熱后送至四氯化硅汽化器，汽化后的四氯化硅氣體經(jīng)過加熱器進(jìn)一步加熱至 500550℃送至氫化反應(yīng)器中。 冷、熱氫化工藝選擇 （ 1）冷氫化工序 24 工業(yè)級(jí)硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中間倉。淋洗后的氣體放大氣。氣體排放物在尾氣淋洗塔系統(tǒng)中處理。 尾氣回收及處理 ： 尾氣通過一系列冷凝器以冷凝氯硅烷。 ISO 集裝箱（ 4000KG）將直接裝運(yùn)。 包括一個(gè)罐裝系統(tǒng)，槽罐尺寸通常為 47升（ 12KG）和 470 升（ 120KG）。使用兩臺(tái)球罐儲(chǔ)存硅烷，儲(chǔ)量約為二十天。當(dāng)不能達(dá)到建議距離時(shí)使用工程設(shè)計(jì)方案補(bǔ)足。 硅烷存儲(chǔ)和灌裝 ： 現(xiàn)場硅烷生產(chǎn)、存儲(chǔ)、包裝和運(yùn)輸設(shè)備 對(duì)人身、設(shè)備和建筑的危害降至最低。塔頂主要產(chǎn)物硅烷，塔底含有 DCS 及其他成分，循環(huán)回到第二臺(tái)反應(yīng)精餾塔。塔頂產(chǎn)物富含硅烷，送入精餾提純。該反應(yīng)精餾工藝將大部分 DCS 留在塔中繼續(xù)反應(yīng)。將 DCS 導(dǎo)入第二臺(tái)反應(yīng)精餾塔，該塔與第一臺(tái)結(jié)構(gòu)類似，但操作條件不同。 TCS 反歧化反應(yīng)器的主要產(chǎn)物為 DCS、 STC及未反應(yīng)的 TCS（雖然在此過程中會(huì)形成部分硅烷），該反應(yīng)精餾工藝將大部分 TCS 留在塔中繼續(xù)反應(yīng)。 STC 作為塔底產(chǎn)物分離出來，送至存儲(chǔ)以返回到買方 TCS 生產(chǎn)，塔頂富含 DCS 的產(chǎn)物加壓后送至第二胎反應(yīng)精餾 圖 1 硅烷氣生產(chǎn)工藝流程圖 硅烷生產(chǎn)線 由兩臺(tái)反應(yīng)精餾塔，一臺(tái)提純精餾塔及其配套進(jìn)料槽、進(jìn)料泵、冷凝器、再沸器、回流罐、回流和塔底泵 。利用氯硅烷歧化反應(yīng)法生產(chǎn)硅烷氣同時(shí)也兼顧了一期西門子生產(chǎn)工藝，與我公司一期裝置相互呼應(yīng)兼容，大大節(jié)約項(xiàng)目投資成本，生產(chǎn) 工藝流程 22 圖如下 （圖 1） ： 將 TCS 導(dǎo)入第一臺(tái)反應(yīng)精餾塔，該塔在常規(guī)填料塔上部裝有一催化填料部分。美國 REC(前身為 Asimi)采用該方法來制備硅烷氣體。該方法的主要反應(yīng)有 : Si+MgMg2Si Mg2Si + NH4Cl一一一一〉 SiH4+MgCl2+6NH3 c 、氯硅烷歧化反應(yīng)法，此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反應(yīng)來獲得硅烷 : Si + 2H2 + 3SiC14=4SiHCl3 6SiHCl3=3SiH2Cl2 + 3SiC14 4SiH2Cl2=2SiH3Cl + 2SiHCl3 3SiH3Cl=SiH2Cl2 + SiH4 整個(gè)過程是閉路，一方投入硅與氫，另一方獲得硅烷，因此排出物少，對(duì) 保護(hù) 環(huán)境有利，同時(shí)材料的利用率高。硅鎂合金法制備硅烷的工藝流程非常簡練。 項(xiàng)目 工藝方案 選擇 工藝 流程 比較 簡述 硅烷氣生產(chǎn)工藝 選擇 a、金屬氫化物工藝該方法的典型代表是美國的 MEMC 公司。 整個(gè)生產(chǎn)過程完全 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)閉路循環(huán)，保護(hù)環(huán)境，綠色生產(chǎn) 。 20 項(xiàng)目 建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容 本工程利用 現(xiàn)有水 、 電、蒸汽 等 配套 公用設(shè)施， 整個(gè)項(xiàng)目按照500 t/a高純硅烷氣 規(guī)模實(shí)施，主體工藝流程 包括硅烷氣生產(chǎn)和 四氯化硅冷氫化。 （ 5） 從能源綜合利用來看， 工藝上采用國際上最先進(jìn)的四氯化硅冷氫化技術(shù)，四氯化硅可實(shí)現(xiàn)全部工廠內(nèi)部消化，且 95%以上可以轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，利用率高，降低了多晶硅生產(chǎn)的單位電耗。塔頂冷凝器使用循環(huán)水即可換熱，節(jié)約了深冷能耗。做到少投入、多產(chǎn)出，這樣既充分利用了企業(yè)現(xiàn)有的資源，又可以得到良好的經(jīng)濟(jì)效益。 3臺(tái) 額定蒸發(fā)量 20T/h 燃汽鍋爐完全可以 滿足本項(xiàng)目蒸汽的使用；現(xiàn)行 110KV 和 10KV 的變電站可分別滿足公司和項(xiàng)目的供電需求，供水能力為 4500t/h 的水廠滿足擴(kuò)建裝置所需。 （ 3） 公司 充分利用現(xiàn)有公用工程配套優(yōu)勢。 硅烷 項(xiàng)目優(yōu)勢分析 （ 1） 項(xiàng)目 通過歧化反應(yīng)生產(chǎn)硅烷氣， 轉(zhuǎn)化效率高， 整個(gè)過程是閉路，一方投入硅與氫，另一方獲得硅烷，因此排出物少，對(duì) 保護(hù) 環(huán)境有利，同時(shí)材料的利用率高 ，節(jié)約成本。項(xiàng)目同時(shí) 為了解決 還原 車間 電耗 較高問題，上冷氫化生產(chǎn)線與硅烷生產(chǎn)和多晶硅生產(chǎn)相配套，把一期的熱氫化 改造成冷氫化，達(dá)到提高 STC 轉(zhuǎn)化效率，減少消耗，降低多晶硅生產(chǎn)成本的目的，實(shí)現(xiàn)零排放零污染，綠色生產(chǎn)。硅烷法多晶硅中產(chǎn)生的硅粉可以用于澆鑄法多晶硅片產(chǎn)品中，解決了硅粉的利用問題。因?yàn)楣柰顨怏w沒有腐蝕性而三氯氫硅具有較強(qiáng)的腐蝕性，所以硅烷法工藝對(duì)工藝管道和設(shè)備的要求比三氯氫硅法低，生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的總投資比三氯氫硅法低 。硅烷法工藝的副產(chǎn)物對(duì)環(huán)境不會(huì)造成大的危害，屬于環(huán)境友好型多晶硅工藝 。硅烷氣制備多晶硅成本比西門子法制備多晶硅有大幅度的下降，通過硅烷生產(chǎn)，使得企業(yè)產(chǎn)品成本下降，提高企業(yè)市場競爭優(yōu)勢。 因此，考慮今后多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展趨勢，我司同步計(jì)劃把硅烷 氣生產(chǎn)線進(jìn)行延伸，利用硅烷氣生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，參與高端市場競爭。但是面對(duì)未來的光伏市場，企業(yè)要生存就必須發(fā)展，發(fā)展是硬道理，發(fā)展是企業(yè)生存的唯一法寶。歐洲是全球光伏產(chǎn)品的最大應(yīng)用市場，也是中國光伏產(chǎn)品出口的主要地區(qū)，對(duì)于中國光伏產(chǎn)業(yè)而言，這就好比剛剛遭到颶風(fēng)襲擊，又突然遇上龍卷風(fēng)。 9月 6日，歐盟也不計(jì)后果地對(duì)中國光伏產(chǎn)業(yè)立案“雙反”，更使得這一行業(yè)雪上加霜。 但目前光伏行業(yè)市場十分低迷。一期設(shè)計(jì)建設(shè)由一批經(jīng)驗(yàn)豐富的中外專家組成，保證了產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和流程設(shè)計(jì)理念一流、技術(shù)領(lǐng)先。 同時(shí)，從公司個(gè)體角度看，年產(chǎn) 500噸硅烷項(xiàng)目是景新公司在一期項(xiàng)目基礎(chǔ)上的改造及擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。 這一技術(shù)的突破和應(yīng)用，不僅填補(bǔ)了國內(nèi)硅烷氣技術(shù)的空白，也為今后國家的電子工業(yè)，新能源材料提供了高品質(zhì)、低成本、大規(guī)模原材料供應(yīng)基地。這種狀況嚴(yán)重地制約著我國電子技術(shù)的發(fā)展，成為我國發(fā)展電子產(chǎn)業(yè)的桎梏之一。目前有 16 能力生產(chǎn) 6N 級(jí)以上高純電子氣體的只有少數(shù)國家，而高純氣體在電子產(chǎn)品、航空航天、高效太陽能電池、軍事工業(yè)方面有著廣泛的應(yīng)用。超純、超凈、超前是電子氣體發(fā)展的方向。 硅烷 — 電子特種氣體，尤其是高純電子氣體作為電子化工材料，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。此后，硅烷被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件、液晶顯示器、硅材料太陽能電池等生產(chǎn)中。其中硅烷尤其是高純度硅烷，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。 項(xiàng)目基 本情況 項(xiàng)目由來 項(xiàng)目建設(shè) 背景和 必要性 硅烷是高科技領(lǐng)域必備的原材料。 公司采用世界先進(jìn)的第三代改良西門子技術(shù)，大流量、高沉積速度的還原爐技術(shù)，獨(dú)創(chuàng)高效循環(huán)生產(chǎn)工藝，利用西門子 DCS 控制系 15 統(tǒng)，引進(jìn)美國 CDI 尾氣回收技術(shù)，基本實(shí)現(xiàn)零排放標(biāo)準(zhǔn)。公司總占地面積 637畝，目前產(chǎn)能為 1500噸 /年，遠(yuǎn)景目標(biāo)為建成 6000噸 /年多晶硅生產(chǎn)線。 14 2 項(xiàng)目概況 建設(shè)單位基本情況 項(xiàng)目名稱及項(xiàng)目建設(shè)單位 項(xiàng)目名稱： 年產(chǎn) 500 噸硅烷項(xiàng)目 企業(yè)名稱： 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司 企業(yè)性質(zhì)： 民營企業(yè) 法定代表人： 陸廷秀 項(xiàng)目地址： 江西省 景德鎮(zhèn)市高新區(qū)產(chǎn)業(yè)園內(nèi) 企業(yè)概況 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司是中電電氣集團(tuán)旗下的一家全資子公司。 （ 4）為節(jié)能監(jiān)察、監(jiān)督管理工作部門提供可靠的決策依據(jù)。 （ 2）評(píng)價(jià)項(xiàng)目主要工藝、技術(shù)、設(shè)備用能的合理性和先進(jìn)性。 遵照省工信委《江西省工業(yè)固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估和審查辦法》（試行）贛工信節(jié)能字 [20xx]378 號(hào)》 文件相關(guān)規(guī)定 ，必須編制獨(dú)立的節(jié)能評(píng)估報(bào)告書，因此 年產(chǎn) 500 噸硅烷