硅集成電路制造工藝緒論(參考版)
2025-01-08 13:18本頁面
【正文】 2023年 1月 25日星期三 12時 25分 12秒 12:25:1225 January 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 2023年 1月 25日星期三 下午 12時 25分 12秒 12:25: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。勝人者有力，自勝者強。 :25:1212:25Jan2325Jan23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 , January 25, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023年 1月 25日星期三 12時 25分 12秒 12:25:1225 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 。 :25:1212:25:12January 25, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 :25:1212:25Jan2325Jan23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 , January 25, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 2023年 1月 25日星期三 12時 25分 12秒 12:25:1225 January 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 。 :25:1212:25:12January 25, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 :25:1212:25Jan2325Jan23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 , January 25, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 42 講課內(nèi)容： ? 知識領(lǐng)域 1：集成電路單項工藝（ A） ? 知識單元 A1： 半導(dǎo)體制造工藝發(fā)展、 襯底制備、 熱氧化、擴散、離子注入、 薄膜工藝（26學(xué)時） ? 知識單元 A2：圖形轉(zhuǎn)換工藝 光刻與刻蝕 （ 10學(xué)時） ? 知識領(lǐng)域 2：集成電路集成工藝（ B） ? 知識單元 B1：工藝集成（ 6學(xué)時） ? 知識單元 B2：封裝、測試（ 4學(xué)時） 43 教材與參考書 ? 關(guān)旭東 《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》北京大學(xué)出版 2023 ? 王蔚 《微電子制造技術(shù) 原理與工藝》 科學(xué)出版社 2023 ? 清華大學(xué)《集成電路工藝》多媒體教學(xué)課件 2023 ? Stephen A. C.《微電子制造科學(xué)原理與工程技術(shù)》電子工業(yè)出版社， 2023 44 考試與課程評定 ? 期末考試采取筆試方式，考試成績占總成績的 70%； ? 平時成績占 30%， 出勤 10%，小測驗 10%，作業(yè) 10%。 微電子技術(shù)的三個發(fā)展方向 40 工藝課程學(xué)習(xí)主要應(yīng)用 ? 制作微電子器件和集成電路 ? 微機電系統(tǒng) (microelectromechanicol System MEMS)的所依托的微加工技術(shù) ? 納米技術(shù)，如 光刻 —圖形復(fù)制轉(zhuǎn)移工藝，MBE等 41 4 本課程內(nèi)容 ? 重點介紹 單項工藝 和其依托的科學(xué)原理。 ? 大批量，低成本 圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)使之得以實現(xiàn)。 ? 高技術(shù)含量 設(shè)備先進，技術(shù)先進。 36 3 集成電路 工藝特點及用途 ? 超凈 環(huán)境、操作者、工藝三方面的超凈，如超凈室， ULSI在 100級超凈室制作，超凈臺達 10級。但到 45納米，臺積電開始“搶先半步”。 未來 35 ? 近 10年來 ，“輕晶圓廠”（ fablight）或“無晶圓廠”（ fabless）模式的興起，而沒有芯片設(shè)計公司反過來成為
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