【正文】 最終，再次向給予我?guī)椭母魑焕蠋?、同學(xué)、同事以及朋友們致以深深地謝意！?！　∽詈筮€要感謝我的同學(xué)，同事以及朋友，他們?yōu)槲艺撐牡耐瓿商峁┝撕芏嗟乃夭?，也在論文的撰寫和排版中給與了我熱情的幫助。此外還要感謝在這篇論文中所涉及到的教授和其他學(xué)者。參考文獻(xiàn)[1] 趙萬生 .先進(jìn)電火花加工技術(shù)［M］.國防工業(yè)出版社 , 2003 :10 .[2] 曹鳳國 .電火花加工技術(shù) .化學(xué)工業(yè)出版社 .[3] 董德生等 .群孔的微細(xì)電火花加工技術(shù)研究 .電加工與模具 .2006 ,2 : 47 ～49 .[4] 周焱 .微細(xì)加工技術(shù)研究進(jìn)展 ..機(jī)械工程師 .2006 , 11 :29 ～31 .[5] 唐勇軍等 .微細(xì)電火花加工技術(shù)的最新發(fā)展 .電加工與模具 ,2005 ,增刊 :36～39 .[6] 王振龍等 .微細(xì)電火花加工技術(shù)的研究進(jìn)展 .中國機(jī)械工程 ,2002 ,13（10）:894 ～898 .[7] 狄士春等 .微細(xì)電火花線切割加工技術(shù)的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 .航空精密制造技術(shù) ,2004 , 40（1）:12～15 .[8] 林子光等 .在機(jī)械零件表面進(jìn)行激光微精處理的實(shí)驗(yàn)研究 .應(yīng)用激光聯(lián)刊 ,1989 ,4: 27～31 .[9] Ku. P. M，Li. K. Y，Effect of surface roughness orientation on the tentral film thickness .Elastohydro dynamic and related topics .proc of the 5th .LeedsLyon simposium on tribology .1977 .[10] 袁德 . ,1993 ,9 :23 ～24 .[11] 王振龍等 .微三維結(jié)構(gòu)型腔的微細(xì)電火花加工 .微細(xì)加工技術(shù)，2000 ，1 :71 ～78 .[12] 董德生等 .群孔的微細(xì)電火花加工技術(shù)研究 .電加工與模具 .2006 . 2 . 47 ～49 .[13] 陳安駿 . ,2005 ，1 ～4 ，9 ～10 .[14] 苑偉政(李曉瑩) .微機(jī)械及微細(xì)加工技術(shù) .機(jī)械科學(xué)與技術(shù) ,1997 ,16（3）:503 ～504 .[15] :華中理工大學(xué)出版社，1992，1 .[16] 張勇(王振龍，胡富強(qiáng)，賈寶賢，李志勇，趙萬生 (哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程系,黑龍江哈爾濱150001)) ) . 微細(xì)電火花加工中微細(xì)電極的制作與檢測技術(shù)研究 ,2004　,8 .[17] 蔡亦峰 . ,2002 ,9 :38 ～39 .[18] 趙波(程雪利 ,劉傳紹) .微細(xì)加工與裝備技術(shù)進(jìn)展 .現(xiàn)代制造工程 ,2006 ,6 :143 ～146 .[19] 狄士春(王振龍 ,劉維東等) ．電極等損耗微細(xì)電火花加工技術(shù)[J] .電加工 ，1998(2) :1 ～3 .[20] 宋小中(劉正勛) .電致伸縮型電火花微細(xì)加工伺服系統(tǒng)的研究[J] .電加工 ,1995 (3) .[21] et Science ,1998 :236 ~247[7]M .Nesladek et al .Thin Solid Films ,1995 :184 ~188 .[22] Yoshihito Imai ，Takayuki Nakagawa ，Hidetaka Miyake ．Local actuator module for highly accurate microEDM[J] .Journal of Materials Processing Technology .2004 , 149 :328~333 .[23] seral .Surface and Coatings Technology :1991 :600~607 .致 謝經(jīng)過兩個(gè)多月的時(shí)間終于完成了這篇畢業(yè)設(shè)計(jì)，在完成這項(xiàng)設(shè)計(jì)的過程中遇到了無數(shù)的困難和挫折，不過基本都在薛功林和于海林老師以及同學(xué)的幫助下解決了。 展望現(xiàn)階段，社會(huì)上針對微坑結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)研究還不成熟,尤其是對陣列形狀的加工應(yīng)用完全沒有概念。本次畢業(yè)設(shè)計(jì)中制作出的專用夾具，通過一次裝夾同時(shí)完成對工件周向和軸向兩道工序的加工，這樣的工序降低對工件定位的難度，同時(shí)提高了加工的效率和加大了加工的行程，完成在長圓柱上的微凸起結(jié)構(gòu)的加工。這次針對微型散熱器的圓柱表面實(shí)施微凸起加工，加大了圓柱表面積，使得散熱效果更好。 小結(jié)經(jīng)過磨削完成的待加工工件，會(huì)因?yàn)殡娀鸹庸ざ鴮?dǎo)致工件表面的應(yīng)力平衡被破壞，使得工件微微有點(diǎn)彎曲，因此要在工件的彎曲恢復(fù)之后再進(jìn)行工具的尺寸的測量，這樣才能減小測量中的誤差。(a) 微凸起顯微鏡下平面輪廓光譜圖(b) 微凸起電子顯微立體三維圖(c) 微凸起儀器測試數(shù)值輸出顯示圖55 微凸起顯微形貌圖根據(jù)上面顯微形貌圖，圖55(a)是顯微鏡下平面輪廓所拍攝，圖55(b)是顯微下電子掃描呈現(xiàn)的立體三維圖，圖55(c)則是電子掃描在數(shù)據(jù)上所展現(xiàn)的圖形比例。圖55是微凸起在顯微下的形貌圖。根據(jù)以上數(shù)據(jù)可以清楚地知道，圓管微結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)試件是符合實(shí)驗(yàn)要求的。表52 圓管微結(jié)構(gòu)尺寸試件位置L(um)D(um)H(um)AA1198197154A2198196153A3195200158平均值197197155BB1204199149B2201195145B3204200150平均值203198148CC1195194152C2201195156C3196192158平均值197193155試件表面的粗糙度Ra為： 。 檢測與分析 檢測方法在有效長度為290mm的圓管微結(jié)構(gòu)內(nèi)，在中間和兩端這三處任意選取三個(gè)微結(jié)構(gòu)部分，利用工具高倍顯微鏡檢測它們各自的長（L）、寬（D）、高（H）。由于加工工件的面積會(huì)影響峰值電流、脈沖寬度，在加工中，峰值電流需要限制，不能過大，否則會(huì)導(dǎo)致電流密度變大，熱量非正常集中，容易導(dǎo)致拉弧的產(chǎn)生，使加工面的粗糙度值Ra增大以及加工質(zhì)量下降，甚至?xí)鸱钦７烹?，增大電極損耗。在這個(gè)加工的過程中，電極的損耗極小，沒有必要去更換電極，對于在電極上微凸起結(jié)構(gòu)上不需要針對不同部位給出相應(yīng)的補(bǔ)償。（如下圖52：）圖52 軸向凹槽電極開始在整個(gè)加工中讓軸向凹槽電極1沿著工件的軸線運(yùn)動(dòng)，再用軸向凹槽電極2進(jìn)行加工。（如下圖51：）圖51 周向凹槽電極首先要保持電極位置不動(dòng)，繼而電動(dòng)機(jī)會(huì)帶動(dòng)工件發(fā)生旋轉(zhuǎn)，就這樣工件在機(jī)床地驅(qū)動(dòng)下進(jìn)給了一周，便完成了對工件的周向凹槽加工。綜上所述，最終確定選取間隙值為30um，即選擇工藝數(shù)組E242，對應(yīng)的數(shù)據(jù)如下（表51）所示：表51 工藝數(shù)組E242對應(yīng)參數(shù)模數(shù)(m)1脈間抬刀時(shí)間(B)25拋光電容(c)0擊穿延時(shí)(sv)40加工電壓(v)200抬刀頻率(vpuls)4峰值電流(A)3BUIT18脈寬25間隙(um)30優(yōu)化(T)1損耗15%間隙電壓(RF)27粗糙度此實(shí)驗(yàn)中，工件和工具電極間的間隙為30um，由于間隙值較小，故而在加工過程中取電極平動(dòng)量為0。考慮到工件與工具電極之間的間隙越大，那么導(dǎo)致電極凸起的部分寬度會(huì)越小，這樣加工出的電極更容易發(fā)生形變，造成加工難度變大，結(jié)合粗糙值要求考慮，初步選擇符合要求的參數(shù)組為E242和E232，它們平均間隙分別為30um， 25um，電極凸起部分相對應(yīng)的寬度分別是140um，150um。第五章 加工工藝 工藝參數(shù) 在本次畢業(yè)設(shè)計(jì)中。本課題主要是針對圓柱表面制作微凸起結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究，對于加工的精度要求比較高，將此夾具放置在導(dǎo)軌上面，使其沿工件的軸向移動(dòng)，由于在運(yùn)動(dòng)的時(shí)候存在不穩(wěn)定性，這樣會(huì)導(dǎo)致加工的精度有所降低。零部件在整個(gè)夾具中所起到的作用：通過壓板將三個(gè)螺栓擰在橡膠件上，然后經(jīng)過擠壓，確保壓緊處于中間小孔中的電線，避免液體流進(jìn)箱體中。 設(shè)計(jì)主軸對主軸主要考慮的是主軸頭的結(jié)構(gòu), 軸徑，支承，材料的選擇以及熱處理等等因素。預(yù)緊力的調(diào)節(jié)控制：預(yù)先打開封閉的床頭箱，可以發(fā)現(xiàn)有一調(diào)整螺母處于主軸前端靠近床頭箱的地方，松開緊定的螺釘，再次收緊該螺母便可完成軸承間隙的調(diào)整[22](因?yàn)殒i緊力有些偏大，過程中需用力敲擊)。軸承圈套與滾子間存在著或多或少的間隙（又名游隙），通過施加一定的預(yù)緊力可以將游隙消除，削弱軸承運(yùn)行過程中的造成的噪聲和振動(dòng)。因?yàn)榛瑒?dòng)軸承的存在，人們認(rèn)為把滑動(dòng)摩擦換成滾動(dòng)摩擦的理念是不對的。我們可以認(rèn)為軸的運(yùn)動(dòng)是不受限制的，它可以隨時(shí)轉(zhuǎn)向，不過，對于電機(jī)來說，它所起到的作用則是轉(zhuǎn)動(dòng)。事實(shí)上，就是固定軸來實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)的，同時(shí)控制它在軸向和徑向上的移動(dòng)。 選擇軸承1 軸承的分類及作用軸承根據(jù)形狀和性能可分止推、球、向心、滾動(dòng)等等軸承。c) 由于存在著反向轉(zhuǎn)矩，導(dǎo)致合成轉(zhuǎn)矩相應(yīng)地減小，所以單相異步電動(dòng)機(jī)