【正文】 由于微坑結(jié)構(gòu)和微凸起結(jié)構(gòu)一樣的都具有相應(yīng)的幾何形狀,這非常適合于利用電火花放電加工,工具電極的制備是技術(shù)要求中的關(guān)鍵,利用電火花放電加工實(shí)現(xiàn)了對微尺度上復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精細(xì)操作。 檢測結(jié)果對加工出的圓管進(jìn)行檢驗(yàn)，在圓管兩端中間A、B、C三處進(jìn)行檢測長寬高，結(jié)果如下表（表52）所示。故而要求整個(gè)夾具體必須要與機(jī)床高度結(jié)合，盡量削弱誤差所帶來的影響。 軸承的作用說簡單點(diǎn)就是支撐，也可以認(rèn)為它是起到固定軸的作用。圖41 局部執(zhí)行模塊的原理圖 加工夾具的設(shè)計(jì) 整體設(shè)計(jì)1 夾具的技術(shù)要求：（1）夾具的整體的重量必須要以最低成本為原則。另外安裝電極還要注意緊固電極時(shí)對螺釘作用力要適當(dāng)均勻，以防止電極形變。在環(huán)形紋路中凸起的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)是200um的寬，50um的高，并且相鄰?fù)蛊鹬g的間隔為200um。被融化的那部分變成極其微細(xì)的粉末，流散到加工液當(dāng)中，隨后被沖出去，最后留下的痕跡會在火花液中冷卻，放電間隙之間恢復(fù)到絕緣態(tài)，而在放電點(diǎn)的那處地方?jīng)]有被除掉的部位隆起，便是下一個(gè)弧波電流進(jìn)行放電的點(diǎn)，這便構(gòu)成了電脈沖放電加工。（2）就設(shè)施的要求，只有超聲加工需要針對加工材料設(shè)計(jì)出專門的超聲機(jī)床，所以說它對設(shè)施的要求比較高，而電火花放電加工和電火花成型加工都可以使用一般的電火花機(jī)床。壓電陶瓷是一種非金屬脆性材料，由于一般的機(jī)械加工方法作用力過大，加工時(shí)容易出現(xiàn)裂紋和脆斷，對其進(jìn)行精確加工十分艱難，又因?yàn)槠涫欠墙饘俨牧希圆贿m合用電加工方法。（4）電火花成型加工是一類不觸碰的加工，也就是說加工的時(shí)候工具與工件兩電極之間是不觸碰的；相比較其它加工方式，這種加工方式是不會對工件造成硬性的傷害。原來機(jī)械領(lǐng)域中認(rèn)為滾動接觸的機(jī)械零件表面應(yīng)該越光滑越好，而它針對這關(guān)鍵給出相對的理念，打破了傳統(tǒng)觀點(diǎn)。對于國內(nèi)來說，我國南航和哈爾濱工業(yè)這兩個(gè)大學(xué)在這方面的也取得了很大的成就，達(dá)到了世界領(lǐng)先水平。傳統(tǒng)的加工漸漸不能適應(yīng)新社會的要求。當(dāng)液體介質(zhì)中形成放電通道的那一刻，通道間的那些帶負(fù)電的粒子會向正極運(yùn)動，同時(shí)帶正電的粒子也就向負(fù)極運(yùn)動，這樣的運(yùn)動中，各粒子之間磕磕碰碰，導(dǎo)致熱量的產(chǎn)生，相應(yīng)的周邊溫度升高，通道里面環(huán)境發(fā)生劇變，一瞬之后，高溫達(dá)到一個(gè)極限（10～107W／mm）。數(shù)十年的發(fā)展路程，使得它能夠更好地被人們所接受并加以應(yīng)用，完善生產(chǎn)操作，促進(jìn)效率。常熟理工學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 本科畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 題目 微尺度群凸起電火花加工試驗(yàn)設(shè)計(jì) 1常熟理工學(xué)院本科畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)誠信承諾書本人鄭重聲明： 所呈交的本科畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究工作所取得的成果。十九世紀(jì)后期，人們通過對光電應(yīng)用的研究，發(fā)現(xiàn)開關(guān)解電器的觸點(diǎn)在打開的時(shí)候會產(chǎn)生放電效應(yīng)，使得接觸點(diǎn)燒蝕，損壞了接觸面。這樣的情況下工作液先出現(xiàn)汽化，進(jìn)一步發(fā)生氣化，高溫范圍向周邊延伸出去，金屬材料的表層逐步開始出現(xiàn)熔化以及氣化。在人們逐步摸索之中，電火花加工作為一類新的工藝展現(xiàn)在人們面前。不過國內(nèi)在將微細(xì)電火花加工技術(shù)轉(zhuǎn)向商業(yè)化[5]和產(chǎn)品化方面仍遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于日本與歐美那些技術(shù)發(fā)達(dá)的國家[6]。事實(shí)上，微凸起結(jié)構(gòu)所形成的粗糙表面不但沒有因?yàn)榻佑|面的不光滑而降低制作的機(jī)械零件表面抗磨損能力，而且很大程度上提高了使用壽命和承載能力[8,9]，實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)代機(jī)械客觀傳動高速和重載的要求。（5）電火花成型加工技術(shù)可以加工硬度較高的工件，我們一般所遇到的加工是用硬的刀具來加工較為軟的物體，不過電加工卻是利用軟的電極來加工較硬的工件。而超聲加工既無宏觀機(jī)械作用力、沒有熱作用、不依賴于材料的導(dǎo)電性，又可加工確定比值的高深寬三維立體結(jié)構(gòu)，加工精度和零件表面質(zhì)量效果都很好，因此超聲微細(xì)加工在壓電陶瓷材料加工上具有獨(dú)特的優(yōu)勢，有著良好進(jìn)步空間和發(fā)展前景。（3）就材料的要求，電火花成型加工在一般情況下適宜加工具有高熔點(diǎn)的金屬材料，電火花放電加工無法對非導(dǎo)體材料進(jìn)行加工，而超聲加工大多數(shù)情況下適宜用來對硬、脆等性能的材料實(shí)施加工。（4） 電火花線切割法電火花線切割法是依靠電極絲（一般用細(xì)金屬絲），使它能夠不斷移動。同時(shí)在電極的選擇上選取100*145標(biāo)準(zhǔn)的電極板，板上為條狀的凸起，平行于長為100mm的邊，將放電間隙考慮進(jìn)去，可取間隙為30um，最終使得每根齒狀凸起高200um，寬為140um，間隔為260um的相鄰條紋。在滿足加工要求的前提下，細(xì)長電極伸出來的長度要盡可能短些，這樣會提高電極的剛性。（2）夾具必須完全浸沒在電解液里面，處于密封狀態(tài)。事實(shí)上，就是固定軸來實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動的，同時(shí)控制它在軸向和徑向上的移動。第五章 加工工藝 工藝參數(shù) 在本次畢業(yè)設(shè)計(jì)中。表52 圓管微結(jié)構(gòu)尺寸試件位置L(um)D(um)H(um)AA1198197154A2198196153A3195200158平均值197197155BB1204199149B2201195145B3204200150平均值203198148CC1195194152C2201195156C3196192158平均值197193155試件表面的粗糙度Ra為： 。參考文獻(xiàn)[1] 趙萬生 .先進(jìn)電火花加工技術(shù)［M］.國防工業(yè)出版社 , 2003 :10 .[2] 曹鳳國 .電火花加工技術(shù) .化學(xué)工業(yè)出版社 .[3] 董德生等 .群孔的微細(xì)電火花加工技術(shù)研究 .電加工與模具 .2006 ,2 : 47 ～49 .[4] 周焱 .微細(xì)加工技術(shù)研究進(jìn)展 ..機(jī)械工程師 .2006 , 11 :29 ～31 .[5] 唐勇軍等 .微細(xì)電火花加工技術(shù)的最新發(fā)展 .電加工與模具 ,2005 ,增刊 :36～39 .[6] 王振龍等 .微細(xì)電火花加工技術(shù)的研究進(jìn)展 .中國機(jī)械工程 ,2002 ,13（10）:894 ～898 .[7] 狄士春等 .微細(xì)電火花線切割加工技術(shù)的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 .航空精密制造技術(shù) ,2004 , 40（1）:12～15 .[8] 林子光等 .在機(jī)械零件表面進(jìn)行激光微精處理的實(shí)驗(yàn)研究 .應(yīng)用激光聯(lián)刊 ,1989 ,4: 27～31 .[9] Ku. P. M，Li. K. Y，Effect of surface roughness orientation on the tentral film thickness .Elastohydro dynamic and related topics .proc of the 5th .LeedsLyon simposium on tribology .1977 .[10] 袁德 . ,1993 ,9 :23 ～24 .[11] 王振龍等 .微三維結(jié)構(gòu)型腔的微細(xì)電火花加工 .微細(xì)加工技術(shù)，2000 ，1 :71 ～78 .[12] 董德生等 .群孔的微細(xì)電火花加工技術(shù)研究 .電加工與模具 .2006 . 2 . 47 ～49 .[13] 陳安駿 . ,2005 ，1 ～4 ，9 ～10 .[14] 苑偉政(李曉瑩) .微機(jī)械及微細(xì)加工技術(shù) .機(jī)械科學(xué)與技術(shù) ,1997 ,16（3）:503 ～504 .[15] :華中理工大學(xué)出版社，1992，1 .[16] 張勇(王振龍，胡富強(qiáng)，賈寶賢，李志勇，趙萬生 (哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程系,黑龍江哈爾濱150001)) ) . 微細(xì)電火花加工中微細(xì)電極的制作與檢測技術(shù)研究 ,2004　,8 .[17] 蔡亦峰 . ,2002 ,9 :38 ～39 .[18] 趙波(程雪利 ,劉傳紹) .微細(xì)加工與裝備技術(shù)進(jìn)展 .現(xiàn)代制造工程 ,2006 ,6 :143 ～146 .[19] 狄士春(王振龍 ,劉維東等) ．電極等損耗微細(xì)電火花加工技術(shù)[J] .電加工 ，1998(2) :1 ～3 .[20] 宋小中(劉正勛) .電致伸縮型電火花微細(xì)加工伺服系統(tǒng)的研究[J] .電加工 ,1995 (3) .[21] et Science ,1998 :236 ~247[7]M .Nesladek et al .Thin Solid Films ,1995 :184 ~188 .[22] Yoshihito Imai ，Takayuki Nakagawa ，Hidetaka Miyake ．Local actuator module for highly accurate microEDM[J] .Journal of Materials Processing Technology .2004 , 149 :328~333 .[23] seral .Surface and Coatings Technology :1991 :600~607 .致 謝經(jīng)過兩個(gè)多月的時(shí)間終于完成了這篇畢業(yè)設(shè)計(jì)，在完成這項(xiàng)設(shè)計(jì)的過程中遇到了無數(shù)的困難和挫折，不過基本都在薛功林和于海林老師以及同學(xué)的幫助下解決了。 展望現(xiàn)階段，社會上針對微坑結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)