電子顯微鏡第六章x射線顯微分析和俄歇能譜分析(參考版)
2025-01-23 09:04本頁面
【正文】 經(jīng)過修正計(jì)算 ， 就可以得出試樣中 A元素的相對百分含量 CA: CA為 A元素的百分含量 ， IA和 I(A)分別為試樣中和標(biāo)樣中 A元素的特征 X射線強(qiáng)度 ， K為修正因子： ZA FK ?Z為原子序數(shù)修正項(xiàng) ， A為吸收修正項(xiàng) ， F為二次熒光修正項(xiàng) 。 該方法可提供元素濃度的面分布不均勻性的資料 ， 并與材料的微觀組織聯(lián)系起來 。 如果和試樣形貌像 (二次電子像或背散射電子像 )對照分析 ,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布 。 該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析 ， 例如 ， 對材料晶界 、 夾雜 、 析出相 、 沉淀物及非化學(xué)計(jì)量材料的組成等研究 。 Si(Li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài) 。 不同元素的特征 X射線譜峰往往相互重疊 ， 故儀器分辨不同能量特征 X射線的能力變差 。 通過確定特征 X射線的光子能量 ，確定被激發(fā)元素 。所以 ， 波譜儀難以在低束流和低激發(fā)強(qiáng)度下使用 。 特征 X射線信號(hào)檢測 分光晶體 ?1 ?2 檢測器 d 聚焦方法 各種波長 X射線 電子束
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