01集成電路制造工藝概述-wenkub.com
2025-01-01 00:06 本頁(yè)面
【正文】 2023年 1月 上午 12時(shí) 5分 :05January 22, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 00:05:1100:05:1100:05Sunday, January 22, 2023 ? 1知人者智，自知者明。 上午 12時(shí) 5分 11秒 上午 12時(shí) 5分 00:05: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 2023年 1月 22日星期日 上午 12時(shí) 5分 11秒 00:05: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 00:05:1100:05:1100:051/22/2023 12:05:11 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 2023年 1月 上午 12時(shí) 5分 :05January 22, 2023 ? 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 00:05:1100:05:1100:05Sunday, January 22, 2023 ? 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 ? 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 斯波克（ C. Sporck） NSC 2023年，臺(tái)灣成為全球最大半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)地 ?根據(jù)市調(diào)機(jī)構(gòu) IC Insights調(diào)查統(tǒng)計(jì)， 2023年全球半導(dǎo)體晶圓總月產(chǎn)能達(dá) 13, 8寸約當(dāng)晶圓。八人接受位于紐約的仙童攝影器材公司的資助，于 1957年，創(chuàng)辦了 仙童半導(dǎo)體公司 。 拉斯特、謝爾頓 摩爾、朱利亞斯 他吸引了很多富有才華的年輕科學(xué)家加盟。肖克利（ WILLIAM SHOCKELY） ? “晶體管之父”（ 19101989） ? 1947，點(diǎn)接觸晶體管； 1950，面結(jié)型晶體管 ? 肖克利實(shí)驗(yàn)室（ 19551968），圣克拉拉谷 (硅谷 ) ? 1956，諾貝爾物理獎(jiǎng) ? 1957，八判逆 ? 1958，斯坦福大學(xué) ? 1963，斯坦福大學(xué) ? 70年代，人種學(xué)和優(yōu)生學(xué)？？ ? 肖克利博士非凡的商業(yè)眼光，成就了硅谷；肖克利博士拙劣的企業(yè)才能，創(chuàng)造了硅谷。薄膜生長(zhǎng)中所采用的溫度低于擴(kuò)散區(qū)中設(shè)備的工作溫度。 ?黃色熒光管照明 ?主要設(shè)備 ?步進(jìn)光刻機(jī)（ steper） ?涂膠 /顯影設(shè)備（ coater/developer track） ?清洗裝臵和光刻膠剝離機(jī)？ 2023/1/22 40 光刻工藝模塊示意圖 刻蝕區(qū) ?刻蝕是在硅片上沒(méi)有光刻膠保護(hù)的地方留下永久的圖形。 2023/1/22 33 晶圓制造廠 晶圓 在亞微米 CMOS IC 制造廠典型的硅片流程模型 擴(kuò)散區(qū) ?擴(kuò)散區(qū)一般認(rèn)為是進(jìn)行高溫工藝及薄膜淀積的區(qū)域。 2023/1/22 30 第 3階段：硅片的測(cè)試 /揀選 ?硅片制造完成后，硅片被送到測(cè)試 /揀選區(qū)，在那里進(jìn)行單個(gè)芯片的探測(cè)和電學(xué)測(cè)試，然后揀選出可接受和不可接受的芯片，并為有缺陷的芯片做標(biāo)記，通過(guò)測(cè)試的芯片將繼續(xù)進(jìn)行以后的工藝。 2023/1/22 24 半導(dǎo)體的集成 時(shí)代 2023/1/22 25 電路集成 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)周期 每個(gè)芯片元件數(shù) 分立元件 1960年前 1 SSI 20世紀(jì) 60年代前期 2~50 MSI 20世紀(jì) 60年代到 70年代前期 20~5000 LSI 20世紀(jì) 70年代前期到 70年代后期 5000~100 000 VLSI 20世紀(jì) 70年代后期到 80年代后期 100 000~1 000 000 ULSI 20世紀(jì) 90年代后期至今 大于 1 000 000 半導(dǎo)體主要趨勢(shì) ?提高芯片性能： ?速度（按比例縮小器件和使用新材料） ?關(guān)鍵尺寸（ CD） ?芯片上的物理尺寸特征被稱為 特征尺寸 。 1957年，在加利福尼亞州的帕羅阿托市（ Palo Alto）的仙童半導(dǎo)體公司（ Fairchild Semiconductor）制造出第一個(gè)商用平面晶體管。 2023/1/22 17 2023/1/22 18 ?集成電路的內(nèi)部電路 Vdd A B Out A B OUT 0 0 1 0 1 0 1 0 0 1 1 0 2023/1/22 19 2023/1/22 20 50?m 100? m 頭發(fā)絲粗細(xì) 30?
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