物理氣相淀積ppt課件-wenkub.com
2025-04-28 12:09 本頁面
【正文】 Ar+離子能量和 動量轉(zhuǎn)移 將使表面原子脫離化學(xué)鍵束縛 濺射方法 ? 直流、射頻、磁控、反應(yīng)、 離子束、偏壓等濺射； （又稱陰極濺射或直流二級濺射 ，常用 Ar氣作為工作氣體。 激光加熱 ? 可蒸發(fā)任何高熔點的材料（聚焦激光束功率密度高達(dá) 106W/cm2）； ? 被蒸發(fā)材料局部受熱而汽化，高純度薄膜，（光斑很小，防止了坩鍋材料受熱的污染）； ? 淀積含有不同熔點材料的化合物薄膜可保證成分比例（功率密度高） ? 真空室內(nèi)裝置簡單，容易獲得高真空度 高頻感應(yīng)加熱源 ? 優(yōu)點： ①蒸發(fā)速率快： 蒸發(fā)面積大； ②溫度控制精確、 均勻 ； ③工藝簡便； ? 缺點： ①成本高； ②電磁干擾。 ? 優(yōu)點：工藝簡單，蒸發(fā)速率快； 缺點：難以制備高熔點、高純度薄膜。 真空蒸發(fā)的基本原理 ? 材料的
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