【導讀】物，也可以是無機材料或有機材料。薄膜與塊狀物質(zhì)一樣，可以是單晶態(tài)的，多。晶態(tài)的或非晶態(tài)的。近年來功能材料薄膜和復合薄膜也有很大發(fā)展。及其重要的地位。布法，液相生長法等。氣相生成法又可分為物理氣相沉積法，化學氣相沉積法和。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。制作技術(shù)的基礎(chǔ)，獲得并保持所需的真空環(huán)境，是鍍膜的必要條件。在實際工作中，必須根據(jù)自己的工作重點進行選擇。量真空的器具（真空計）以及必要的管道，閥門和其它附屬設(shè)備。右，以一條8代線總投資200億元計算，其光學膜的需求就達到20億元。產(chǎn)基地，而液晶電視、液晶顯示器以及其它電子類產(chǎn)品的產(chǎn)量也位居世界前列。在此帶動下，中國擴散膜市場空前發(fā)展，目前已占全球市場的近50%。1939-1943年：卡爾·蔡司公司成功實現(xiàn)了2層和3層增膜系。鏡頭中，卡爾·蔡司·耶拿Tessar、蔡司奧普托·Tessar及施耐特Xenar3. 趨，研究考慮的是更優(yōu)良的多層鍍膜技術(shù)實用化。

　　

【正文】 空紫外、甚至極紫外領(lǐng)域都能得到較高的反射率 , 加上金屬薄膜截止帶寬、中性好和偏振效應小等 , 對于設(shè)計一些特殊應用的膜系具有重要的作用。但金屬通常比介質(zhì)存在更大的吸收 , 因而反 射率不會很高 , 且損傷閾值偏低 , 一定 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 26 程度上限制了金屬膜的應用范圍。 介質(zhì)薄膜中氧化物薄膜因機械應力小 , 環(huán)境穩(wěn)定性比氟化物薄膜好 , 而在193nm 得到廣泛應用。在真空紫外波段 , 所用的氧化物材料主要是 Al2O3 和SiO2。氟化物材料帶寬大、吸收系數(shù)小 , 是真空紫外波段中 190nm 以下波段的首選介質(zhì)材料 , 但氟化物材料對同步輻射和 CH 污染都比較敏感 , 為此需要外鍍保護層。研究表明 ,SiO2 能起到最好的保護效果。沉積了致密 SiO2 保護層的氟化物高反膜 , 在中心波長 180nm 處可得到接近 99%的反射率。氟 化物減反膜在 157 nm 處可得到 %以下的反射率 。 到目前為止 , 氟化物薄膜最好的沉積工藝是熱舟蒸發(fā)。 在真空紫外波段 , 薄膜材料的本征吸收增加 , 各種微觀缺陷如雜質(zhì)引起的吸收、膜層表面的非理想性引起的散射、水分和 CH 的污染等都會對膜層的光學性能造成很大影響。因此 , 該波段薄膜的沉積對工藝穩(wěn)定性提出了更高的要求。因此 , 對真空紫外波段光學薄膜的研究主要集中于對氟化物材料以及相應的沉積工藝的研究。 主要研究內(nèi)容： 材料的調(diào)研選取和蒸鍍設(shè)備的確定； 沉積方式和工藝參數(shù)的優(yōu)化； 市場趨勢的調(diào)研及應用分析和膜系 的設(shè)計； 高激光閾值薄膜 長期以來，激光對光學薄膜元件的破壞是限制激光向高功率、高能量方向發(fā)展的“瓶頸”，也是影響高功率激光薄膜元件使用壽命的主要原因。因此，提高光學薄膜的激光損傷閾值尤為重要。 近年來 , 制備高反射膜 , 底折射率材料一般用 SiO2, 高反射率材料一般是用HfO ZrO Ti3O5 等，交替沉積上述的高低折射率材料制備而成的。由于 HfO2具有從近紫外到中紅外的良好透光性 , 有較高的折射率和非常好的化學穩(wěn)定性 , 交替沉積的光學薄膜經(jīng)激光預處理后闌值增加明顯等優(yōu)點 , 使它成為目前制備高閡值光 學薄膜的優(yōu)異材料而備受重視。 研究內(nèi)容： 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 27 飛機上的陀螺 球軸承 渦輪葉片 曲柄襯套 抗激光薄膜材料的選?。? 激光損傷閾值測試裝置的實現(xiàn)； 抗激光膜系的設(shè)計及工藝參數(shù)優(yōu)化。 增光膜擴散膜的作用 由于液晶面板本身不發(fā)光，必須借助背光模組（ backllight modiule)提供的光源及分布均勻的亮度才能使液晶顯示器顯示影像。因此增光膜、導光板、擴散膜等也稱為背光模組關(guān)鍵件，其主要作用是為液晶面板提供均勻的面光源，盡可能高的光能透過特性，盡可能不影響光的特性。因此在大尺寸液晶顯示器中尤為重圖 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 28 要。因此，促進增光膜等關(guān)鍵件的國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化對促 進我國平板電視產(chǎn)業(yè)的升級換代，增加我國液晶產(chǎn)業(yè)的國際競爭力發(fā)揮著重要的作用。同時可以帶動超精密機床，超精密模輥加工工藝技術(shù)、光學高分子材料、投影顯示光學器件等方面的基礎(chǔ)工業(yè)技術(shù)的提升。 背光模組關(guān)鍵件 —— 導光板、擴散膜、增光膜（棱鏡片）等，其技術(shù)實質(zhì)是大型微細結(jié)構(gòu)光學元件，也就是利用在透明膜片材上加工成型光學微細結(jié)構(gòu)和光學擴散微粒的工藝技術(shù)，實現(xiàn)對光能的重新分布達到一定的使用目的。國際上通稱為增光膜、擴散膜、反射膜以及導光板。 我們揭開背光模組的面紗就可以看到， 實際上是由一層層光學膜片材料組成，通過 他們實現(xiàn)對光的均勻分布 從（圖 ）中我們可以看到背光模組中擴散膜和增光膜的實質(zhì)。背光模組實際上是由一層層光學膜片所組成，通過 CCFL 或 LED光源，經(jīng)過模組中各種膜片材料對光的功能作用，實現(xiàn)對光能的重新分配，使我們的 LCD 顯示器能夠看到影像。 擴散膜是通過在光學膜片材料上的微細顆粒（ beads）實現(xiàn)光的擴散，而增光膜（棱鏡片）是通過在透明光學材料上加工成型微細條紋（光柵）結(jié)構(gòu)進行反射和折射，對光能重新分布。 主要技術(shù)難點 增光膜、擴散膜是背光模組中最關(guān)鍵的功能件，由于表面均勻布滿棱形尖錐型的微細結(jié)構(gòu) ，提高了光線透過率，增大了亮度和視角。 TFTLCD 進入電視機市場后，更加強調(diào)亮度系數(shù)的提高，使增光膜的需求更迫切。技術(shù)要求更高，國際流行的增光膜類似， CRT 背投電視機的光柵柱面鏡，只是齒型結(jié)構(gòu)不一樣，圖 圖 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 29 節(jié)距不一樣主要設(shè)計參數(shù)不一樣，導致輥筒加工方式不一樣，成型工藝技術(shù)不一樣，只要改造輥筒設(shè)計加工，完全可以批量生產(chǎn)增光膜。目前，該項技術(shù)國內(nèi)由于精密加工工業(yè)基礎(chǔ)太薄弱，沒有專門用于輥筒加工的超精密單點金剛石機床，沒有輥筒表面處理技術(shù)，不能達到增光膜工藝技術(shù)要求?，F(xiàn)階段還必須依賴引進國外先進的精密模輥加工技術(shù)。目 前模輥加工設(shè)備及技術(shù)唯有美國穆爾納米技術(shù)公司擁有，該公司已向韓國、臺灣企業(yè)出售了該項設(shè)備與技術(shù)。 背光模組光學部件量產(chǎn)需要解決的關(guān)鍵技術(shù)問題 增光膜光學結(jié)構(gòu)設(shè)計 背光模組光路設(shè)計 輥筒精密加工技術(shù)與設(shè)備 模具表面處理技術(shù) 擴散膜的光學擴散粒子配方設(shè)計 擴散板技術(shù)參數(shù)及擠出工藝技術(shù)的開發(fā)研究 真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展趨勢 科技發(fā)展愈來愈快，信息高速公路，數(shù)字地球等新概念的提出，影響和帶動了全球高科技的發(fā)展，目前，生命科學，環(huán)保科技，材料科學和納米科技使高科技重點研究的領(lǐng)域；納米科技中又以納米電子學為優(yōu)先研究領(lǐng) 域。 目前計算機和信息技術(shù)的基礎(chǔ)使超大規(guī)模繼承電路；但下個世紀的基本元件將是納米電子集成電路。它是微電子器件的下一代，有自己的理論，技術(shù)和材料?，F(xiàn)有微電子器件的主要材料是極純的硅，鍺等晶體半導體。納米電子器件有可能是以有機或無機復合晶體薄膜為主要原理，要求純度更高，結(jié)構(gòu)更完善。真空制備的清潔環(huán)境，有希望加工組裝出納米電子器件所要求的結(jié)構(gòu)。 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 30 第 5章 結(jié)論 隨著光學薄膜技術(shù)的不斷發(fā)展，光學薄膜器件應用的日益廣泛，光學薄膜器件的溫度穩(wěn)定性研究也被提到了極重要的地位。鍍膜是將光學薄膜沉積在光學零件表面 的制造過程。光學薄膜應用與各種反射和投射的光學元件，薄膜技術(shù)是光學技術(shù)的一個重要組成部分。薄膜技術(shù)涉及到光電技術(shù)、計算機、真空技術(shù)、材料科學、自動控制等領(lǐng)域。為了解決空間工程光學薄膜器件的溫度穩(wěn)定性問題，本論文從鍍膜材料特性，沉積工藝等方面對這一問題展開了深入的研究。 我國 LCD 上游材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展非常滯后， 有些關(guān)鍵原材料產(chǎn)量很少甚至為零，整個產(chǎn)業(yè)鏈嚴重失衡。要想提高我國 LCD 企業(yè)的利潤空間， 就必須盡快實現(xiàn) TFT－ LCD 原材料和輔助材料的國產(chǎn)化。 20xx 年 10 月，我開始了我的畢業(yè)論文工作，時至今日，論文基 本完成。從最初的茫然，到慢慢的進入狀態(tài)，再到對思路逐漸的清晰，整個寫作過程難以用語言來表達。歷經(jīng)了幾個月的奮戰(zhàn)，緊張而又充實的畢業(yè)設(shè)計終于落下了帷幕。回想這段日子的經(jīng)歷和感受，我感慨萬千，在這次畢業(yè)設(shè)計的過程中，我擁有了無數(shù)難忘的回憶和收獲。 10 月初，在與導師的交流討論中我的題目定了下來，是： 幾種膜系特點及應用研究 。當選題報告，開題報告定下來的時候，我當時便立刻著手資料的收集工作中，當時面對浩瀚的書海真是有些茫然，不知如何下手。我將這一困難告訴了導師，在導師細心的指導下，終于使我對自己現(xiàn)在的工作方向和方法 有了掌握。 在搜集資料的過程中，我認真準備了一個筆記本。我在學校圖書館，圖書館搜集資料，還在網(wǎng)上查找各類相關(guān)資料，將這些寶貴的資料全部記在筆記本上，盡量使我的資料完整、精確、數(shù)量多，這有利于論文的撰寫。然后我將收集到的資料仔細整理分類，及時拿給導師進行溝通。 20xx 年 12 月初，資料已經(jīng)查找完畢了，我開始著手論文的寫作。在寫作過程中遇到困難我就及時和導師聯(lián)系，并和同學互相交流，請教專業(yè)課老師。在大家的幫助下，困難一個一個解決掉，論文也慢慢成型。 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 31 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 32 心得體會 20xx 年 11 月，我開始了我的畢業(yè)論 文工作，時至今日，論文基本完成。從最初的茫然，到慢慢的進入狀態(tài)，再到對思路逐漸的清晰，整個寫作過程難以用語言來表達。歷經(jīng)了幾個月的奮戰(zhàn)，緊張而又充實的畢業(yè)設(shè)計終于落下了帷幕?；叵脒@段日子的經(jīng)歷和感受，我感慨萬千，在這次畢業(yè)設(shè)計的過程中，我擁有了無數(shù)難忘的回憶和收獲。 當我終于完成了所有打字、繪圖、排版、校對的任務后整個人都很累，但同時看著電腦熒屏上的畢業(yè)設(shè)計稿件我的心里是甜的，我覺得這一切都值了。這次畢業(yè)論文的制作過程是我的一次再學習，再提高的過程。在論文中我充分地運用了大學期間所學到的知識。 我在這次畢 業(yè)設(shè)計的寫作過程中可謂是獲益匪淺，最大的收益就是讓我培養(yǎng)了腳踏實地，認真嚴謹，實事求是的學習態(tài)度，不怕困難、堅持不懈、吃苦耐勞的精神。寫作中，需要的是耐心，還要用心。每當無法實現(xiàn)自己的想法或者運行不下去的時候，我就會出現(xiàn)浮躁的情緒，但是我沒有放棄，而是適時地調(diào)節(jié)自己的心態(tài)，最關(guān)鍵是在困難面前，理順思路，尋找突破點，一步一個腳印的慢慢來實現(xiàn)自己既定的目標。越是不懂的東西才要去學，在學習的過程中你會收獲很多，在學習之后你會感覺到很有成就感，這也是我在完成畢業(yè)設(shè)計之后體會到的。我想這是一次對意志的磨練，也是對我實 際能力的一次提升，相信這對我今后走向工作崗位是至關(guān)重要的。 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 33 參考資料 舒朝濂 《現(xiàn)代光學制造技術(shù)》北京：國防工業(yè)出版社 20xx 年 8 月 王之江、顧培森 《實用光學技術(shù)手冊》 北京：機械工業(yè)出版社 20xx 年 1 月 蔡立、耿素杰、付秀華 《光學零件加工技術(shù)》 北京：兵器工業(yè)出版社 20xx 年 D。 F?；舳? 《光學生產(chǎn)工藝》 北京：科學出版社 王潤孝 《先進制造技術(shù)導論》 北京：科學出版社， 20xx. 陳達 《磁控濺射法制備 TiNxOy 光譜選擇性吸收膜》 廣州 :華南理工大學， 20xx 李春領(lǐng) 《反應磁控濺射 法制備玻璃基 TiO 復合多層薄膜的研究》 武漢 :武漢理工大學，20xx 王軍華 《用磁控濺射法在柔性襯底上制備 ZnO 透明導電膜》 濰坊學院學報， 20xx 楊武保 《磁控濺射鍍膜技術(shù)最新進展及發(fā)展趨勢預測》 石油機械， 20xx 徐萬勁 《磁控濺射技術(shù)進展及應用 (上 )》 現(xiàn)代儀器：綜述與專論， 20xx 1 愈亮燕 《反應濺射制備納米 ZnO 功能紡織材料及其性能表征》 江蘇：江南大學， 20xx 1 張繼成 ，吳衛(wèi)東，許華，唐曉紅 《磁控濺射技術(shù)新進展及應用》 材料導報， 20xx 1 李翠香 《新結(jié)構(gòu)蒸發(fā)鍍膜材料》 中國包裝 報 20xx 年 1 羅清岳 《光學薄膜制成技術(shù)與應用》 電子資訊時報 20xx 年 1 史大道 《光學薄膜強度試驗機》 光學儀器 1980 年 04 期 1 徐運生 《第二屆光學薄膜技術(shù)交流會》 人工晶體學報 1985 年 01 期 1 王城 《介質(zhì)薄膜基體體系力學光學特性研究》 中國研究生院 20xx 年 1 李思琪 《電子轟擊薄膜和沉積速率的測定》 真空 1982 年 05 期 1 慈風云 《塑料的濺射鍍膜》 真空 1982 年 06 期 史曉靈 《低輻射鍍膜玻璃》 中國建材報 20xx 年 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 34 致謝 在此論文撰寫過程中，我了解學習了很多，對自己學習到的東西進行了總結(jié)，在幾個月的材料收集和總結(jié)中我鍛煉了自己，為我畢業(yè)走上社會有更好的發(fā)展。要特別感謝我的導師張雅娟的指導與督促，同時感謝她的諒解與包容。沒有張雅娟老師的幫助也就沒有今天的這篇論文。求學歷程是艱苦的，但又是快樂的。感謝我的輔導員，謝謝他在這三年中為我們?nèi)嗨龅囊磺?，他不求回報，無私奉獻的精神很讓我感動，再次向他表示由衷的感謝。在這三年的學期中結(jié)識的各位生活和學習上的摯友讓我得到了人生最大的一筆財富。在此，也對 他們表示衷心感謝。 謝謝我的父母，沒有他們辛勤的付出也就沒有我的今天，在這一刻，將最崇高的敬意獻給你們！ 武漢職業(yè)技術(shù)學院畢業(yè)論文 35 畢業(yè)設(shè)計（論文）原創(chuàng)性聲明和使用授權(quán)說明 原創(chuàng)性聲明 本人鄭重承諾：所呈交的畢業(yè)設(shè)計（論文），是我個人在指導教師的指導下進行的研究工作及取得的成果。盡我所知，除文中特別加以標注和致謝的地方外，不包含其他人或組織已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得 及其它教育機構(gòu)的學位或?qū)W歷而使用過的材料。對本研究提供過幫