半導(dǎo)體制程技術(shù)導(dǎo)論chapter_7等離子體工藝-資料下載頁(yè)
2025-02-28 14:58本頁(yè)面
【正文】 旋共振 (ECR) 電子軌跡 B 85 氦氣 射頻偏壓 磁力線 微波 磁場(chǎng)線圈 ECR等離子體 晶圓 靜電夾盤(pán) 電子回旋共振 (ECR) 86 電子回旋共振 (ECR) ? 射頻偏壓功率控制離子轟擊能量 ? 微波功率控制離子束流 ? 磁場(chǎng)線圈控制等離子體位置和制程的均勻性 ? 背面要有一個(gè)具有靜電夾盤(pán) (Echuck)的氦氣冷卻系統(tǒng)來(lái)控制晶圓溫度 87 ECR的應(yīng)用 ? 介電質(zhì)化學(xué)氣相沉積 ? 所有的圖案蝕刻制程 ? 等離子體浸置型離子注入 88 概要 ? 等離子體是 n– = n+的游離氣體 ? 等離子體由中性原子 (n),電子 (e),和離子 (i) 組成 ? 離子化、激發(fā) —松弛和分解 ? 離子轟擊幫助蝕刻率的增加和達(dá)到非等向性蝕刻 ? 光的放射可以使用來(lái)做為蝕刻終端點(diǎn) ? 平均自由程和壓力有關(guān) ? 等離子體的離子總是轟擊電極 89 概要 ? 電容耦合型等離子體，增加射頻功率同時(shí)增加離子束流和離子能量 ? 低頻射頻功率提供離子更多的能量，引起較激烈的離子轟擊 ? 蝕刻制程比 PECVD需要更多的離子轟擊 ? 低壓下產(chǎn)生高密度等離子體源是希望達(dá)到的目標(biāo) ? ICP和 ECR是兩種用在 IC制造的高密度等離子體系統(tǒng) ? 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 , March 19, 2023 ? 雨中黃葉樹(shù)，燈下白頭人。 11:54:5311:54:5311:543/19/2023 11:54:53 AM ? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見(jiàn)頻。 :54:5311:54Mar2319Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 11:54:5311:54:5311:54Sunday, March 19, 2023 ? 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 :54:5311:54:53March 19, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見(jiàn)青山。 2023年 3月 19日星期日 上午 11時(shí) 54分 53秒 11:54: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 3月 上午 11時(shí) 54分 :54March 19, 2023 ? 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 2023年 3月 19日星期日 11時(shí) 54分 53秒 11:54:5319 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 上午 11時(shí) 54分 53秒 上午 11時(shí) 54分 11:54: ? 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 , March 19, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 11:54:5311:54:5311:543/19/2023 11:54:53 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 :54:5311:54Mar2319Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 11:54:5311:54:5311:54Sunday, March 19, 2023 ? 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :54:5311:54:53March 19, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 19日星期日 上午 11時(shí) 54分 53秒 11:54: ? 1楚塞三湘接，荊門(mén)九派通。 。 2023年 3月 上午 11時(shí) 54分 :54March 19, 2023 ? 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023年 3月 19日星期日 11時(shí) 54分 53秒 11:54:5319 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 上午 11時(shí) 54分 53秒 上午 11時(shí) 54分 11:54: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 , March 19, 2023 ? 閱讀一切好書(shū)如同和過(guò)去最杰出的人談話。 11:54:5311:54:5311:543/19/2023 11:54:53 AM ? 1越是沒(méi)有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :54:5311:54Mar2319Mar23 ? 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 11:54:5311:54:5311:54Sunday, March 19, 2023 ? 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :54:5311:54:53March 19, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 19日星期日 上午 11時(shí) 54分 53秒 11:54: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 2023年 3月 上午 11時(shí) 54分 :54March 19, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 3月 19日星期日 11時(shí) 54分 53秒 11:54:5319 March 2023 ? 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 上午 11時(shí) 54分 53秒 上午 11時(shí) 54分 11:54: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴
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