等離子體刻蝕ppt課件-資料下載頁
2025-05-03 02:48本頁面
【正文】 向 后面的 槽中注滿去離子水。 24 裝片 ? 經(jīng)等離子刻蝕過的硅片，檢驗(yàn)合格后插入承片盒。 ? 注意，經(jīng)過磷擴(kuò)散處理的表面， 刻蝕之后硅片在插入承片盒時也嚴(yán)格規(guī)定了放置方向。 每盒 25片，扣好壓條，投入清洗設(shè)備 。 25 注意事項(xiàng) ? 在配制氫氟酸溶液時，要穿好防護(hù)服，戴好防護(hù)手套和防毒面具。 ? 不得用手直接接觸硅片和承載盒。 ? 當(dāng)硅片在 1號槽氫氟酸溶液中時，不得打開設(shè)備照明，防止硅片被染色。 ? 硅片在兩個槽中的停留時間不得超過設(shè)定時間，防止硅片被氧化。 26 檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) ? 當(dāng)硅片從 1號槽氫氟酸中提起時，觀察其表面是否脫水，如果脫水，則表明磷硅玻璃已去除干凈；如果表面還沾有水珠，則表明磷硅玻璃未被去除干凈。 ? 甩干后，抽取兩片硅片，在燈光下目測：表面干燥，無水跡及其它污點(diǎn)。 27 去磷硅玻璃設(shè)備介紹 28 去磷硅玻璃工藝介紹 去磷硅玻璃工藝流程 → 1 HF 酸洗 → 2純水漂洗 → 3 純水漂洗 → 4純水噴淋 → 5純水噴淋 工序 輔助 處理液 時間 溫度 材質(zhì) 自動蓋 抽風(fēng) 1 HF酸洗 / HF 4min RT PP / 有 2 漂洗 循環(huán) DI水 4min RT PP / / 3 漂洗 循環(huán) DI水 4min RT PP / / 4 噴淋 / DI水 4min RT PP 自動蓋 / 5 噴淋 / DI水 4min RT PP 自動蓋 /
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